[發(fā)明專利]一種機(jī)臺視窗的遮擋裝置、方法及半導(dǎo)體設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911191281.2
• 申請日: 2019-11-28
• 公開（公告）號: CN111430265B
• 公開（公告）日: 2023-09-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 殷賽賽;程長青;秦俊明
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥晶合集成電路股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所(普通合伙) 31219
• 代理人: 王華英

1.一種機(jī)臺視窗的遮擋裝置，其特征在于，所述機(jī)臺視窗的遮擋裝置包括：

判斷模塊，用于確定晶圓傳送盒的類型以及確定所述機(jī)臺視窗的覆蓋狀態(tài)；

分析處理模塊，用于接收所述晶圓傳送盒的類型以及機(jī)臺視窗的覆蓋狀態(tài)，以輸出控制信號；

電機(jī)驅(qū)動模塊，用于接收所述控制信號，以帶動遮擋部件沿著所述機(jī)臺視窗向上或向下運(yùn)動；

彈性支撐柱，其安裝于機(jī)臺載臺上設(shè)定特征點(diǎn)位置的支撐柱孔洞內(nèi)，所述彈性支撐柱與所述判斷模塊相連接；

其中，所述判斷模塊包括：至少一第一感應(yīng)模塊，用于感應(yīng)所述彈性支撐柱的位置變化；第一判斷模塊，用于根據(jù)所述彈性支撐柱的位置變化，以確定所述晶圓傳送盒的類型；至少一第二感應(yīng)模塊，用于感應(yīng)所述遮擋部件的位置變化；第二判斷模塊，用于根據(jù)所述遮擋部件的位置變化，以確定所述機(jī)臺視窗的覆蓋狀態(tài)，所述晶圓傳送盒的類型包括銅晶圓傳送盒和非銅晶圓傳送盒，所述非銅晶圓傳送盒的第一特征點(diǎn)和第二特征點(diǎn)為空心，所述銅晶圓傳送盒的第三特征點(diǎn)為實心，在機(jī)臺載臺上設(shè)定特征點(diǎn)位置處，當(dāng)所述彈性支撐柱與所述機(jī)臺載臺的對應(yīng)位置處為所述非銅晶圓傳送盒時，則所述彈性支撐柱不發(fā)生彈性形變，當(dāng)所述彈性支撐柱與所述機(jī)臺載臺的對應(yīng)位置處為所述銅晶圓傳送盒時，則所述彈性支撐柱發(fā)生彈性形變并處于壓縮狀態(tài)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種機(jī)臺視窗的遮擋裝置，其特征在于：所述第一感應(yīng)模塊安裝于彈性支撐柱上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種機(jī)臺視窗的遮擋裝置，其特征在于：所述第二感應(yīng)模塊安裝于所述機(jī)臺視窗上，當(dāng)所述遮擋部件位于所述機(jī)臺視窗的頂端或底端時，則所述第二感應(yīng)模塊位于所述機(jī)臺視窗的底端或頂端。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種機(jī)臺視窗的遮擋裝置，其特征在于：所述遮擋部件的位置變化包括所述遮擋部件由所述機(jī)臺視窗的頂端移動至底端，以及所述遮擋部件由所述機(jī)臺視窗的底端移動至頂端。

5.一種機(jī)臺視窗的遮擋方法，其特征在于，所述機(jī)臺視窗的遮擋方法應(yīng)用于如權(quán)利要求1至權(quán)利要求4中任意一項所述的機(jī)臺視窗的遮擋裝置，所述機(jī)臺視窗的遮擋方法包括：

通過第一感應(yīng)模塊感應(yīng)并判斷彈性支撐柱的位置變化，確定晶圓傳送盒的類型；

當(dāng)所述彈性支撐柱的位置發(fā)生變化，判斷所述晶圓傳送盒的類型為銅晶圓傳送盒；

當(dāng)所述彈性支撐柱的位置未發(fā)生變化，判斷所述晶圓傳送盒的類型為非銅晶圓傳送盒；

通過第二感應(yīng)模塊感應(yīng)并判斷遮擋部件的位置變化，確定機(jī)臺視窗的覆蓋狀態(tài)；

當(dāng)所述遮擋部件的位置發(fā)生變化，判斷機(jī)臺視窗為覆蓋狀態(tài)；

當(dāng)所述遮擋部件的位置未發(fā)生變化，判斷機(jī)臺視窗為未覆蓋狀態(tài)；

根據(jù)所述晶圓傳送盒的類型以及所述機(jī)臺視窗的覆蓋狀態(tài)，決定遮擋部件是否運(yùn)動以及運(yùn)動的方向。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種機(jī)臺視窗的遮擋方法，其特征在于，所述根據(jù)所述晶圓傳送盒的類型以及所述機(jī)臺視窗的覆蓋狀態(tài)，決定所述遮擋部件是否運(yùn)動以及運(yùn)動的方向包括：

當(dāng)所述晶圓傳送盒的類型為銅晶圓傳送盒，所述機(jī)臺視窗處于覆蓋狀態(tài)時，則所述遮擋部件不運(yùn)動；

當(dāng)所述晶圓傳送盒的類型為銅晶圓傳送盒，所述機(jī)臺視窗處于未覆蓋狀態(tài)時，則所述遮擋部件沿著所述機(jī)臺視窗向上運(yùn)動；

當(dāng)所述晶圓傳送盒的類型為非銅晶圓傳送盒，所述機(jī)臺視窗處于未覆蓋狀態(tài)時，則所述遮擋部件不運(yùn)動；

當(dāng)所述晶圓傳送盒的類型為非銅晶圓傳送盒，所述機(jī)臺視窗處于覆蓋狀態(tài)時，則所述遮擋部件沿著所述機(jī)臺視窗向下運(yùn)動。

7.一種半導(dǎo)體設(shè)備，包括如權(quán)利要求1至權(quán)利要求4任意一項所述的機(jī)臺視窗的遮擋裝置，其特征在于，所述半導(dǎo)體設(shè)備包括：

機(jī)臺本體，其內(nèi)部設(shè)置有銅晶圓傳送盒和/或非銅晶圓傳送盒；

機(jī)臺視窗，其安裝于所述機(jī)臺本體上，所述機(jī)臺視窗與遮擋部件連接；

遮擋部件，其與電機(jī)驅(qū)動模塊連接；

機(jī)臺載臺，其上設(shè)定特征點(diǎn)位置的支撐柱孔洞內(nèi)安裝有彈性支撐柱。