[發明專利]張網裝置及張網方法

有效

• 申請號: 201911183833.5
• 申請日: 2019-11-27
• 公開（公告）號: CN112846604B
• 公開（公告）日: 2022-06-28
• 發明（設計）人: 胡聰;肖起康;廖飛紅;李新振;謝洋;董浩
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: B23K37/04
• 分類號: B23K37/04;C23C14/04;C23C14/24;H01L51/00;H01L51/56
• 代理公司: 上海思捷知識產權代理有限公司 31295
• 代理人: 王宏婧

本發明提供了一種張網裝置及張網方法，包括兩對定位夾持結構及至少一對形變夾持結構，每對定位夾持結構和每對形變夾持結構均設置于支撐框架相對的第一側和第二側，第一側和第二側上，所述形變夾持結構位于兩個定位夾持結構之間；所述定位夾持結構及所述形變夾持結構均能夠沿水平方向移動，且所述定位夾持結構及所述形變夾持結構上均設置有位置測量單元。本發明通過兩對定位夾持結構實現支撐框架的定位夾持，至少一對形變夾持結構實現形變，結構簡單緊湊，同時兼容壓緊和精對準的功能，在保證精度的同時可以節約成本。

技術領域

本發明涉及半導體制造技術領域，尤其涉及一種張網裝置及張網方法。

背景技術

有機發光二極管(Organic Light Emitting Diode，OLED)顯示面板以其全固態、主動發光、高對比度、超薄、低功耗、響應速度快等諸多優點，逐漸成為目前顯示領域極具前景的顯示產品。在OLED顯示面板的生產中，用于將有機發光材料蒸鍍到顯示基板上的精細金屬掩模板(Fine Metal Mask，FMM)是OLED顯示面板生產過程中的重要器件。

通常情況下，一套FMM包括：支撐框架、支撐掩膜條和多條FMM條，FMM一般采用張網技術制作，張網過程就是將支撐掩膜條和FMM條焊接到支撐框架上的過程，由于每焊接一條FMM條時，該FMM條會對支撐框架產生一定的拉伸力(英文：Stretch Force，簡稱：SF)，該拉伸力會造成支撐框架發生形變從而導致最終形成的整個FMM的變形。為了平衡這一拉伸力，通常在焊接過程中會對支撐框架施加一定的對抗力(Counter Force，CF)。目前，采用張網裝置來對焊接過程中的支撐框架施加CF，現有的張網裝置包括多個夾持結構，多個夾持結構用于夾持支撐框架，并在夾持的位置為支撐框架施加CF以使支撐框架產生變形。然后對FMM條水平向施加拉力將FMM條拉緊之后焊接到已經產生變形的支撐框架上，松開夾持結構之后水平向拉力消失，此時支撐框架恢復形變恢復來彌補水平向的拉力，這樣FMM條在夾持結構的拉力去掉后，就可以以一定的張力張緊在支撐框架上。

在焊接之前支撐框架需要完成水平向三自由度精對準，以使FMM條焊放置位置準確，常用的方案是采用三自由度運動臺實現精對準，但是三自由度運動臺需要增加較多水平向運動軸，結構復雜且成本高。

發明內容

本發明的目的在于提供一種張網裝置及張網方法，通過夾持結構同時實現夾持和精對準的功能，結構簡單成本低。

為了達到上述目的，本發明提供了一種張網裝置，用于對一支撐框架進行張網，包括：

兩對定位夾持結構及至少一對形變夾持結構，每對定位夾持結構和每對形變夾持結構均設置于所述支撐框架相對的第一側和第二側，在第一側和第二側上，所述形變夾持結構位于兩個定位夾持結構之間；

所述定位夾持結構及所述形變夾持結構均能夠在平行于支撐框架表面的平面內移動，，且所述定位夾持結構及所述形變夾持結構上均設置有位置測量單元。

可選的，所述第一側的定位夾持結構上設置有的位置測量單元為絕對位置測量單元，所述形變夾持結構及所述第二側的定位夾持結構上設置的位置測量單元為有相對位置測量單元。

可選的，所述絕對位置測量單元包括絕對光柵尺或干涉儀，所述相對位置測量單元包括相對編碼器。

可選的，所述定位夾持結構及所述形變夾持結構上設置的位置測量單元均為絕對位置測量單元。

可選的，所述定位夾持結構及形變夾持結構包括驅動組件及夾持組件，所述驅動組件用于驅動所述夾持組件沿靠近或遠離所述支撐框架的方向移動，以夾持或釋放所述支撐框架。

可選的，所述驅動組件包括驅動單元及絲桿單元，所述絲桿單元用于連接所述驅動單元及所述夾持組件，以將所述驅動單元的旋轉運動轉換為所述夾持組件的直線運動。

可選的，所述驅動組件還包括緩沖單元，所述驅動單元及所述絲桿單元通過所述緩沖單元連接。