[發明專利]一種測試光刻膠樹脂組分的方法

有效

• 申請號: 201911191617.5
• 申請日: 2019-11-28
• 公開（公告）號: CN110927207B
• 公開（公告）日: 2022-05-06
• 發明（設計）人: 樊丹;馬瀟;顧大公;毛智彪;許從應
• 申請（專利權）人: 寧波南大光電材料有限公司;江蘇南大光電材料股份有限公司
• 主分類號: G01N25/20
• 分類號: G01N25/20;G01N5/04;G01N24/08;G01N33/44
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務所 32237
• 代理人: 王玉國

1.一種測試光刻膠樹脂組分的方法，其特征在于，包括如下步驟：

S1、將待測試的光刻膠樹脂置于溶劑中溶解，通過核磁共振得到氫譜和碳譜；

S2、對氫譜、碳譜進行分析，若圖譜中各單體峰沒有相互重疊，則根據峰面積得到光刻膠樹脂中各單體的摩爾比，若圖譜中各單體峰相互重疊，則轉入S3；

S3、對待測測試的光刻膠樹脂做熱失重分析，通過如下公式 計算光刻膠樹脂中各單體的摩爾比，

A％為光刻膠樹脂單體A的摩爾百分比，B％為光刻膠樹脂單體B的摩爾百分比,Tg₁為光刻膠樹脂在熱失重過程中第一階段的失重百分比，Tg₂為光刻膠樹脂在熱失重過程中第二階段的失重百分比，T_A1為單體A在熱失重過程中第一階段的失重百分比，M_A為單體A的摩爾質量，M_B為單體B的摩爾質量；

所述光刻膠樹脂由含功能基團的甲基丙烯酸酯單體聚合而成，所述甲基丙烯酸酯單體的結構通式如下，

式中，R₁為H或碳原子數在1-20的含碳基團，R₂為含功能性基團的官能團；

所述光刻膠樹脂的制備方法如下，

將兩種甲基丙烯酸酯類單體A、B以偶氮二異庚腈為引發劑，進行RAFT反應，包括以下步驟：

S1、將四氫呋喃加熱至50-80℃，得到經預熱的四氫呋喃；

S2、將單體和引發劑溶解在四氫呋喃中，獲得原料的四氫呋喃溶液；

S3、將步驟S2獲得的原料的四氫呋喃溶液滴加到步驟S1中經預熱的四氫呋喃中，50-80℃恒溫回流反應10-30小時；

S4、反應完成后冷卻至20-30℃，用正己烷沉淀，過濾烘干獲得光刻膠樹脂。

2.根據權利要求1所述的一種測試光刻膠樹脂組分的方法，其特征在于，所述功能性基團為極性單體，剛性單體，酸保護單體，柔性單體中的任意一種。

3.根據權利要求1所述的一種測試光刻膠樹脂組分的方法，其特征在于，所述R2含有的碳原子數在6-30之間；

R2和酯鍵氧原子相連的碳原子的氫原子全部被其它基團取代，構成叔丁基酯、取代叔丁基酯、烷基取代的金剛烷酯、烷基取代的金剛烷衍生物酯、烷基取代的降冰片酯、烷基取代的降冰片衍生物酯、烷基取代的環狀烷基酯、烷基取代的環狀烷基衍生物酯中的一種或多種；

或者，R2和酯鍵氧原子相連構成含1個或多個獨立羥基的金剛烷酯、含1個或多個獨立羥基的環己酯、含1個或多個獨立羥基的環戊酯、含1個或多個獨立羥基的多環酯類化合物、含1個或多個獨立羥基的籠狀酯類化合物、丁內酯、戊內酯、取代戊內酯、己內酯、取代己內酯、含金剛烷結構的內酯、含多環結構的內酯、含籠狀結構的內酯中的一種或多種。