[發明專利]掃描光刻機的同步診斷方法、裝置、介質及電子設備

有效

• 申請號: 201911181336.1
• 申請日: 2019-11-27
• 公開（公告）號: CN112859526B
• 公開（公告）日: 2022-04-05
• 發明（設計）人: 朱晶;陳丹;謝仁飚;張驥;于婷
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備(集團)股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

本申請實施例公開了一種掃描光刻機的同步診斷方法、裝置、介質及電子設備。該方法包括：根據接收到的測試對象與測試參數，生成同步測試用例；若測試對象為運動控制器，則通過運動同步時序控制板卡發送；若為位置采樣控制器，對準同步時序控制板卡，劑量同步時序控制板卡，像質同步時序控制板卡，垂向同步時序控制板卡以及照明同步時序控制板卡中的至少一種，則通過同步伺服時鐘控制板卡發送；通過被測主系統接收被測分系統返回的同步返回值，并根據同步返回值診斷測試對象的同步問題。通過執行本方案，可以快速并準確的對掃描光刻機的同步問題進行定位，無需由人工診斷消耗大量的人力成本和時間成本，達到了保證掃描光刻機運行穩定性的效果。

技術領域

本申請實施例涉及計算機技術領域，尤其涉及一種掃描光刻機的同步診斷方法、裝置、介質及電子設備。

背景技術

目前，隨著科技水平的快速發展，對于光刻機的需求越來越大。光刻機是采用光刻蝕技術制作高精度芯片的設備。目前為了滿足芯片的精度高、尺寸大的發展需求，掃描光刻機成為了最受青睞的設備。

掃描光刻機最大特點在于同步掃描功能。光束通過一個狹縫并透過照明系統投影到掩模面上，掩模板以設定的勻速通過光速。同時，硅片在透鏡的下方與掩模板相反方向的運動。在掃描期間，涉及的子系統模塊，掃描必須在相同的時間段內完成，掃描的起始時刻和結束時刻必須相同。也就是對于掃描，要求所有涉及的子系統模塊必須在掃描時序上取得嚴格一致。在曝光掃描過程中對涉及的子系統有嚴格的同步時序要求，對所有涉及的子系統模塊有嚴格的同步時序要求。

然而由于掃描光刻機結構復雜，一旦同步出現問題，則對同步問題的排查工作量巨大，極大的影響了光刻機的同步問題診斷效率。因此，急需一種能夠準確且高效的診斷方式，對掃描光刻機的同步問題進行診斷。

發明內容

本申請實施例提供一種掃描光刻機的同步診斷方法、裝置、介質及電子設備，可以快速并準確的對掃描光刻機的同步問題進行定位，無需由人工診斷消耗大量的人力成本和時間成本，達到了保證掃描光刻機運行穩定性的效果。

第一方面，本申請實施例提供了一種掃描光刻機的同步診斷方法，該方法包括：

根據接收到的測試對象與測試參數，生成同步測試用例；其中，所述測試對象包括被測主系統和被測分系統，所述被測主系統包括：運動同步時序控制板卡和同步伺服時鐘控制板卡；所述被測分系統包括：運動控制器，位置采樣控制器，對準同步時序控制板卡，劑量同步時序控制板卡，像質同步時序控制板卡，垂向同步時序控制板卡以及照明同步時序控制板卡中的至少一種；

若所述測試對象包括運動控制器，則通過運動同步時序控制板卡將測試用例發送至測試對象；若所述測試對象包括位置采樣控制器，對準同步時序控制板卡，劑量同步時序控制板卡，像質同步時序控制板卡，垂向同步時序控制板卡以及照明同步時序控制板卡中的至少一種，則通過同步伺服時鐘控制板卡將測試用例發送至測試對象；

通過被測主系統接收被測分系統返回的同步返回值，并根據同步返回值診斷測試對象的同步問題。

可選的，所述被測主系統還用于測試與被測分系統之間的總線的傳輸問題；

相應的，

通過被測主系統接收被測分系統返回的同步返回值，并根據同步返回值診斷測試對象的同步問題，包括：

通過被測主系統接收被測分系統返回的同步返回值，并根據同步返回值診斷測試對象的同步問題和與所述測試對象之間的傳輸問題。

可選的，通過被測主系統接收被測分系統返回的同步返回值，并根據同步返回值診斷測試對象的同步問題和與所述測試對象之間的傳輸問題，包括：

通過被測主系統的寄存器中讀取被測分系統返回的同步返回值；