[發明專利]一種銅材料表面的電化學拋光方法有效
| 申請號： | 201911187583.2 | 申請日： | 2019-11-27 |
| 公開（公告）號： | CN110846710B | 公開（公告）日： | 2021-04-23 |
| 發明（設計）人： | 劉洋;董笑瑜;梁田;吳亞琴;成紅霞;唐中華;呂婧 | 申請（專利權）人： | 南京三樂集團有限公司 |
| 主分類號： | C25F3/22 | 分類號： | C25F3/22 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 李瓊 |
| 地址： | 210000 江蘇省南*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 材料 表面 電化學 拋光 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種銅材料表面的電化學拋光方法，其特征在于，包括如下步驟：
(1)配制拋光溶液；
(2)將待拋光銅材料浸入拋光溶液中，開通電源進行拋光；
其中，步驟(1)具體包括：
(11)根據要配制溶液的總體積計算各溶質的用量，溶質包括磷酸、丙三醇、硫脲和聚氧乙烯烷醇酰胺；
(12)根據計算結果，稱取磷酸、丙三醇導入耐腐蝕容器中，加水至達到所述總體積，攪拌溶解得到第一中間溶液；
(13)根據計算結果，稱取硫脲并加入到所述第一中間溶液中，攪拌溶解得到第二中間溶液；
(14)根據計算結果，量取聚氧乙烯烷醇酰胺并加入到所述第二中間溶液中，攪拌均勻得到所述拋光溶液；
步驟(11)具體包括：每配制總體積為1L拋光溶液，各溶質的用量分別為：
磷酸：50-60mL；
丙三醇：80-100mL；
硫脲：2-3g；
聚氧乙烯烷醇酰胺：0.5-0.8mL；
步驟(2)中，所開通的電源的電流密度為5-6A/dm2，頻率為5000Hz，占空比為5％-15％；拋光時間為15-20s，拋光在室溫下進行。
2.根據權利要求1所述的銅材料表面的電化學拋光方法，其特征在于，還包括如下步驟：
(3)關閉電源，取出銅材料，脫水并烘干。
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