[發(fā)明專利]一種石英舟硅片的頂升機(jī)構(gòu)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911144664.4
• 申請(qǐng)日: 2019-11-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110739261A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-01-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳嘉榮;呂沫;衛(wèi)曉沖;杜虎明;岳軍;王彩云;李云峰;高布瑾
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西北電子裝備技術(shù)研究所(中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第二研究所)
• 主分類號(hào): H01L21/687
• 分類號(hào): H01L21/687
• 代理公司: 14106 山西華炬律師事務(wù)所
• 代理人: 陳奇

本發(fā)明公開(kāi)了一種石英舟硅片的頂升機(jī)構(gòu)，解決了現(xiàn)有托起機(jī)構(gòu)存在的制造成本高維修更換不方便和使用壽命低的問(wèn)題。包括絲杠驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，在絲杠驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上連接有滑塊（7），滑塊（7）與頂升架底板（9）連接，在頂升架底板（9）上間隔地彼此平行地設(shè)置有兩立板（10），在每個(gè)立板（10）的頂端均設(shè)置有梳齒狀托架（11）；在石英舟安裝架（13）上設(shè)置有石英舟（15），在石英舟下方的石英舟安裝架（13）上設(shè)置有長(zhǎng)條縫隙（14），兩個(gè)梳齒狀托架依次穿過(guò)石英舟安裝架（13）上的長(zhǎng)條縫隙（14）和石英舟（15）后設(shè)置在石英舟（15）上方，在兩個(gè)梳齒狀托架之間設(shè)置有硅片（12）。提高托齒的安裝精度，提升生產(chǎn)效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)設(shè)備，特別涉及一種在擴(kuò)散制結(jié)工藝中對(duì)石英舟內(nèi)的成組硅片進(jìn)行頂托起的機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

太陽(yáng)能電池片的生產(chǎn)工藝，大致可以歸納為：硅片檢測(cè)、表面制絨及酸洗、擴(kuò)散制結(jié)、去磷硅玻璃、等離子刻蝕及酸洗、鍍減反射膜、絲網(wǎng)印刷、快速燒結(jié)；完成表面制絨及酸洗工藝的硅片需要先從擴(kuò)散工藝籃具中轉(zhuǎn)運(yùn)到石英舟內(nèi)，然后，再將裝載有硅片的石英舟傳送到燒結(jié)爐中，對(duì)硅片進(jìn)行擴(kuò)散制結(jié)；硅片從擴(kuò)散工藝籃具轉(zhuǎn)運(yùn)到石英舟內(nèi)的操作是通過(guò)石英舟裝片機(jī)完成的；在石英舟裝片機(jī)上分別設(shè)置有石英舟傳送軌道和擴(kuò)散工藝籃具傳送軌道，在石英舟傳送軌道上設(shè)置有石英舟，在擴(kuò)散工藝籃具傳送軌道上設(shè)置有擴(kuò)散工藝籃具，在兩軌道上方設(shè)置有抓取并轉(zhuǎn)運(yùn)硅片的吸盤機(jī)構(gòu)，經(jīng)過(guò)表面制絨及酸洗后的硅片，每100片為一組，被平放在擴(kuò)散工藝籃具中，平放有硅片的擴(kuò)散工藝籃具被運(yùn)送到石英舟裝片機(jī)的上料平臺(tái)上，之后籃具被傳送到吸盤機(jī)構(gòu)的正下方；首先，要完成硅片的抓取動(dòng)作，在吸盤機(jī)構(gòu)的正下方設(shè)置有硅片托起機(jī)構(gòu)，托起機(jī)構(gòu)的任務(wù)是將籃具中的硅片托起，使其脫離籃具，以方便吸盤抓取，具體過(guò)程為：托架從籃具下方穿過(guò)籃具底端向上舉升，將籃具中的50片一組的硅片向上托離籃具，吸盤下探，將50片硅片吸附抓取，吸著50片硅片的吸盤機(jī)構(gòu)帶著抓取的硅片向石英舟上方傳送，在傳送過(guò)程中，吸盤旋轉(zhuǎn)45度，使被抓取的硅片轉(zhuǎn)變姿態(tài)，呈菱形布置狀態(tài)，當(dāng)抓取有硅片的吸盤機(jī)構(gòu)移動(dòng)到石英舟正上方時(shí)，石英舟下方的頂起機(jī)構(gòu)的托架穿過(guò)石英舟底部，從石英舟中升起，在頂起機(jī)構(gòu)的托架頂端設(shè)置有一組托齒，吸盤將旋轉(zhuǎn)后的50片硅片向下放置到一組托齒上，此時(shí)硅片在托齒上仍呈菱形放置狀態(tài)，接手硅片的頂起機(jī)構(gòu)下降，再將一組硅片呈菱形放置狀態(tài)轉(zhuǎn)載到石英舟中，從而完成整個(gè)石英舟硅片的裝片裝載工作，裝滿硅片的石英舟被傳送進(jìn)擴(kuò)散爐內(nèi)去進(jìn)行擴(kuò)散制結(jié)工藝。

現(xiàn)有石英舟的結(jié)構(gòu)是由兩端板和4根連接桿組成，在兩端板的底部之間間隔地設(shè)置有兩根硅片底部支撐桿，在兩端板兩側(cè)分別設(shè)置有一根硅片限位桿，在硅片限位桿上布置有間距恒定的齒槽；硅片頂升機(jī)構(gòu)設(shè)置在石英舟的正下方，現(xiàn)有的頂升機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)為：在頂升架底座上彼此平行地設(shè)置有兩個(gè)托板，在每個(gè)托板的頂端均設(shè)置有疏齒狀托架，頂升架底座與絲杠舉升驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接在一起，通過(guò)絲杠驅(qū)動(dòng)電機(jī)實(shí)現(xiàn)頂升架底座的升降，托板上方的疏齒狀托架是從石英舟中底部的兩根硅片底部支撐桿之間的間隙中向上升起的，升起后等待吸盤放置硅片，吸盤將籃具中的硅片運(yùn)送到石英舟的正上方后，吸盤下降將硅片放置到升起的托板上方的疏齒狀托架上，絲杠驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)頂升機(jī)構(gòu)下降，將硅片轉(zhuǎn)運(yùn)到石英舟上的兩根間距恒定的齒槽限位桿上，從而完成硅片從籃具到石英舟的轉(zhuǎn)運(yùn)。