[發明專利]半導體器件封裝裝置在審
| 申請號: | 201911180523.8 | 申請日: | 2019-11-27 |
| 公開(公告)號: | CN112864041A | 公開(公告)日: | 2021-05-28 |
| 發明(設計)人: | 馬磊;黨鵬;楊光;彭小虎;王新剛;龐朋濤;任斌;王妙妙 | 申請(專利權)人: | 西安航思半導體有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103 | 代理人: | 王健 |
| 地址: | 710300 陜西省西安市鄠*** | 國省代碼: | 陜西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 半導體器件 封裝 裝置 | ||
1.一種半導體器件封裝裝置,其特征在于:包括支撐板(1)、第一框架(2)、第二框架(3)、第三框架(4)、打標器(7)和打磨機構(14),所述第一框架(2)、第二框架(3)、第三框架(4)依次連接設置于支撐板(1)的同一側,所述打標器(7)設置于第二框架(3)上方,所述打磨機構(14)安裝于第三框架(4)上方;
所述第一框架(2)、第二框架(3)、第三框架(4)各自相對的兩個內壁上均安裝有一電磁滑軌(5),位于第一框架(2)、第二框架(3)、第三框架(4)同一側內壁上的電磁滑軌(5)連通,相對設置的電磁滑軌(5)之間連接有一移動塊(6);
所述支撐板(1)相背于第二框架(3)的一側安裝有一電機(8),此電機(8)的輸出軸上連接有一第一齒輪(9),所述支撐板(1)上可轉動地安裝有一轉盤(10),所述轉盤(10)相背于第二框架(3)的一側表面上安裝有一第二齒輪(11),此第二齒輪(11)與所述第一齒輪(9)嚙合,所述轉盤(10)的另一側表面上安裝有至少兩個連接塊(12),此連接塊(12)均與第二框架(3)固定連接;
所述支撐板(1)上設置有一圓環形滑槽(25),此滑槽(25)內沿周向可轉動地設置有若干鋼珠(13),所述轉盤(10)嵌入此滑槽(25)內并通過所述鋼珠(13)與支撐板(1)轉動連接;
所述打磨機構(14)包括頂板(141)和活動安裝于頂板(141)下方的打磨頭,所述頂板(141)一側與支撐板(1)固定連接,此頂板(141)的另一側設置有一擋板(26),此擋板(26)安裝于第三框架(4)上;
所述擋板(26)上開有一風嘴(17),所述第三框架(4)下方設置有一吸塵倉(15),此吸塵倉(15)通過一第一風管(16)與所述風嘴(17)貫通連接,所述吸塵倉(15)內設置有一負壓風機(23),所述負壓風機(23)的兩側分別設置有第一濾網(22)和第二濾網(24),所述第一濾網(22)位于負壓風機(23)靠近第一風管(16)的一側,所述第一濾網(22)的網孔直徑小于第二濾網(24)的網孔直徑,所述第三框架(4)下方設置有一集塵板(19),此集塵板(19)上設置有一通孔(20),此通孔(20)通過一第二風管(18)與吸塵倉(15)貫通連接。
2.根據權利要求1所述的半導體器件封裝裝置,其特征在于:所述第二框架(3)和第三框架(4)均為由四根梁體首尾依次連接而成的矩形框架。
3.根據權利要求1所述的半導體器件封裝裝置,其特征在于:所述第一框架(2)和第三框架(4)下方連接有支撐柱。
4.根據權利要求3所述的半導體器件封裝裝置,其特征在于:所述集塵板(19)安裝于第三框架(4)下方的支撐柱上。
5.根據權利要求1所述的半導體器件封裝裝置,其特征在于:所述若干鋼珠(13)的數目為10~20顆,此10~20顆鋼珠(13)沿周向等間隔設置。
6.根據權利要求1所述的半導體器件封裝裝置,其特征在于:所述支撐板(1)上開有供轉盤(10)穿過的圓形通孔。
7.根據權利要求6所述的半導體器件封裝裝置,其特征在于:所述圓環形滑槽(25)位于圓形通孔的圓周外側。
8.根據權利要求7所述的半導體器件封裝裝置,其特征在于:所述轉盤(10)的中部自圓形通孔內穿出,所述轉盤(10)的周向邊緣處嵌入滑槽(25)內。
9.根據權利要求1所述的半導體器件封裝裝置,其特征在于:所述移動塊(6)的兩個側表面上均設置有若干與電磁滑軌(5)對應的滑塊,此滑塊與電磁滑軌(5)滑動連接。
10.根據權利要求1所述的半導體器件封裝裝置,其特征在于:所述移動塊(6)上設置有若干通槽,此通槽與半導體器件卡合連接。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





