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[發明專利]半導體器件封裝裝置在審

專利信息
申請號: 201911180523.8 申請日: 2019-11-27
公開(公告)號: CN112864041A 公開(公告)日: 2021-05-28
發明(設計)人: 馬磊;黨鵬;楊光;彭小虎;王新剛;龐朋濤;任斌;王妙妙 申請(專利權)人: 西安航思半導體有限公司
主分類號: H01L21/67 分類號: H01L21/67
代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103 代理人: 王健
地址: 710300 陜西省西安市鄠*** 國省代碼: 陜西;61
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 半導體器件 封裝 裝置
【權利要求書】:

1.一種半導體器件封裝裝置,其特征在于:包括支撐板(1)、第一框架(2)、第二框架(3)、第三框架(4)、打標器(7)和打磨機構(14),所述第一框架(2)、第二框架(3)、第三框架(4)依次連接設置于支撐板(1)的同一側,所述打標器(7)設置于第二框架(3)上方,所述打磨機構(14)安裝于第三框架(4)上方;

所述第一框架(2)、第二框架(3)、第三框架(4)各自相對的兩個內壁上均安裝有一電磁滑軌(5),位于第一框架(2)、第二框架(3)、第三框架(4)同一側內壁上的電磁滑軌(5)連通,相對設置的電磁滑軌(5)之間連接有一移動塊(6);

所述支撐板(1)相背于第二框架(3)的一側安裝有一電機(8),此電機(8)的輸出軸上連接有一第一齒輪(9),所述支撐板(1)上可轉動地安裝有一轉盤(10),所述轉盤(10)相背于第二框架(3)的一側表面上安裝有一第二齒輪(11),此第二齒輪(11)與所述第一齒輪(9)嚙合,所述轉盤(10)的另一側表面上安裝有至少兩個連接塊(12),此連接塊(12)均與第二框架(3)固定連接;

所述支撐板(1)上設置有一圓環形滑槽(25),此滑槽(25)內沿周向可轉動地設置有若干鋼珠(13),所述轉盤(10)嵌入此滑槽(25)內并通過所述鋼珠(13)與支撐板(1)轉動連接;

所述打磨機構(14)包括頂板(141)和活動安裝于頂板(141)下方的打磨頭,所述頂板(141)一側與支撐板(1)固定連接,此頂板(141)的另一側設置有一擋板(26),此擋板(26)安裝于第三框架(4)上;

所述擋板(26)上開有一風嘴(17),所述第三框架(4)下方設置有一吸塵倉(15),此吸塵倉(15)通過一第一風管(16)與所述風嘴(17)貫通連接,所述吸塵倉(15)內設置有一負壓風機(23),所述負壓風機(23)的兩側分別設置有第一濾網(22)和第二濾網(24),所述第一濾網(22)位于負壓風機(23)靠近第一風管(16)的一側,所述第一濾網(22)的網孔直徑小于第二濾網(24)的網孔直徑,所述第三框架(4)下方設置有一集塵板(19),此集塵板(19)上設置有一通孔(20),此通孔(20)通過一第二風管(18)與吸塵倉(15)貫通連接。

2.根據權利要求1所述的半導體器件封裝裝置,其特征在于:所述第二框架(3)和第三框架(4)均為由四根梁體首尾依次連接而成的矩形框架。

3.根據權利要求1所述的半導體器件封裝裝置,其特征在于:所述第一框架(2)和第三框架(4)下方連接有支撐柱。

4.根據權利要求3所述的半導體器件封裝裝置,其特征在于:所述集塵板(19)安裝于第三框架(4)下方的支撐柱上。

5.根據權利要求1所述的半導體器件封裝裝置,其特征在于:所述若干鋼珠(13)的數目為10~20顆,此10~20顆鋼珠(13)沿周向等間隔設置。

6.根據權利要求1所述的半導體器件封裝裝置,其特征在于:所述支撐板(1)上開有供轉盤(10)穿過的圓形通孔。

7.根據權利要求6所述的半導體器件封裝裝置,其特征在于:所述圓環形滑槽(25)位于圓形通孔的圓周外側。

8.根據權利要求7所述的半導體器件封裝裝置,其特征在于:所述轉盤(10)的中部自圓形通孔內穿出,所述轉盤(10)的周向邊緣處嵌入滑槽(25)內。

9.根據權利要求1所述的半導體器件封裝裝置,其特征在于:所述移動塊(6)的兩個側表面上均設置有若干與電磁滑軌(5)對應的滑塊,此滑塊與電磁滑軌(5)滑動連接。

10.根據權利要求1所述的半導體器件封裝裝置,其特征在于:所述移動塊(6)上設置有若干通槽,此通槽與半導體器件卡合連接。

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