[發明專利]托盤翻轉臺

有效

• 申請號: 201911182123.0
• 申請日: 2019-11-27
• 公開（公告）號: CN110911313B
• 公開（公告）日: 2022-11-25
• 發明（設計）人: 蓋克彬
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;王婷

本發明提供一種托盤翻轉臺，用于翻轉可承載晶片的托盤，包括按壓裝置和底板，按壓裝置上設置有多個可容納螺絲的通孔；按壓裝置還包括吸附件，將吸附件套設其內；吸附件用于吸附通過通孔的螺絲，以防止螺絲從按壓裝置上脫落。本發明提供的托盤翻轉臺，能夠提高裝卸效率，降低裝卸失誤率，從而提高產能和產品良率。

技術領域

本發明涉及半導體設備技術領域，具體地，涉及一種托盤翻轉臺。

背景技術

近年來，圖形化藍寶石襯底(Patterned Sapphire Substrate，PSS)作為氮化鎵(GaN)基發光二極管(Light Emitting Diode，LED)外延襯底材料被廣泛應用，且由于發光二極管照明技術的種種優勢，市場容量在逐年擴大，以致各大圖形化藍寶石襯底廠商都將如何增加產能，以及如何最大限度提高生產效率作為重點關注對象。

目前，通常是采用感應耦合等離子體刻蝕(Inductively Coupled Plasma，ICP)技術對涂覆有光刻膠陣列圖案的藍寶石襯底進行刻蝕，襯底(Wafer)在刻蝕之前，需要工作人員將其裝載至托盤與蓋板之間，以通過托盤與蓋板夾緊襯底，襯底在刻蝕之后，需要工作人員將其從托盤與蓋板之間拆卸，而為了提高襯底的產能以及生產效率，工作人員的裝卸效率就顯得尤為關鍵。

目前，普遍采用專用工裝臺來進行襯底的裝卸工作，但由于工裝臺存在設計上的缺陷，其會制約工作人員的裝卸效率，導致襯底的裝卸效率低下，產能較低，并且還會導致裝卸失誤，造成襯底的損壞。

發明內容

本發明旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一，提出了一種托盤翻轉臺，能夠提高裝卸效率，降低裝卸失誤率，從而提高產能和產品良率。

為實現本發明的目的而提供一種托盤翻轉臺，用于翻轉可承載晶片的托盤，包括按壓裝置和底板，所述按壓裝置上設置有多個可容納螺絲的通孔；所述按壓裝置還包括吸附件，將所述吸附件套設在所述通孔內；所述吸附件用于吸附通過所述通孔的螺絲，以防止所述螺絲從所述按壓裝置上脫落。

優選的，所述吸附件設置于所述通孔的一端部；

所述通孔為圓孔；

所述吸附件為環形磁體，且所述環形磁體與所述圓孔同軸。

優選的，所述環形磁體的外徑與所述通孔的內徑相等。

優選的，所述環形磁體軸向上的厚度與所述通孔軸向上的長度的比值范圍為1:3～1:1。

優選的，所述環形磁體的內徑不大于所述螺絲的頭部直徑。

優選的，所述吸附件設置于所述通孔中遠離所述底板的一端部。

優選的，所述環形磁體的內徑比所述螺絲的頭部直徑小0.5mm～1mm。

優選的，所述環形磁體的外徑比所述環形磁體的內徑大1mm～2mm。

優選的，還包括翻轉把手和連接件；

所述翻轉把手設置在所述按壓裝置上，用于將所述托盤在所述翻轉臺上翻轉；

所述連接件用于連接所述按壓裝置和底板。

優選的，所述底板上設置有滑軌，所述托盤上設置有固定件；

所述固定件設置在所述托盤朝向所述底板的一側面上，用于將所述托盤與所述按壓裝置連接；

所述滑軌設置在所述底板上表面，用于與所述按壓裝置相配合，以使所述按壓裝置沿所述滑軌在所述翻轉臺上翻轉。

本發明具有以下有益效果：