[發(fā)明專利]掃描光刻機的同步診斷方法、裝置、介質及電子設備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911181336.1
• 申請日: 2019-11-27
• 公開（公告）號: CN112859526B
• 公開（公告）日: 2022-04-05
• 發(fā)明（設計）人: 朱晶;陳丹;謝仁飚;張驥;于婷
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備(集團)股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

1.一種掃描光刻機的同步診斷方法，其特征在于，包括：

根據接收到的測試對象與測試參數，生成同步測試用例；其中，所述測試對象包括被測主系統(tǒng)和被測分系統(tǒng)，所述被測主系統(tǒng)包括：運動同步時序控制板卡和同步伺服時鐘控制板卡；所述被測分系統(tǒng)包括：運動控制器，位置采樣控制器，對準同步時序控制板卡，劑量同步時序控制板卡，像質同步時序控制板卡，垂向同步時序控制板卡以及照明同步時序控制板卡中的至少一種；

若所述測試對象包括運動控制器，則通過運動同步時序控制板卡將測試用例發(fā)送至測試對象；若所述測試對象包括位置采樣控制器，對準同步時序控制板卡，劑量同步時序控制板卡，像質同步時序控制板卡，垂向同步時序控制板卡以及照明同步時序控制板卡中的至少一種，則通過同步伺服時鐘控制板卡將測試用例發(fā)送至測試對象；

通過被測主系統(tǒng)接收被測分系統(tǒng)返回的同步返回值，并根據同步返回值診斷測試對象的同步問題。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述被測主系統(tǒng)還用于測試與被測分系統(tǒng)之間的總線的傳輸問題；

相應的，

通過被測主系統(tǒng)接收被測分系統(tǒng)返回的同步返回值，并根據同步返回值診斷測試對象的同步問題，包括：

通過被測主系統(tǒng)接收被測分系統(tǒng)返回的同步返回值，并根據同步返回值診斷測試對象的同步問題和與所述測試對象之間的傳輸問題。

3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，通過被測主系統(tǒng)接收被測分系統(tǒng)返回的同步返回值，并根據同步返回值診斷測試對象的同步問題和與所述測試對象之間的傳輸問題，包括：

從被測主系統(tǒng)的寄存器中讀取被測分系統(tǒng)返回的同步返回值；

根據所述同步返回值與預設返回值定義表，確定同步返回值的具體信息；其中，所述同步返回值包括接線狀態(tài)返回值和板卡狀態(tài)返回值。

4.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，在通過被測主系統(tǒng)接收被測分系統(tǒng)返回的同步返回值之后，所述方法還包括：

通過所述被測主系統(tǒng)進行同步問題屬性判斷；

根據同步問題屬性判斷的結果，將所述掃描光刻機的狀態(tài)機切換為停止狀態(tài)或者錯誤狀態(tài)。

5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在根據接收到的測試對象與測試參數，生成同步測試用例之前，所述方法還包括：

響應于自檢程序啟動請求，向被測主系統(tǒng)和被測分系統(tǒng)發(fā)出自檢指令；

接收所述被測主系統(tǒng)和被測分系統(tǒng)的自檢結果，若所述自檢結果為自檢不合格，則不生成同步測試用例。

6.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在根據同步返回值診斷測試對象的同步問題之后，所述方法還包括：

若測試對象存在同步問題，則將存在同步問題的測試對象的測試中斷，并生成針對所述存在同步問題的測試對象的報警信息。

7.一種掃描光刻機的同步診斷裝置，其特征在于，包括：

同步測試用例生成模塊，用于根據接收到的測試對象與測試參數，生成同步測試用例；其中，所述測試對象包括被測主系統(tǒng)和被測分系統(tǒng)，所述被測主系統(tǒng)包括：運動同步時序控制板卡和同步伺服時鐘控制板卡；所述被測分系統(tǒng)包括：運動控制器，位置采樣控制器，對準同步時序控制板卡，劑量同步時序控制板卡，像質同步時序控制板卡，垂向同步時序控制板卡以及照明同步時序控制板卡中的至少一種；

同步測試用例發(fā)送模塊，用于若所述測試對象包括運動控制器，則通過運動同步時序控制板卡將測試用例發(fā)送至測試對象；若所述測試對象包括位置采樣控制器，對準同步時序控制板卡，劑量同步時序控制板卡，像質同步時序控制板卡，垂向同步時序控制板卡以及照明同步時序控制板卡中的至少一種，則通過同步伺服時鐘控制板卡將測試用例發(fā)送至測試對象；

同步問題診斷模塊，用于通過被測主系統(tǒng)接收被測分系統(tǒng)返回的同步返回值，并根據同步返回值診斷測試對象的同步問題。