[發明專利]漿料管結構

有效

• 申請號: 201911193413.5
• 申請日: 2019-11-28
• 公開（公告）號: CN111251484B
• 公開（公告）日: 2022-05-06
• 發明（設計）人: 劉家鳴;陳建銘;王瑞鴻;陳灝;吳翰宗
• 申請（專利權）人: 環球晶圓股份有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/00;B28D7/02
• 代理公司: 北京偉思知識產權代理事務所(普通合伙) 11725
• 代理人: 聶寧樂;張莉

1.一種漿料管結構，包括：

一本體，包括一管壁、兩個端壁、多個出料口及一進料口，其中所述管壁及所述兩個端壁構成一長槽及一開口，所述多個出料口系沿所述本體的一長方向設置于所述管壁；所述進料口設置于所述管壁，所述進料口藉由所述長槽連通于所述多個出料口，所述兩個端壁中的一個具有第一端部，另一個具有第二端部，該第一端部具有一非圓輪廓；

一蓋板，可拆離地連接于所述本體，且對應覆蓋所述開口；

多個噴嘴，設置于所述管壁，其中每一個所述噴嘴系分別對應于一個所述出料口；以及

一第一架體及一第二架體，所述第一架體包括一定位座，所述定位座具有一非圓容置座體，所述第一端部的非圓輪廓與所述非圓容置座體彼此配合，使二者無法相對轉動；

所述第二架體包括一支撐座，漿料管的所述第二端部設置于所述支撐座上。

2.如權利要求1所述的漿料管結構，其中，所述噴嘴系可拆離地連接于所述管壁。

3.如權利要求1所述的漿料管結構，其中，所述噴嘴具有一通道及一噴灑端，所述通道的一端連通于所述出料口，其另一端連通于噴灑端的一凹槽，且所述通道的延伸方向系與所述凹槽的延伸方向不平行。

4.如權利要求3所述的漿料管結構，其中，所述通道的延伸方向系與所述凹槽的延伸方向呈垂直。

5.如權利要求1所述的漿料管結構，其中，所述蓋板具有多個清潔孔及多個孔塞，每一個所述清潔孔系分別對應于一個所述出料口，且每一個所述清潔孔通過所述長槽與所述對應的出料口連通，每一個所述孔塞系可分離地分別對應設置于一個所述清潔孔。

6.如權利要求5所述的漿料管結構，其中，每一個所述清潔孔、與所述清潔孔對應的所述出料口及與所述出料口對應的所述噴嘴的所述通道系呈一直線。

7.如權利要求1所述的漿料管結構，其中，所述管壁包括一第一區域及與所述第一區域相鄰接的一第二區域，所述多個出料口系設置于所述第一區域，且所述進料口系設置于所述第二區域。

8.如權利要求7所述的漿料管結構，其中，所述進料口于所述第一區域定義有一投影位置，所述投影位置系介于相鄰的兩個所述出料口之間。