[發(fā)明專利]一種望遠(yuǎn)鏡主鏡檢測與標(biāo)定系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911143434.6
• 申請日: 2019-11-20
• 公開（公告）號: CN110779465B
• 公開（公告）日: 2021-05-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王文攀;王建立;王志臣;李宏壯;李洪文
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 徐麗

1.一種望遠(yuǎn)鏡主鏡檢測與標(biāo)定系統(tǒng)，包括主鏡(1)和計算全息元件(2)，其特征在于，還包括：

用于配合所述計算全息元件(2)對所述主鏡(1)進(jìn)行面型檢測的干涉儀(3)；

用于配合所述計算全息元件(2)來獲取所述主鏡(1)的面型數(shù)據(jù)以便對所述主鏡(1)進(jìn)行面型標(biāo)定的夏克-哈特曼標(biāo)定裝置(4)；

用于使所述干涉儀(3)和所述夏克-哈特曼標(biāo)定裝置(4)切換工作的反射鏡(5)；

與所述反射鏡(5)相連且用于驅(qū)動所述反射鏡(5)切入或切出的切換驅(qū)動裝置，所述切換驅(qū)動裝置包括：用于設(shè)置所述反射鏡(5)的支撐組件以及與所述支撐組件相連且用于驅(qū)動所述支撐組件直線往復(fù)移動的直線驅(qū)動機(jī)構(gòu)；當(dāng)所述反射鏡(5)從所述計算全息元件(2)和所述干涉儀(3)之間切出時，所述干涉儀(3)對準(zhǔn)所述計算全息元件(2)和所述主鏡(1)，以對所述主鏡(1)進(jìn)行面型檢測；當(dāng)所述反射鏡(5)切入所述計算全息元件(2)和所述干涉儀(3)之間時，所述反射鏡(5)遮擋所述干涉儀(3)，并使所述主鏡(1)的焦點折轉(zhuǎn)至所述夏克-哈特曼標(biāo)定裝置(4)中，使所述夏克-哈特曼標(biāo)定裝置(4)對準(zhǔn)所述計算全息元件(2)和所述主鏡(1)，以便于對所述主鏡(1)進(jìn)行面型標(biāo)定。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的望遠(yuǎn)鏡主鏡檢測與標(biāo)定系統(tǒng)，其特征在于，所述反射鏡(5)切入所述計算全息元件(2)和所述干涉儀(3)之間時，所述反射鏡(5)相對所述計算全息元件(2)和所述干涉儀(3)之間的連線方向傾斜45度角，以使所述主鏡(1)的焦點位置折轉(zhuǎn)90度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的望遠(yuǎn)鏡主鏡檢測與標(biāo)定系統(tǒng)，其特征在于，所述支撐組件包括：

與所述直線驅(qū)動機(jī)構(gòu)的輸出端相連的支撐座(61)；

與所述支撐座(61)固定連接且用于設(shè)置所述反射鏡(5)的鏡框(62)；

嵌設(shè)于所述鏡框(62)的邊緣部以壓緊所述反射鏡(5)的壓圈(63)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的望遠(yuǎn)鏡主鏡檢測與標(biāo)定系統(tǒng)，其特征在于，所述直線驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括：

電機(jī)(641)、與所述電機(jī)(641)的輸出軸相連的螺桿和與所述螺桿螺紋連接的螺母(642)，所述支撐組件與所述螺母(642)相連；

與所述螺桿平行設(shè)置且用于對所述支撐組件進(jìn)行限位和導(dǎo)向的導(dǎo)向桿(65)，所述支撐組件通過直線軸承(66)與所述導(dǎo)向桿(65)滑動連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的望遠(yuǎn)鏡主鏡檢測與標(biāo)定系統(tǒng)，其特征在于，所述導(dǎo)向桿(65)的頂部設(shè)有用于對所述支撐組件進(jìn)行限位的上限位座(651)，所述導(dǎo)向桿(65)的底部與用于承載的底座(67)相連，所述上限位座(651)和所述底座(67)分別設(shè)有限位開關(guān)(68)，所述支撐組件設(shè)有用于觸發(fā)所述限位開關(guān)(68)的擋片(611)；

還包括分別與所述電機(jī)(641)和所述限位開關(guān)(68)相連的控制器，以使所述控制器根據(jù)所述限位開關(guān)(68)的觸發(fā)信號控制所述電機(jī)(641)停止轉(zhuǎn)動。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項所述的望遠(yuǎn)鏡主鏡檢測與標(biāo)定系統(tǒng)，其特征在于，還包括用于調(diào)整所述計算全息元件(2)和所述干涉儀(3)的位姿的第一位姿調(diào)整裝置，以使所述主鏡(1)、所述計算全息元件(2)和所述干涉儀(3)三者對準(zhǔn)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的望遠(yuǎn)鏡主鏡檢測與標(biāo)定系統(tǒng)，其特征在于，所述第一位姿調(diào)整裝置包括兩個位姿調(diào)整模組，所述計算全息元件(2)和所述干涉儀(3)分別與兩個所述位姿調(diào)整模組一一對應(yīng)相連。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的望遠(yuǎn)鏡主鏡檢測與標(biāo)定系統(tǒng)，其特征在于，還包括用于調(diào)整所述夏克-哈特曼標(biāo)定裝置(4)的位姿的第二位姿調(diào)整裝置，以使所述夏克-哈特曼標(biāo)定裝置(4)與所述主鏡(1)對準(zhǔn)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的望遠(yuǎn)鏡主鏡檢測與標(biāo)定系統(tǒng)，其特征在于，所述位姿調(diào)整模組和所述第二位姿調(diào)整裝置中的至少一者為五維調(diào)整臺，所述五維調(diào)整臺包括：

底板(71)、X向移動板和與所述X向移動板螺紋連接以驅(qū)動所述X向移動板沿X軸移動的X向推拉頂絲(721)，所述底板(71)與所述X向移動板之間設(shè)有X向滑軌導(dǎo)向機(jī)構(gòu)(722)；

Y向移動板和與所述Y向移動板螺紋連接以驅(qū)動所述Y向移動板沿Y軸移動的Y向推拉頂絲(731)，所述Y向移動板與所述X向移動板之間設(shè)有Y向滑軌導(dǎo)向機(jī)構(gòu)(732)；

Z向移動座(741)和與所述Y向移動板相連的轉(zhuǎn)接板，所述Z向移動座(741)與所述Y向移動板之間設(shè)有Z向滑軌導(dǎo)向機(jī)構(gòu)(742)，所述轉(zhuǎn)接板設(shè)有與之螺紋連接的Z向推拉頂絲(743)，以推動所述Z向移動座(741)沿Z軸移動；

與所述Z向移動座(741)轉(zhuǎn)動連接的Z向轉(zhuǎn)動板(751)和與所述Z向移動座(741)相連且用于推動所述Z向轉(zhuǎn)動板(751)繞Z軸轉(zhuǎn)動的Z向轉(zhuǎn)動推拉頂絲(752)；

與所述Z向轉(zhuǎn)動板(751)通過偏擺支點(761)相連的偏擺板(762)和與所述Z向轉(zhuǎn)動板(751)相連且用于推動所述偏擺板(762)繞所述偏擺支點(761)擺動的偏擺推拉頂絲(763)，所述偏擺板(762)與所述Z向轉(zhuǎn)動板(751)之間設(shè)有拉簧(764)。