[發(fā)明專(zhuān)利]掩膜版的張網(wǎng)設(shè)備和張網(wǎng)方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911195364.9
• 申請(qǐng)日: 2019-11-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110699638A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-01-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李露露;王亞;卓林海
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 云谷(固安)科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/04
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 11659 北京遠(yuǎn)智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 范坤坤

1.一種掩膜版的張網(wǎng)設(shè)備，其特征在于，包括移動(dòng)機(jī)構(gòu)和框架夾具；

所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括移動(dòng)單元和支撐單元，所述移動(dòng)單元與所述支撐單元連接，所述框架夾具固定于所述移動(dòng)單元上，所述框架夾具用于夾持掩膜版框架上相對(duì)設(shè)置的夾持區(qū)域，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述框架夾具產(chǎn)生作用于所述掩膜版框架上的推力，以使所述掩膜版框架產(chǎn)生預(yù)設(shè)形變；所述推力的方向沿第一方向朝向所述掩膜版框架的中心；其中，所述第一方向?yàn)楣潭ㄓ谒鲅谀ぐ婵蚣苌系难谀l的長(zhǎng)度方向。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版的張網(wǎng)設(shè)備，其特征在于，所述框架夾具為至少三對(duì)，每對(duì)所述框架夾具分別相對(duì)設(shè)置于所述掩膜版框架的兩側(cè)；

沿第二方向，所述掩膜版框架同一側(cè)的所述框架夾具依次排布，并且關(guān)于所述掩膜版框架上的中線(xiàn)對(duì)稱(chēng)，其中，所述第二方向?yàn)樗鲅谀ぐ婵蚣苌涎谀l的寬度方向，所述第二方向與所述第一方向垂直，所述中線(xiàn)與所述第一方向平行。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜版的張網(wǎng)設(shè)備，其特征在于，在所述掩膜版框架的同一側(cè)的各所述框架夾具等間距排布。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜版的張網(wǎng)設(shè)備，其特征在于，沿所述第二方向，從所述中線(xiàn)向所述掩膜版框架的兩側(cè)，所述框架夾具產(chǎn)生作用于所述掩膜版框架上的推力依次減小。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版的張網(wǎng)設(shè)備，其特征在于，所述框架夾具包括相對(duì)設(shè)置的第一夾件和第二夾件；所述第一夾件的一端和所述第二夾件的一端均固定在所述移動(dòng)單元上，所述第一夾件的另一端和所述第二夾件的另一端在遠(yuǎn)離所述移動(dòng)單元的一側(cè)形成開(kāi)口。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版的張網(wǎng)設(shè)備，其特征在于，所述掩膜版框架包括平行設(shè)置的第一邊框和第二邊框；所述第一邊框和所述第二邊框包括相對(duì)設(shè)置的至少一對(duì)夾持區(qū)域；同一對(duì)所述夾持區(qū)域，其中一個(gè)所述夾持區(qū)域位于所述第一邊框的側(cè)面，另一個(gè)所述夾持區(qū)域位于所述第二邊框的側(cè)面；其中，所述第一邊框的側(cè)面和所述第二邊框的側(cè)面與所述第一方向垂直。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版的張網(wǎng)設(shè)備，其特征在于，所述移動(dòng)單元包括導(dǎo)軌，所述支撐單元包括支撐柱。

8.一種掩膜版的張網(wǎng)方法，其特征在于，包括：

將掩膜版框架設(shè)置于張網(wǎng)設(shè)備，所述張網(wǎng)設(shè)備包括移動(dòng)機(jī)構(gòu)和框架夾具，所述框架夾具夾持所述掩膜版框架上相對(duì)設(shè)置的夾持區(qū)域；

控制所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述框架夾具產(chǎn)生作用于所述掩膜版框架的推力，以使所述掩膜版框架產(chǎn)生預(yù)設(shè)形變，并保持所述預(yù)設(shè)形變不變；所述推力的方向沿第一方向朝向所述掩膜版框架的中心；其中，所述第一方向?yàn)楣潭ㄓ谒鲅谀ぐ婵蚣苌系难谀l的長(zhǎng)度方向；

在所述掩膜版框架上張網(wǎng)各掩膜條；所述掩膜條上的拉力與所述推力大小匹配，方向相反；

控制所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述框架夾具釋放作用于所述掩膜版框架的推力。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，沿第二方向，從所述掩膜版框架的中線(xiàn)向所述掩膜版框架的兩側(cè)，所述框架夾具產(chǎn)生作用于所述掩膜版框架上的推力依次減小，其中，所述第二方向?yàn)樗鲅谀ぐ婵蚣苌系难谀l的寬度方向，所述第二方向與所述第一方向垂直，所述中線(xiàn)與所述第一方向平行。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，在所述掩膜版框架上張網(wǎng)各掩膜條，包括：

依次在所述掩膜版框架的預(yù)設(shè)位置處張網(wǎng)各掩膜條。