[發明專利]掩膜版的張網設備和張網方法

在審

• 申請號: 201911195364.9
• 申請日: 2019-11-28
• 公開（公告）號: CN110699638A
• 公開（公告）日: 2020-01-17
• 發明（設計）人: 李露露;王亞;卓林海
• 申請（專利權）人: 云谷(固安)科技有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 11659 北京遠智匯知識產權代理有限公司
• 代理人: 范坤坤

本發明公開了一種掩膜版的張網設備和張網方法。該張網設備包括移動機構和框架夾具；移動機構包括移動單元和支撐單元，移動單元與支撐單元連接，框架夾具固定于移動單元上，框架夾具用于夾持掩膜版框架上相對設置的夾持區域，移動機構用于驅動框架夾具產生作用于掩膜版框架上的推力，以使掩膜版框架產生預設形變；推力的方向沿第一方向朝向掩膜版框架的中心；其中，第一方向為固定于掩膜版框架上的掩膜條的長度方向。因此不會在張網結束后產生形變，從而保證了掩膜版的張網精度，進而提高了掩膜版的精度。同時簡化了張網設備的復雜度，避免了氣浮氣壓無法使掩膜版框架懸浮時，掩膜版框架與平臺之間的摩擦力導致的張網精度降低的問題。

技術領域

本發明實施例涉及掩膜版制作的技術領域，尤其涉及掩膜版的張網設備和張網方法。

背景技術

隨著發展，人們更加追求顯示的清晰度，因此，顯示面板的分辨率需要進一步的提升。但是，顯示面板分辨率越高，在制作顯示面板時使用的掩膜版的精度要求越高。在使用掩膜版蒸鍍顏色材料時容易出現混色的問題。

發明內容

本發明提供掩膜版的張網設備和張網方法，以提高掩膜版的張網精度。

第一方面，本發明實施例提供了一種掩膜版的張網設備，包括移動機構和框架夾具；

所述移動機構包括移動單元和支撐單元，所述移動單元與所述支撐單元連接，所述框架夾具固定于所述移動單元上，所述框架夾具用于夾持掩膜版框架上相對設置的夾持區域，所述移動機構用于驅動所述框架夾具產生作用于所述掩膜版框架上的推力，以使所述掩膜版框架產生預設形變；所述推力的方向沿第一方向朝向所述掩膜版框架的中心；其中，所述第一方向為固定于所述掩膜版框架上的掩膜條的長度方向。

可選地，所述框架夾具為至少三對，每對所述框架夾具分別相對設置于所述掩膜版框架的兩側；

沿第二方向，所述掩膜版框架同一側的所述框架夾具依次排布，并且關于所述掩膜版框架上的中線對稱，其中，所述第二方向為所述掩膜版框架上掩膜條的寬度方向，所述第二方向與所述第一方向垂直，所述中線與所述第一方向平行。

可選地，在所述掩膜版框架的同一側的各所述框架夾具等間距排布。

可選地，沿所述第二方向，從所述中線向所述掩膜版框架的兩側，所述框架夾具產生作用于所述掩膜版框架上的推力依次減小。

可選地，所述框架夾具包括相對設置的第一夾件和第二夾件；所述第一夾件的一端和所述第二夾件的一端均固定在所述移動單元上，所述第一夾件的另一端和所述第二夾件的另一端在遠離所述移動單元的一側形成開口。

可選地，所述掩膜版框架包括平行設置的第一邊框和第二邊框；所述第一邊框和所述第二邊框包括相對設置的至少一對夾持區域；同一對所述夾持區域，其中一個所述夾持區域位于所述第一邊框的側面，另一個所述夾持區域位于所述第二邊框的側面；其中，所述第一邊框的側面和所述第二邊框的側面與所述第一方向垂直。

可選地，所述移動單元包括導軌，所述支撐單元包括支撐柱。

第二方面，本發明實施例還提供了一種掩膜版的張網方法，包括：

將掩膜版框架設置于張網設備，所述張網設備包括移動機構和框架夾具，所述框架夾具夾持所述掩膜版框架上相對設置的夾持區域；

控制所述移動機構驅動所述框架夾具產生作用于所述掩膜版框架的推力，以使所述掩膜版框架產生預設形變，并保持推力產生的形變不變；所述推力的方向沿第一方向朝向所述掩膜版框架的中心；其中，所述第一方向為固定于所述掩膜版框架上的掩膜條的長度方向

在所述掩膜版框架上張網各掩膜條；所述掩膜條上的拉力與所述推力大小匹配，方向相反；

控制所述移動機構驅動所述框架夾具釋放作用于所述掩膜版框架的推力。