[發明專利]一種多重蒸發源遮擋機構及薄膜蒸鍍設備

在審

• 申請號: 201911167254.1
• 申請日: 2019-11-25
• 公開（公告）號: CN112831753A
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發明（設計）人: 丁熙榮
• 申請（專利權）人: 合肥欣奕華智能機器有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/04;C23C14/12
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 丁睿

本發明涉及蒸鍍工藝的領域，公開一種多重蒸發源遮擋機構及薄膜蒸鍍設備，該多重蒸發源遮擋機構，包括：機架；沿第一方向錯層設置在所述機架上的多個擋板組件，所述擋板組件包括一個或兩個擋板，所述第一方向與所述擋板的遮擋面垂直；每一個所述擋板可沿第二方向移動地安裝于所述機架，所述第二方向與所述擋板的遮擋面平行；用于驅動所述擋板動作的驅動裝置；用于解決在自由使用蒸發源時，由于多個蒸發源各自分開的距離縮短，擋板移動時無法完全避開蒸發源的開口部的問題。

技術領域

本發明涉及蒸鍍工藝的技術領域，特別涉及一種多重蒸發源遮擋機構及薄膜蒸鍍設備。

背景技術

蒸鍍工藝是在真空腔室內分布有基板,將形成一定圖形的掩膜版與基板對位之后,對裝有有機物的蒸發源進行加熱，蒸發源中有機物升華蒸鍍至基板上的工藝方式。

有機物的共蒸是從主體蒸發源以及摻雜蒸發源中分別噴出有機物，在基板的相同范圍以一定的比例進行均勻的混合蒸鍍。

但是由于主體蒸發源以及摻雜蒸發源的是分開設置的，因此使有機物以一定的比例混合蒸鍍，實際控制非常困難，為了克服這樣的難點，正在努力縮短主體蒸發源以及摻雜蒸發源各自分開的距離。

在對基板進行蒸鍍時，若用一個蒸發源無法達到希望的蒸鍍厚度，也會使用多個蒸發源，但是控制多個蒸發源中的有機物均勻的蒸鍍至基板同一范圍十分困難；為了克服這樣的困難，正在努力縮短多個蒸發源中各自分開的距離。

現有技術中的薄膜蒸鍍裝置在多個蒸發源頂部設有開閉開口部的擋板，并通過在蒸發源的上部對擋板進行線性移動或是旋轉運動，但是，現有技術中設置在蒸發源上部負責蒸發源開口部開閉的擋板，在使用時，當需要將多個蒸發源的開口部完全打開時，則移動擋板至蒸發源最外部使多個蒸發源的開口部都打開，但是當需要將多個蒸發源中的一個或兩個打開時，由于現在多個蒸發源各自分開的距離都在縮短，因此在擋板移動時，在多個蒸發源中的位于中間位置的蒸發源的頂部沒有多余的區域能容納擋板，導致擋板的位置會阻擋其他蒸發源進行蒸鍍。

當需要對特定位置的蒸發源進行蒸鍍工藝或是使用多個蒸發源同時進行蒸鍍工藝時，由于現在多個蒸發源各自分開的距離都在縮短，因此在自由使用蒸發源時，擋板在移動時無法完全避開蒸發源的開口部，將會影響蒸發源對基板的蒸鍍。

發明內容

本發明提供了一種多重蒸發源遮擋機構及薄膜蒸鍍設備，用于解決在自由使用蒸發源時，由于多個蒸發源各自分開的距離縮短，擋板移動時無法完全避開蒸發源的開口部的問題。

為達到上述目的，本發明提供以下技術方案：

本發明提供一種多重蒸發源遮擋機構，包括：

機架；

沿第一方向錯層設置在所述機架上的多個擋板組件，所述擋板組件包括一個或兩個擋板，所述第一方向與所述擋板的遮擋面垂直；

每一個所述擋板可沿第二方向移動地安裝于所述機架，所述第二方向與所述擋板的遮擋面平行；

用于驅動所述擋板動作的驅動裝置。

在機架上沿第一方向錯層設置有多個擋板組件，這種錯層設置方式，使得多個擋板組件在沿第二方向移動時，保證彼此的運動路徑不同，同時每個擋板組件包括：一個或兩個擋板，多個擋板通過驅動裝置驅動，使多個擋板移動至彼此沿第一方向重疊時，節約了沿第二方向上的空間，而多個擋板移動至彼此沿第一方向無重疊部分，即完全打開時，這樣的設置又增加了第二方向上擋板的面積；