[發明專利]化學機械平坦化系統在審
| 申請號： | 201911194720.5 | 申請日： | 2019-11-28 |
| 公開（公告）號： | CN111230731A | 公開（公告）日： | 2020-06-05 |
| 發明（設計）人： | 陳世忠;林奕劭;彭升泰;薛雅仁;陳鴻霖;李仁鐸 | 申請（專利權）人： | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/20 | 分類號： | B24B37/20;B24B37/27;B24B37/34;B24B57/02 |
| 代理公司： | 隆天知識產權代理有限公司 72003 | 代理人： | 聶慧荃;閆華 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 化學 機械 平坦 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種化學機械平坦化系統，包括：
一研磨墊，包括一窗口，其包括：
一透明結構層，其具有一第一表面及相對該第一表面的一第二表面；以及
一親水性界面活性劑的一第一層，位于該透明結構層的該第一表面的至少一部分上。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于臺灣積體電路制造股份有限公司，未經臺灣積體電路制造股份有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201911194720.5/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：用于電梯系統的柱集成式臺階
- 下一篇：藥物涂覆的醫療裝置
