[發明專利]一種石英舟硅片的頂升機構

在審

• 申請號: 201911144664.4
• 申請日: 2019-11-20
• 公開（公告）號: CN110739261A
• 公開（公告）日: 2020-01-31
• 發明（設計）人: 陳嘉榮;呂沫;衛曉沖;杜虎明;岳軍;王彩云;李云峰;高布瑾
• 申請（專利權）人: 西北電子裝備技術研究所(中國電子科技集團公司第二研究所)
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 14106 山西華炬律師事務所
• 代理人: 陳奇

1.一種石英舟硅片的頂升機構，包括絲杠支撐架（1）和石英舟安裝架（13），絲杠支撐架（1）設置在石英舟安裝架（13）的正下方，其特征在于，在絲杠支撐架（1）上安裝有沿上下豎直方向設置的絲杠導軌安裝板（2），在絲杠導軌安裝板（2）上設置有一對絲杠支撐座（4）和滑塊導軌（3），在一對絲杠支撐座（4）上安裝有沿上下豎直方向設置的絲杠（5），在絲杠支撐架（1）上設置有絲杠驅動電機（6），絲杠驅動電機（6）的輸出軸通過聯軸器與絲杠（5）連接在一起，在絲杠（5）上設置有絲杠螺母，在絲杠螺母的左側面上連接有滑塊（7），滑塊（7）設置在滑塊導軌（3）上，在絲杠螺母的右側面上設置有連接過渡板（8），在連接過渡板（8）上設置頂升架底板（9），在頂升架底板（9）上間隔地彼此平行地設置有兩立板（10），在每個立板（10）的頂端均設置有梳齒狀托架（11）；在石英舟安裝架（13）上設置有石英舟（15），在石英舟（15）下方的石英舟安裝架（13）上設置有長條縫隙（14），兩個梳齒狀托架（11）依次穿過石英舟安裝架（13）上的長條縫隙（14）和石英舟（15）后設置在石英舟（15）上方，在兩個梳齒狀托架（11）之間設置有硅片（12）。

2.根據權利要求1所述的一種石英舟硅片的頂升機構，其特征在于，梳齒狀托架（11）是由托齒底架板（16）、長條狀托齒（19）和托齒固定蓋板（23）組合而成的，在托齒底架板（16）的前側面上的中上部沿上下豎直方向等間隔地設置有長條狀凹槽（17），在長條狀凹槽（17）的頂端設置有開口（27），在長條狀凹槽（17）下方的托齒底架板（16）的前側面上設置有帶螺紋的沉孔（18），在長條狀托齒（19）的頂端設置有硅片插入U形槽（20），在托齒固定蓋板（23）的上部等間隔地設置有固定長條狀托齒的頂絲孔（25），在托齒固定蓋板（23）的下部設置有連接螺栓穿過通孔（24）；長條狀托齒（19）的下端活動插接在托齒底架板（16）上的長條狀凹槽（17）中，托齒固定蓋板（23）靠接在托齒底架板（16）的前側面上，連接螺栓從連接螺栓穿過通孔（24）穿過后與托齒底架板（16）的前側面上設置的帶螺紋的沉孔（18）螺接在一起。

3.根據權利要求2所述的一種石英舟硅片的頂升機構，其特征在于，在長條狀托齒（19）的頂端設置的硅片插入U形槽（20）的槽底設置有45度傾斜面（21）；在頂絲孔（25）中設置有頂絲（26）；在硅片插入U形槽（20）兩側的長條狀托齒（19）的頂端均設置有錐形頂尖（22），錐形頂尖（22）的頂角為10.2度。