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[發明專利]一種剎車盤連續式滲硅爐及其工作方法有效

專利信息
申請號: 201911193892.0 申請日: 2019-11-28
公開(公告)號: CN110906734B 公開(公告)日: 2021-10-08
發明(設計)人: 史云強;楊川;殷如帥;劉汝強;李宗樂 申請(專利權)人: 山東道普安制動材料有限公司
主分類號: F27B9/02 分類號: F27B9/02;F27B9/04;F27B9/06;F27B9/12;F27B9/26;F27B9/30;F27D1/18;F27B9/36;F16D69/02
代理公司: 濟南金迪知識產權代理有限公司 37219 代理人: 王楠
地址: 251200 山東省德州市禹*** 國省代碼: 山東;37
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 剎車 連續 式滲硅爐 及其 工作 方法
【權利要求書】:

1.一種剎車盤連續式滲硅爐的工作方法,

所述剎車盤連續式滲硅爐包括外爐殼,外爐殼內設有真空室、高溫反應室、低溫緩沖室;真空室、高溫反應室、低溫緩沖室均設有保護氣充氣裝置,真空室兩側設有真空密封門,高溫反應室四周設有加熱管,加熱管通過調壓器與智能溫控儀連接,低溫緩沖室設有保溫層,高溫反應室與低溫緩沖室為相互連通;外爐殼底部設有軌道,軌道上設有坩堝套筒,坩堝套筒用于存放剎車盤和硅料,坩堝套筒經由軌道依次進入真空室、高溫反應室、低溫緩沖室;

軌道上設有動力部分和承載部分,動力部分包括電機絲杠,承載部分包括滾珠軸承組和載料板,滾珠軸承組套設于電機絲杠的絲杠上,載料板設于滾珠軸承組上方,載料板上設置坩堝套筒;

動力部分、保護氣充氣裝置、智能溫控儀均連接至控制電腦,由控制電腦控制動力部分的推動時機、推動距離、充氣時機、加熱溫度;

包括步驟如下:

設定動力部分每小時推動一次、每次推動距離為2米,設置真空室的長度為2米、高溫反應室的長度為2米、低溫緩沖室的長度為6米;

設定真空室的保護氣充氣裝置每小時真空充氣一次,真空密封門每一小時打開一次;

將剎車盤和硅料放入坩堝套筒內,將坩堝套筒置于載料板上,啟動電機絲杠,電機轉動帶動絲杠轉動,滾珠軸承組帶動載料板直線移動,移動至真空室時,真空室真空充氣;再次移動時,真空室中的坩堝套筒進入高溫反應室,反應時間為一小時,此時真空室中進入下一個坩堝套筒;再次移動時,高溫反應室中的坩堝套筒進入低溫緩沖室,后續坩堝依次進入;每一小時移動一次,高溫反應室進入低溫緩沖室中的坩堝套筒,在低溫緩沖室中降溫3小時,降溫后推出低溫緩沖室,實現階段性投料循環生產。

2.根據權利要求1所述的剎車盤連續式滲硅爐的工作方法,其特征在于,真空密封門向真空室外側打開。

3.根據權利要求1所述的剎車盤連續式滲硅爐的工作方法,其特征在于,真空密封門邊緣設有密封條。

4.根據權利要求1所述的剎車盤連續式滲硅爐的工作方法,其特征在于,真空密封門與高溫反應室之間設有0.5mm的間隙。

5.根據權利要求1所述的剎車盤連續式滲硅爐的工作方法,其特征在于,加熱管為鼠籠式加熱管。

6.根據權利要求1所述的剎車盤連續式滲硅爐的工作方法,其特征在于,滾珠軸承組、載料板、軌道均為石墨材料制成。

7.根據權利要求1所述的剎車盤連續式滲硅爐的工作方法,其特征在于,保護氣充氣裝置中提供的保護氣為氬氣。

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