[發明專利]一種鍵合設備用的質量監測控制器及其集總控制方法

在審

• 申請號: 201911150206.1
• 申請日: 2019-11-21
• 公開（公告）號: CN110943011A
• 公開（公告）日: 2020-03-31
• 發明（設計）人: 黎明森;程煒;沈宣佐;班華志
• 申請（專利權）人: 深圳市德沃先進自動化有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京維正專利代理有限公司 11508
• 代理人: 任志龍

1.一種鍵合設備用的質量監測控制器，其特征是：包括用于各種工藝模塊之間高速配合的第三方從站模塊，所述第三方從站模塊與用于規劃焊線過程各種工藝模塊廣義運動的運控規劃器進行雙向通訊，所述第三方從站模塊包括，

FS力傳感器接口，用于獲取鍵合設備焊接時的實時接觸力信息；

Z編碼器接口，用于獲取鍵合設備的Z軸的位置信息、速度信息以及加速度信息；

USG超聲接口，用于獲取超聲的狀態信息和把超聲的實時規劃信息傳送至超聲波發生器；

EFO高壓打火接口，用于獲取打火的狀態信息和把點火的實時指令發送至EFO控制器；

WCL線夾接口，用于把線夾開合的實時指令發送至線夾驅動單元；

LED光源接口，用于把光源與相機實時指令發送至LED光源驅動單元；

所述FS力傳感器接口、所述Z編碼器接口、所述USG超聲接口、所述EFO高壓打火接口、所述線夾接口和所述LED光源接口內置于所述第三方從站模塊內。

2.根據權利要求1所述的一種鍵合設備用的質量監測控制器，其特征是：所述第三方從站模塊內置有實時通訊接口，以用于集中采集每個工藝模塊的過程數據。

3.根據權利要求2所述的一種鍵合設備用的質量監測控制器，其特征是：所述實時通訊接口包括CAN接口和BISS接口。

4.一種鍵合設備用的質量監測控制器的集總控制方法，其特征是：包括權利要求1-3所述的一種鍵合設備用的質量監測控制器，所述第三方從站模塊經所述FS力傳感器接口、所述Z編碼器接口、所述USG超聲接口、所述EFO高壓打火接口、所述WCL線夾接口和所述LED光源接口獲取各個工藝模塊的過程數據，再通過COE協議把采集的每個工藝模塊的過程數據轉換為實時控制參量并映射到運控規劃器內，實時更新運控規劃器內的數據。

5.根據權利要求4所述的一種鍵合設備用的質量監測控制器的集總控制方法，其特征是：所述第三方從站模塊的實時總線更新頻率可設定在200us-100us之間。

6.根據權利要求4所述的一種鍵合設備用的質量監測控制器的集總控制方法，其特征是：所述第三方從站模塊將所述Z編碼器接口獲取的鍵合設備的Z軸實時的位置信息、速度信息以及加速度信息映射到運控規劃器內，運控規劃器將數據按時序處理形成工藝規劃，為各種工藝模塊的運動變化趨勢提供規劃參考標準。

7.根據權利要求4所述的一種鍵合設備用的質量監測控制器的集總控制方法，其特征是：各個工藝模塊的過程數據經所述CAN接口或者所述BISS接口傳送至所述第三方從站模塊內,所述第三方從站模塊通過COE協議把各種工藝模塊的過程數據轉換為實時控制參量并映射到運控規劃器內。

8.根據權利要求4所述的一種鍵合設備用的質量監測控制器的集總控制方法，其特征是：所述第三方從站模塊分別與所述FS力傳感器接口、所述Z編碼器接口、所述USG超聲接口、所述EFO高壓打火接口、所述WCL線夾接口、所述LED光源接口和運控規劃器進行高速串行通信。