[發明專利]一種機臺視窗的遮擋裝置、方法及半導體設備

有效

• 申請號: 201911191281.2
• 申請日: 2019-11-28
• 公開（公告）號: CN111430265B
• 公開（公告）日: 2023-09-12
• 發明（設計）人: 殷賽賽;程長青;秦俊明
• 申請（專利權）人: 合肥晶合集成電路股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 王華英

本發明公開一種機臺視窗的遮擋裝置、方法及半導體設備，所述機臺視窗的遮擋裝置包括判斷模塊、分析處理模塊以及電機驅動模塊，所述判斷模塊用于確定晶圓傳送盒的類型以及確定所述機臺視窗的覆蓋狀態，所述分析處理模塊用于接收所述晶圓傳送盒的類型以及機臺視窗的覆蓋狀態，以輸出控制信號，所述電機驅動模塊用于接收所述控制信號，以帶動遮擋部件沿著所述機臺視窗向上或向下運動。本發明避免了當機臺混合運轉非銅制程出現故障、錯位時，需打開視窗檢查內部組件狀態等現象的發生。

技術領域

本發明涉及半導體集成電路制造技術領域，特別是涉及一種機臺視窗的遮擋裝置、方法及半導體設備。

背景技術

芯片制造工廠現有非銅制程(如：鋁制程)和銅制程，有些機臺會有混合運轉非銅晶圓傳送盒(FOUP)和銅晶圓傳送盒的情況，目前廠內為了避免光照對銅制程的影響，對混合運轉機臺的視窗進行固定覆膜遮擋處理。

當機臺混合運轉非銅制程出現故障、錯位時，需打開視窗門檢查內部組件的狀態，從而判斷晶圓的位置是否水平，半導體設備機械手的取向位置是否正確等，會產生非必要的內部連鎖反應，增加回線時間，造成產能浪費等現象。

發明內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本發明的目的在于提供一種機臺視窗的遮擋裝置、方法及半導體設備，用于解決現有技術中的當機臺混合運轉非銅制程出現故障、錯位時，需打開視窗門檢查內部組件的狀態，從而判斷晶圓的位置是否水平，半導體設備機械手的取向位置是否正確等，會產生非必要的內部連鎖反應，增加回線時間，造成產能浪費等現象的問題。

為實現上述目的及其他相關目的，本發明提供一種機臺視窗的遮擋裝置，所述機臺視窗的遮擋裝置包括：

判斷模塊，用于確定晶圓傳送盒的類型以及確定所述機臺視窗的覆蓋狀態；

分析處理模塊，用于接收所述晶圓傳送盒的類型以及機臺視窗的覆蓋狀態，以輸出控制信號；

電機驅動模塊，用于接收所述控制信號，以帶動遮擋部件沿著所述機臺視窗向上或向下運動。

在本發明的一實施例中，所述機臺視窗的遮擋裝置還包括：

彈性支撐柱，其安裝于機臺載臺上設定特征點位置的支撐柱孔洞內，所述彈性支撐柱與所述判斷模塊相連接。

在本發明的一實施例中，所述判斷模塊包括：

至少一第一感應模塊，用于感應彈性支撐柱的位置變化；

第一判斷模塊，用于根據所述彈性支撐柱的位置變化，以確定所述晶圓傳送盒的類型；

至少一第二感應模塊，用于感應所述遮擋部件的位置變化；

第二判斷模塊，用于根據所述遮擋部件的位置變化，以確定所述機臺視窗的覆蓋狀態。

在本發明的一實施例中，所述第一感應模塊安裝于彈性支撐柱上。

在本發明的一實施例中，所述第二感應模塊安裝于所述機臺視窗上，當所述遮擋部件位于所述機臺視窗的頂端或底端時，則所述第二感應模塊位于所述機臺視窗的底端或頂端。

在本發明的一實施例中，所述晶圓傳送盒的類型包括銅晶圓傳送盒和非銅晶圓傳送盒。

在本發明的一實施例中，所述遮擋部件的位置變化包括所述遮擋部件由所述機臺視窗的頂端移動至底端，以及所述遮擋部件由所述機臺視窗的底端移動至頂端。

本發明還提供一種機臺視窗的遮擋方法，所述機臺視窗的遮擋方法包括：

確定晶圓傳送盒的類型；

確定所述機臺視窗的覆蓋狀態；

根據所述晶圓傳送盒的類型以及機臺視窗的覆蓋狀態，決定遮擋部件是否運動以及運動的方向。