[發明專利]一種坩堝系統

在審

• 申請號: 201911193289.2
• 申請日: 2019-11-28
• 公開（公告）號: CN112853272A
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發明（設計）人: 魯俊瑞;褚蓉蓉
• 申請（專利權）人: 合肥欣奕華智能機器有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/54
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 冉玲芬

1.一種坩堝系統，其特征在于，包括：

坩堝；

蒸鍍材料表面位置檢測單元，用于檢測所述坩堝中的蒸鍍材料的表面位置；

兩個加熱單元，其中，一個加熱單元用于自坩堝外側進行加熱，另一個加熱單元用于自坩堝內側進行加熱；兩個加熱單元中的至少一個可相對于所述坩堝沿所述坩堝的軸線方向移動的安裝于所述坩堝；

用于驅動可相對于所述坩堝移動的加熱單元動作的驅動組件；

控制單元，所述控制單元與所述蒸鍍材料表面位置檢測單元以及所述驅動組件信號連接，用于根據所述蒸鍍材料表面位置檢測單元檢測的蒸鍍材料的表面位置信息控制所述驅動組件動作。

2.根據權利要求1所述的坩堝系統，其特征在于，當自坩堝外側進行加熱的加熱單元可相對于所述坩堝移動時，所述驅動組件包括第一驅動單元；

所述第一驅動單元包括：

第一導向部，設置于所述坩堝外側，且沿所述坩堝的軸線方向延伸；

第一滑動部，與所述自坩堝外側進行加熱的加熱單元連接，并與所述第一導向部通過螺紋配合；

第一驅動部，與所述第一導向部的一端傳動連接。

3.根據權利要求1或2所述的坩堝系統，其特征在于，當自坩堝內側進行加熱的加熱單元可相對于所述坩堝移動時，所述驅動組件包括第二驅動單元；

所述第二驅動單元包括：

傳動部，貫穿所述坩堝的底部，且一端與所述自坩堝內側進行加熱的加熱單元連接，另一端位于所述坩堝外部；

驅動器，用于驅動所述傳動部位于坩堝外部的一端沿所述坩堝的軸線方向移動。

4.根據權利要求3所述的坩堝系統，其特征在于，所述驅動器包括：

第二導向部，沿所述坩堝的軸線方向延伸；

第二滑動部，與所述傳動部位于所述坩堝外的一端傳動連接，并與所述第二導向部通過螺紋配合；

第二驅動部，與所述第二導向部的一端傳動連接。

5.根據權利要求1所述的坩堝系統，其特征在于，所述坩堝系統還包括位于所述坩堝內部的隔離部件，所述隔離部件具有容納腔，所述自坩堝內側進行加熱的加熱單元形成于所述容納腔中。

6.根據權利要求5所述的坩堝系統，其特征在于，所述隔離部件呈沿所述坩堝軸線方向延伸的桿狀結構。

7.根據權利要求6所述的坩堝系統，其特征在于，所述隔離部件的軸線與所述坩堝的軸線重合。

8.根據權利要求5所述的坩堝系統，其特征在于，所述隔離部件呈沿所述坩堝的軸線方向延伸的板狀結構，所述容納腔在所述隔離部件內沿所述隔離部件垂直于所述坩堝的軸線方向的橫截面的長度方向延伸。

9.根據權利要求8所述的坩堝系統，其特征在于，所述隔離部件的數量為多個，且多個隔離部件交叉設置，以將所述坩堝的內部空間分為至少3個區域。

10.根據權利要求8所述的坩堝系統，其特征在于，所述隔離部件的垂直于所述坩堝的軸線的橫截面沿所述坩堝的徑向延伸。