[發明專利]一種坩堝系統

在審

• 申請號: 201911193289.2
• 申請日: 2019-11-28
• 公開（公告）號: CN112853272A
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發明（設計）人: 魯俊瑞;褚蓉蓉
• 申請（專利權）人: 合肥欣奕華智能機器有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/54
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 冉玲芬

本發明涉及蒸鍍設備技術領域，公開一種坩堝系統，該坩堝系統，包括：坩堝；蒸鍍材料表面位置檢測單元，用于檢測坩堝中的蒸鍍材料的表面位置；兩個加熱單元，其中，一個加熱單元用于自坩堝外側進行加熱，另一個加熱單元用于自坩堝內側進行加熱；兩個加熱單元中的至少一個可相對于坩堝沿坩堝的軸線方向移動的安裝于坩堝；用于驅動可相對于坩堝移動的加熱單元動作的驅動組件；控制單元，控制單元與蒸鍍材料表面位置檢測單元以及驅動組件信號連接，用于根據蒸鍍材料表面位置檢測單元檢測的蒸鍍材料的表面位置信息控制驅動組件動作。從而，確保坩堝中蒸鍍材料表面始終均勻受熱，從而使蒸鍍材料均勻揮發，保證蒸鍍的膜層的均勻性。

技術領域

本發明涉及蒸鍍設備技術領域，特別涉及一種坩堝系統。

背景技術

有機發光二極管等半導體器件在制備過程中通常需要采用蒸鍍工藝，而蒸鍍通常采用坩堝對其中的蒸鍍材料(如有機物，可以是液態的，也可以是固體顆粒)進行加熱，使蒸鍍材料揮發到要形成器件的基板上。

在現有技術中，坩堝在進行蒸鍍時，由于坩堝內蒸鍍材料揮發速率不穩定，造成蒸鍍工藝在基板各處形成的膜層厚度不均勻，影響產品質量。

發明內容

本發明公開了一種坩堝系統，用于提升坩堝系統在蒸鍍過程中蒸鍍材料揮發速率的穩定性。

為達到上述目的，本發明提供以下技術方案：

一種坩堝系統，包括：

坩堝；

蒸鍍材料表面位置檢測單元，用于檢測所述坩堝中的蒸鍍材料的表面位置；

兩個加熱單元，其中，一個加熱單元用于自坩堝外側進行加熱，另一個加熱單元用于自坩堝內側進行加熱；兩個加熱單元中的至少一個可相對于所述坩堝沿所述坩堝的軸線方向移動的安裝于所述坩堝；

用于驅動可相對于所述坩堝移動的加熱單元動作的驅動組件；

控制單元，所述控制單元與所述蒸鍍材料表面位置檢測單元以及所述驅動組件信號連接，用于根據所述蒸鍍材料表面位置檢測單元檢測的蒸鍍材料的表面位置信息控制所述驅動組件動作。

在上述坩堝系統中，在進行蒸鍍時，坩堝承載要蒸鍍的蒸鍍材料，一個加熱單元自坩堝外側進行加熱，另一個加熱單元自坩堝內側進行加熱，確保坩堝內部的蒸鍍材料內外受熱均勻，蒸鍍材料表面位置檢測單元實時檢測坩堝內的蒸鍍材料的表面位置，控制單元根據蒸鍍材料表面位置檢測單元檢測的蒸鍍材料的表面位置信息控制驅動組件動作，以確保驅動組件驅動兩個加熱單元中的至少一個加熱單元隨著蒸鍍材料表面的移動而移動，保持坩堝內蒸鍍材料表面始終保持一定的溫度，進而，確保坩堝中蒸鍍材料始終以穩定的速率向外揮發，最終，確?；宓容d體表面的膜層厚度均勻，保證了產品質量。

可選地，當自坩堝外側進行加熱的加熱單元可相對于所述坩堝移動時，所述驅動組件包括第一驅動單元；

所述第一驅動單元包括：

第一導向部，設置于所述坩堝外側，且沿所述坩堝的軸線方向延伸；

第一滑動部，與所述自坩堝外側進行加熱的加熱單元連接，并與所述第一導向部通過螺紋配合；

第一驅動部，與所述第一導向部的一端傳動連接。

可選地，當自坩堝內側進行加熱的加熱單元可相對于所述坩堝移動時，所述驅動組件包括第二驅動單元；

所述第二驅動單元包括：

傳動部，貫穿所述坩堝的底部，且一端與所述自坩堝內側進行加熱的加熱單元連接，另一端位于所述坩堝外部；

驅動器，用于驅動所述傳動部位于坩堝外部的一端沿所述坩堝的軸線方向移動。

可選地，所述驅動器包括：