[發(fā)明專利]一種提升晶圓邊緣器件良率的方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911142447.1
• 申請日: 2019-11-20
• 公開（公告）號: CN110824841A
• 公開（公告）日: 2020-02-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 葉順閔
• 申請（專利權(quán)）人: 葉順閔
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/027;H01L21/027
• 代理公司: 北京華識知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11530
• 代理人: 趙永強

本發(fā)明公開了一種提升晶圓邊緣器件良率的方法，屬于晶圓邊緣器件領(lǐng)域。一種提升晶圓邊緣器件良率的方法，以合成樹脂配制光刻膠，從成膜樹脂、光引發(fā)劑和交聯(lián)單體三個方面出發(fā)，研究了各個因素對光刻膠感光性的影響。結(jié)果表明改性樹脂配制的光刻膠的反差值為未改性時的二倍，表明改性能顯著提高樹脂的感光性；以六芳基二咪吟、安息香雙甲醚及二苯甲酮為光引發(fā)劑，光引發(fā)劑用量為成膜樹脂質(zhì)量的6.5%，交聯(lián)單體質(zhì)量比為3：2，交聯(lián)單體用量為25%時，體系的反差值較大，感光性較好。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及晶圓邊緣器件領(lǐng)域，尤其涉及一種提升晶圓邊緣器件良率的方法。

背景技術(shù)

通常在晶圓邊緣產(chǎn)出的晶粒有低的良率且無法被銷售。如果能提升晶圓邊緣5mm范圍的低量率,在6寸-8寸的晶圓上,將會多獲得10%-13%的好晶粒,從而降低成本,增加獲利，邊緣缺陷率已成為器件制造的重要問題，它們通常與硅損傷有很大的區(qū)別，其中光刻膠就是引起邊緣缺陷的一大問題。

現(xiàn)有的一種提升晶圓邊緣器件良率的方法，曝光率較差，且造成硅損傷問題較嚴(yán)重。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有的曝光率較差，且造成硅損傷問題較嚴(yán)重的問題，而提出的一種提升晶圓邊緣器件良率的方法。

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了如下技術(shù)方案：

一種提升晶圓邊緣器件良率的方法，包括以下步驟：；

S1、按比例稱取丁酮、甲基丙烯酸、甲基丙烯酸甲醋和丙烯酸丁醋混合單體，依次將上述物料加入攪拌反應(yīng)釜中，并攪拌均勻；

S2、將S1中攪拌均勻的混合物加熱到70-90℃，之后向攪拌反應(yīng)釜中加入引發(fā)劑開始進行反應(yīng)，反應(yīng)保持回流0.5h；

S3、回流反應(yīng)完畢之后，在2h內(nèi)將丙烯酸丁醋單體、溶劑和引發(fā)劑的混合液加入到攪拌反應(yīng)釜中，保持溫度恒定，同時保持回流；

S4、將引發(fā)劑和溶劑的混合溶液加入到反應(yīng)器中，保持回流，保溫反應(yīng)2.5h；

S5、保持溫度反應(yīng)6h，使反應(yīng)轉(zhuǎn)化完全后降溫出料，制備成成膜樹脂；

S6、將制備的成膜樹脂加入攪拌反應(yīng)釜中，之后向其中加入雙丙酮丙烯酞胺作為改性劑，進行聚合反應(yīng)，制備成雙胺改性成膜樹脂；

S7、稱取雙胺改性成膜樹脂、光引發(fā)劑和交聯(lián)單體及其它添加劑，放入攪拌反應(yīng)釜中，在25℃下攪拌均勻，使各組分充分溶解，然后經(jīng)過三次過濾后制備成雙丙酮丙烯酞胺改性甲基丙烯酸類光刻膠；

S8、將制備的雙丙酮丙烯酞胺改性甲基丙烯酸類光刻膠在基片表面涂覆一層光刻膠膜，使膠膜厚度適當(dāng)，厚薄均勻，粘附良好；

S9、在80℃的恒溫干燥箱中烘烤10-15分鐘，使膠膜的干燥從里到外。

優(yōu)選地，所述S1中丁酮、甲基丙烯酸、甲基丙烯酸甲醋和丙烯酸丁醋混合單體質(zhì)量比為5.8：3.2:3.4:1.24。

優(yōu)選地，所述S7中光引發(fā)劑制備包括以下步驟：

A1、在反應(yīng)器中加入丁酮和甲基丙烯酸、甲基丙烯酸甲酷及丙烯酸丁醋混合單體，

A2、將攪拌均勻的混合物加熱到80-85℃，反應(yīng)保持回流0.5h；

A3、反應(yīng)完畢之后，在3h內(nèi)將剩余混合單體的混合液加入到反應(yīng)器中，保持溫度恒定，同時保持回流；

A4、保持回流，保溫反應(yīng)3h，使反應(yīng)轉(zhuǎn)化完全后降溫出料，制備得到光引發(fā)劑。

優(yōu)選地，所述S4中的引發(fā)劑采用。

優(yōu)選地，所述S4中的溶劑采用丙酮。