[發明專利]漿料管結構

有效

• 申請號: 201911193413.5
• 申請日: 2019-11-28
• 公開（公告）號: CN111251484B
• 公開（公告）日: 2022-05-06
• 發明（設計）人: 劉家鳴;陳建銘;王瑞鴻;陳灝;吳翰宗
• 申請（專利權）人: 環球晶圓股份有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/00;B28D7/02
• 代理公司: 北京偉思知識產權代理事務所(普通合伙) 11725
• 代理人: 聶寧樂;張莉

一種漿料管結構，包括本體、蓋板及多個噴嘴；本體包括管壁、兩個端壁、多個出料口及進料口，其中管壁及兩個端壁構成長槽及開口，出料口系沿本體的長方向設置于管壁；進料口設置于管壁，進料口藉由長槽連通于多個出料口。蓋板可拆離地連接于本體，且對應覆蓋開口。噴嘴設置于管壁，其中各噴嘴系分別對應于一個出料口。

技術領域

本發明與漿料管結構有關；特別是指一種可拆式的漿料管結構。

背景技術

在一般晶圓片制造過程中，晶柱系利用鉆石線切割成一片一片的晶圓片，以供后續的電子晶片制程、太陽能晶片制程使用。當使用鉆石線切割晶柱時，鉆石線會對晶圓摩擦產生熱，使晶圓溫度升高，因此需要噴灑水柱使晶圓降溫。然而，用以降溫的傳統漿料管大多系以一體成形的方式模鑄制成，當漿料管需要清洗管體內部時，將難以徹底清除雜質污垢。

另一方面，當使用鉆石線切割晶柱時，鉆石線系纏繞于主輪上，且與主輪同動。在長期使用下，鉆石線會磨損主輪表面，需將主輪表面拋磨平整后，方能繼續使用；因此，主輪的輪徑會因磨損而越來越小，使鉆石線與晶柱的接觸位置往下降。然而，傳統漿料管的調整架系以焊接方式固定在晶柱切割機中，且無法調整漿料管的位置，因此當主輪的輪徑因磨損而使使鉆石線與晶柱的接觸位置降低時，漿料管無法隨之調整其位置，以致傳統漿料管無法對晶柱切割制程提供較佳的降溫效果。

是以，傳統漿料管結構或傳統漿料管調整架仍然存在既有的技術問題，需要克服解決。

發明內容

有鑒于此，本發明之目的在于提供一種漿料管結構，其可藉由拆解蓋板，以便于清潔漿料管結構的本體。

緣以達成上述目的，本發明提供的一種漿料管結構包括一本體、一蓋板及多個噴嘴。該本體包括一管壁、兩個端壁、多個出料口及一進料口，其中該管壁及該兩個端壁構成一長槽及一開口，該多個出料口系沿該本體的一長方向設置于該管壁；該進料口設置于該管壁，該進料口藉由該長槽連通于該多個出料口。該蓋板系可拆離地連接于該本體，且對應覆蓋該開口。該多個噴嘴系設置于該管壁，其中每一個該噴嘴系分別對應于一個該出料口。

本發明的另一目的在于提供的一種漿料管調整架，其可調整漿料管本體的位置及傾斜角度，以在晶柱切割制程中提供較佳的降溫效果。

緣以達成上述目的，本發明提供的一種漿料管調整架包括一第一架體及一第二架體。該第一架體系對應連接于一漿料管的一第一端部，該第一架體包括一第一固定座、一第一移動件、一第二移動件及一定位座，其中該第一移動件系可分離地連接于該第一固定座，且該第一移動件可相對該第一固定座沿一第一方向位移；該第二移動件系可分離地連接于該第一移動件，且該第二移動件可相對該第一移動件沿一第二方向位移；該定位座系連接于該第二移動件，且可相對于該第二移動件轉動，該漿料管的該第一端部系設置于該定位座上。該第二架體系對應連接于該漿料管的一第二端部，該第二架體包括一第二固定座、一第三移動件及一第四移動件，其中該第三移動件系可分離地連接于該第二固定座，且該第三移動件可相對該第二固定座沿該第一方向及該第二方向中的一個位移；該第四移動件系可分離地連接于該第三移動件，且該第四移動件可相對該第三移動件沿該第一方向及該第二方向中的另一個位移；該第四移動件包括一支撐座，該漿料管的該第二端部系設置于該支撐座上。

本發明之效果在于漿料管結構具有可拆離的蓋板，相較于傳統漿料管結構，可便于徹底清潔漿料管結構中的死角。另外，本發明實施例所提供的漿料管調整架具有多個調整機構，使漿料管調整架可配合鉆石線與晶柱的接觸位置調整漿料管結構的位置及傾斜角度，以在晶柱切割制程中提供較佳的降溫效果。

附圖說明

圖1為本發明實施例的漿料管結構的俯視圖，其中以虛線表示長槽及進料口的位置；

圖2為本發明實施例的漿料管結構的側視圖，其中以虛線表示長槽、出料口及清潔孔的位置，且蓋板與本體分離；

圖3為本發明實施例的漿料管結構的仰視圖，其中以虛線表示進料口的位置，其中蓋板已移除；