[發明專利]一種晶圓存放周轉裝置

有效

• 申請號: 201911190764.0
• 申請日: 2019-11-28
• 公開（公告）號: CN111003329B
• 公開（公告）日: 2021-06-08
• 發明（設計）人: 林濤;馬崗強;楊毓軍;徐雪剛;毛朝慶;劉睿強;盧靜;秦平;辛邵華;劉啟飛;趙文兵;余仕平
• 申請（專利權）人: 重慶電子工程職業學院
• 主分類號: B65D25/10
• 分類號: B65D25/10;B65D85/30
• 代理公司: 重慶蘊博君晟知識產權代理事務所(普通合伙) 50223
• 代理人: 王玉芝

1.一種晶圓存放周轉裝置，其特征在于，包括基座、閉合蓋板、抵制組件和夾持組件；

所述基座具有放置槽，所述放置槽位于所述基座的一側，并伸入所述基座的內部，所述閉合蓋板與所述基座滑動連接，并與所述放置槽配合，且位于所述基座的內部，所述閉合蓋板具有容納槽和齒槽，所述容納槽位于所述閉合蓋板靠近所述基座的一側，并朝向遠離所述基座的方向伸入所述閉合蓋板內，且與所述放置槽貫通，晶圓放置在所述放置槽和所述容納槽之間，所述齒槽位于所述閉合蓋板在所述容納槽的側壁，并朝向遠離所述容納槽的方向側向伸入所述閉合蓋板的內部，所述抵制組件與所述基座固定連接，并位于所述放置槽內，且位于所述基座靠近所述閉合蓋板的一側，所述夾持組件與所述基座轉動連接，并與所述閉合蓋板配合；

所述夾持組件包括夾持塊和旋轉構件，所述夾持塊通過所述旋轉構件與所述基座轉動連接，并從所述放置槽的內部旋轉至所述齒槽的內部，所述旋轉構件與所述基座轉動連接，并與所述閉合蓋板配合；

所述旋轉構件包括傳動軸和旋轉齒輪，所述傳動軸與所述基座轉動連接，并與所述夾持塊固定連接，且貫穿所述閉合蓋板，所述旋轉齒輪與所述傳動軸固定連接，并與所述閉合蓋板旋轉配合，且位于所述傳動軸和所述閉合蓋板之間。

2.如權利要求1所述的晶圓存放周轉裝置，其特征在于，

所述抵制組件包括左側弧形塊和右側弧形塊，所述左側弧形塊與所述基座固定連接，并位于所述放置槽的內部，且位于所述基座靠近所述閉合蓋板的一側，所述右側弧形塊與所述基座固定連接，并位于所述基座靠近所述閉合蓋板的一側，且位于所述基座遠離所述左側弧形塊的一側。

3.如權利要求2所述的晶圓存放周轉裝置，其特征在于，

所述夾持組件還包括緩沖墊片，所述緩沖墊片與所述夾持塊固定連接，并位于所述夾持塊朝向遠離所述齒槽的一側。

4.如權利要求3所述的晶圓存放周轉裝置，其特征在于，

所述夾持組件還包括抵制彈簧，所述抵制彈簧與所述閉合蓋板抵接，并與所述夾持塊抵接，且套設在所述傳動軸的外周，所述抵制彈簧位于所述夾持塊和所述閉合蓋板之間。

5.如權利要求4所述的晶圓存放周轉裝置，其特征在于，

所述抵制組件還包括減震彈簧，所述減震彈簧與所述基座抵接，并與所述閉合蓋板抵接，且位于所述基座和所述閉合蓋板之間，所述減震彈簧位于所述齒槽內，并朝向所述閉合蓋板滑動的方向。

6.如權利要求5所述的晶圓存放周轉裝置，其特征在于，

所述抵制組件還包括壓縮氣缸和活塞桿，所述壓縮氣缸與所述基座固定連接，并朝向所述減震彈簧的方向，且位于所述減震彈簧和所述基座之間；所述活塞桿與所述壓縮氣缸滑動連接，并與所述減震彈簧抵接，且與所述閉合蓋板抵接，所述活塞桿的部分伸入所述壓縮氣缸的內部，并位于所述壓縮氣缸和所述閉合蓋板之間。

7.如權利要求1所述的晶圓存放周轉裝置，其特征在于，

所述晶圓存放周轉裝置還包括轉運箱和收納組件，所述轉運箱通過所述收納組件與所述基座滑動連接，并位于所述基座的外周；所述收納組件與所述基座固定連接，并位于所述轉運箱的內部。

8.如權利要求7所述的晶圓存放周轉裝置，其特征在于，

所述收納組件包括連接架和分隔板，所述連接架與所述轉運箱固定連接，并與所述基座固定連接，且位于所述轉運箱的內部；所述分隔板與所述連接架固定連接，并與所述連接架固定連接，且位于所述基座遠離所述轉運箱的一側。

9.如權利要求8所述的晶圓存放周轉裝置，其特征在于，

所述閉合蓋板還具有限位凹槽，所述限位凹槽位于所述閉合蓋板遠離所述基座的一側，并朝向靠近所述基座的方向伸入所述閉合蓋板的內部；所述收納組件還包括限位卡扣，所述限位卡扣與所述連接架通過轉軸轉動連接，并與所述限位凹槽配合，對所述閉合蓋板限位。

10.如權利要求9所述的晶圓存放周轉裝置，其特征在于，

所述收納組件還包括抽拉把手，所述抽拉把手與所述閉合蓋板固定連接，并位于所述閉合蓋板靠近所述限位凹槽的一側。