[發(fā)明專利]一種穩(wěn)定性高的多晶濕法黑硅制絨工藝

在審

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• 申請日: 2019-11-28
• 公開（公告）號: CN110911527A
• 公開（公告）日: 2020-03-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳早;管自生;侯成成;彭曉晨
• 申請（專利權(quán)）人: 南京納鑫新材料有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/02
• 代理公司: 北京挺立專利事務(wù)所(普通合伙) 11265
• 代理人: 石磊

本發(fā)明涉及濕法黑硅電池制備技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種穩(wěn)定性高的多晶濕法黑硅制絨工藝，具體步驟包括將多晶金剛線硅片經(jīng)黑硅槽式機(jī)，過常規(guī)的初拋去損傷層，沉銀挖孔，一步堿洗脫銀處理后，再通過所配強(qiáng)化酸洗溶液進(jìn)行處理，處理后經(jīng)過擴(kuò)孔，堿洗，酸洗，水洗，烘干，最后將制絨后的硅片，按照正常黑硅電池片生產(chǎn)工藝流程進(jìn)行低壓擴(kuò)散，鏈?zhǔn)奖趁婵涛g，PECVD鍍膜鈍化，絲網(wǎng)印刷和燒結(jié)，最終進(jìn)行效率測試和EL在線檢測。該穩(wěn)定性高的多晶濕法黑硅制絨工藝，縮短了原來實(shí)際生產(chǎn)中的清洗時間，增加生產(chǎn)的產(chǎn)能，同時也保證了電池外觀和效率無異常。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及濕法黑硅電池制備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種穩(wěn)定性高的多晶濕法黑硅制絨工藝。

背景技術(shù)

隨著金剛線切割技術(shù)的不斷發(fā)展，金剛線切割的多晶硅片已基本取代了傳統(tǒng)的砂漿線切割硅片，同時應(yīng)運(yùn)而生的多晶濕法黑硅技術(shù)，也迅速的在企業(yè)中實(shí)現(xiàn)了批量化生產(chǎn)，但鑒于目前的濕法黑硅技術(shù)都是需要重金屬(銀和銅等)進(jìn)行表面催化反應(yīng)的，尤其在現(xiàn)有的批量化生產(chǎn)中，考慮到機(jī)械臂之間的帶液情況，這些外引入的金屬如果沒有被較好的清洗掉，大量殘留在機(jī)臺里，甚至在硅片表面上，會在后續(xù)的高溫?cái)U(kuò)散工藝中，進(jìn)入到硅體內(nèi)部形成高密度的復(fù)合中心，造成制程的黑硅電池片效率大幅降低，同時EL(電致發(fā)光electroluminescent)上出現(xiàn)類似于“龜殼狀”的不良結(jié)構(gòu)影像。

因此，有效的增強(qiáng)硅片表面的金屬清洗能力，是提升產(chǎn)線工藝批量生產(chǎn)穩(wěn)定，避免產(chǎn)線效率波動及產(chǎn)線EL不良的有效方式。

發(fā)明內(nèi)容

(一)解決的技術(shù)問題

針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種穩(wěn)定性高的多晶濕法黑硅制絨工藝具備，縮短了原來實(shí)際生產(chǎn)中的清洗時間，增加生產(chǎn)的產(chǎn)能，同時也保證了電池外觀和效率無異常，解決了上述背景技術(shù)中提出的問題。

(二)技術(shù)方案

為實(shí)現(xiàn)上述的目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種穩(wěn)定性高的多晶濕法黑硅制絨工藝，具體步驟包括將多晶金剛線硅片經(jīng)黑硅槽式機(jī)，過常規(guī)的初拋去損傷層，沉銀挖孔，一步堿洗脫銀處理后，再通過所配強(qiáng)化酸洗溶液進(jìn)行處理，處理后經(jīng)過擴(kuò)孔，堿洗，酸洗，水洗，烘干，最后將制絨后的硅片，按照正常黑硅電池片生產(chǎn)工藝流程進(jìn)行低壓擴(kuò)散，鏈?zhǔn)奖趁婵涛g，PECVD鍍膜鈍化，絲網(wǎng)印刷和燒結(jié)，最終進(jìn)行效率測試和EL在線檢測。

優(yōu)選的，所述強(qiáng)力酸洗槽鹽酸體積分?jǐn)?shù)最佳占地為10％～15％，雙氧水最佳占比為2％～5％，肌醇六磷酸等機(jī)磷酸類化合物最佳占比為0.05％～0.15％。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種穩(wěn)定性高的多晶濕法黑硅制絨工藝，其特征在于：所述黑硅槽式機(jī)以每小時6000片產(chǎn)能的情況下，強(qiáng)力清洗的酸槽最佳工藝參數(shù)優(yōu)選為，浸泡清洗時間120～150s,溫度可以控制在常溫25度左右，且在以上條件下，可以有效的控制經(jīng)過強(qiáng)酸洗的硅片反射率在5.5～6.5，以6.0最佳。

優(yōu)選的，所述黑硅槽式機(jī)以每小時7000片產(chǎn)能的情況下，強(qiáng)力清洗的酸槽最佳工藝參數(shù)優(yōu)選為，浸泡清洗時間90～120s,溫度需控制控制在40度左右，且在以上條件下，可以有效的控制經(jīng)過強(qiáng)酸洗的硅片反射率在5.5～6.5，以6.0最佳。

優(yōu)選的，所述黑硅槽式機(jī)在正常穩(wěn)定生產(chǎn)的條件下，強(qiáng)力酸洗槽中各藥液試劑的過程補(bǔ)加，以鹽酸每批20～100ml/400pcs,雙氧水每批20～100ml/400pcs,肌醇六磷酸等機(jī)磷酸類化合物每批2～30g最佳。

優(yōu)選的，所述黑硅制絨完全結(jié)束后，整體制絨后減重控制在0.3～0.38g最佳，同時相應(yīng)電池后道工序進(jìn)行工藝匹配，擴(kuò)散方阻不低100Ω，濕法刻蝕減重最佳控制0.13g。

(三)有益效果

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供了一種穩(wěn)定性高的多晶濕法黑硅制絨工藝，具備以下有益效果：