[發明專利]張網裝置及張網方法

有效

• 申請號: 201911183833.5
• 申請日: 2019-11-27
• 公開（公告）號: CN112846604B
• 公開（公告）日: 2022-06-28
• 發明（設計）人: 胡聰;肖起康;廖飛紅;李新振;謝洋;董浩
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: B23K37/04
• 分類號: B23K37/04;C23C14/04;C23C14/24;H01L51/00;H01L51/56
• 代理公司: 上海思捷知識產權代理有限公司 31295
• 代理人: 王宏婧

1.一種張網裝置，用于對一支撐框架進行張網，其特征在于，包括：

兩對定位夾持結構及至少一對形變夾持結構，每對定位夾持結構和每對形變夾持結構均設置于所述支撐框架相對的第一側和第二側，在第一側和第二側上，所述形變夾持結構位于兩個定位夾持結構之間；

所述定位夾持結構及所述形變夾持結構均能夠在平行于支撐框架表面的平面內移動，且所述定位夾持結構及所述形變夾持結構上均設置有位置測量單元；

在粗定位時，同側的所述定位夾持結構均同步運動，異側的所述定位夾持結構非同步運動。

2.如權利要求1所述的張網裝置，其特征在于，所述第一側的定位夾持結構上設置的位置測量單元為絕對位置測量單元，所述形變夾持結構及所述第二側的定位夾持結構上設置的位置測量單元為相對位置測量單元。

3.如權利要求2所述的張網裝置，其特征在于，所述絕對位置測量單元包括絕對光柵尺或干涉儀，所述相對位置測量單元包括相對編碼器。

4.如權利要求1所述的張網裝置，其特征在于，所述定位夾持結構及所述形變夾持結構上設置的位置測量單元均為絕對位置測量單元。

5.如權利要求1-4中任一項所述的張網裝置，其特征在于，所述定位夾持結構及形變夾持結構包括驅動組件及夾持組件，所述驅動組件用于驅動所述夾持組件沿靠近或遠離所述支撐框架的方向移動，以夾持或釋放所述支撐框架。

6.如權利要求5所述的張網裝置，其特征在于，所述驅動組件包括驅動單元及絲桿單元，所述絲桿單元用于連接所述驅動單元及所述夾持組件，以將所述驅動單元的旋轉運動轉換為所述夾持組件的直線運動。

7.如權利要求6所述的張網裝置，其特征在于，所述驅動組件還包括緩沖單元，所述驅動單元及所述絲桿單元通過所述緩沖單元連接。

8.如權利要求7所述的張網裝置，其特征在于，所述緩沖單元包括彈簧。

9.如權利要求6所述的張網裝置，其特征在于，所述絲桿單元及所述夾持組件之間設置有力傳感器。

10.如權利要求5所述的張網裝置，其特征在于，所述夾持組件設置于一直線導軌上，并能夠沿所述直線導軌移動。

11.如權利要求1-4中任一項所述的張網裝置，其特征在于，所述張網裝置還包括預夾持結構，所述預夾持結構包括至少兩對預夾持氣缸，每對預夾持氣缸對稱分布于所述支撐框架相對的兩側，所述預夾持結構通過夾持所述支撐框架并實現所述支撐框架的粗對準。

12.如權利要求1-4中任一項所述的張網裝置，其特征在于，所述張網裝置還包括底座及設置于所述底座上的供氣結構，所述夾持結構均設置于所述底座上，所述支撐框架設置于所述供氣結構上，所述供氣結構用于形成一氣膜，以使所述支撐框架懸浮于所述供氣結構上方。

13.一種如權利要求1-12中任一項所述的張網裝置的張網方法，其特征在于，包括：

將第一側的定位夾持結構移動至零位，將所述形變夾持結構及第二側的定位夾持結構移動至遠離支撐框架；

將第二側的定位夾持結構沿靠近所述支撐框架的方向移動，直至兩對定位夾持結構夾持所述支撐框架；

將形變夾持結構沿靠近所述支撐框架的方向移動，直至壓迫所述支撐框架并使所述支撐框架沿設定方向形變；

將兩對定位夾持結構沿靠近所述支撐框架的方向移動，直至兩對定位夾持結構再次夾持所述支撐框架。

14.如權利要求13所述張網方法，其特征在于，將第一側的定位夾持結構移動至零位之前，所述張網方法還包括：

將設置有相對位置測量單元的夾持結構進行搜零。