[發明專利]一種多重蒸發源遮擋機構及薄膜蒸鍍設備

在審

• 申請號: 201911167254.1
• 申請日: 2019-11-25
• 公開（公告）號: CN112831753A
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發明（設計）人: 丁熙榮
• 申請（專利權）人: 合肥欣奕華智能機器有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/04;C23C14/12
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 丁睿

1.一種多重蒸發源遮擋機構，其特征在于，包括：

機架；

沿第一方向錯層設置在所述機架上的多個擋板組件，所述擋板組件包括一個或兩個擋板，所述第一方向與所述擋板的遮擋面垂直；

每一個所述擋板可沿第二方向移動地安裝于所述機架，所述第二方向與所述擋板的遮擋面平行；

用于驅動所述擋板動作的驅動裝置。

2.根據權利要求1所述的多重蒸發源遮擋機構，其特征在于，在所述機架上沿所述第一方向錯層設置多個導軌，且所述導軌與所述擋板滑動配合，每一對相互滑動配合的所述導軌和所述擋板為同一層。

3.根據權利要求2所述的多重蒸發源遮擋機構，其特征在于，

所述驅動裝置包括：

在所述機架上設有與每個所述擋板一一對應且單獨驅動的驅動組件，每一對相互對應的所述驅動組件和所述擋板之間傳動連接；

在每一對相互滑動配合的所述導軌和所述擋板中，通過所述驅動組件驅動所述擋板沿所述導軌的長度方向滑動。

4.根據權利要求3所述的多重蒸發源遮擋機構，其特征在于，所述驅動組件包括：電機；

與所述電機傳動連接的齒輪；

與所述齒輪配合的齒條；

與所述導軌配合的所述齒條沿所述導軌的長度方向滑動；

所述齒條與所述擋板固定連接。

5.根據權利要求1-4任一項所述的多重蒸發源遮擋機構，其特征在于，所述擋板組件中的每個擋板內部均設置有防止所述擋板發生熱變形的冷卻層。

6.一種薄膜蒸鍍設備，其特征在于，包括：真空反應室和位于所述真空反應室內的多個蒸發源，以及如權利要求1-5任一項所述的多重蒸發源遮擋機構；

其中，所述多重蒸發源遮擋機構中的所述擋板位于所述蒸發源的頂部；

所述擋板相對于所述蒸發源具有第一工作狀態和第二工作狀態，

當所述擋板處于第一工作狀態時，所述擋板位于所述蒸發源的開口部頂部以使所述開口部封閉；

當所述擋板處于第二工作狀態時，所述擋板沿所述第二方向移動使所述蒸發源的開口部打開。

7.根據權利要求6所述的薄膜蒸鍍設備，其特征在于，在朝向所述擋板組件的方向，所述蒸發源的投影面不大于所述擋板組件中的任何一個擋板的面積。

8.根據權利要求6所述的薄膜蒸鍍設備，其特征在于，所述薄膜蒸鍍設備包括：角度調節板；

所述角度調節板設置在所述擋板組件和所述蒸發源之間，且與所述蒸發源連接，以使所述蒸發源的蒸鍍路徑沿所述角度調節板方向延伸。

9.根據權利要求6所述的薄膜蒸鍍設備，其特征在于，所述薄膜蒸鍍設備包括：位于真空反應室內的基板，且所述基板位于所述蒸發源的頂部；

在朝向所述基板的方向上，所述蒸發源的投影面與所述基板至少部分重疊。