[發(fā)明專利]一種提升晶圓邊緣器件良率的方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911142447.1
• 申請(qǐng)日: 2019-11-20
• 公開（公告）號(hào): CN110824841A
• 公開（公告）日: 2020-02-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 葉順閔
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 葉順閔
• 主分類號(hào): G03F7/004
• 分類號(hào): G03F7/004;G03F7/027;H01L21/027
• 代理公司: 北京華識(shí)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11530
• 代理人: 趙永強(qiáng)

1.一種提升晶圓邊緣器件良率的方法，其特征在于，包括以下步驟：；

S1、按比例稱取丁酮、甲基丙烯酸、甲基丙烯酸甲醋和丙烯酸丁醋混合單體，依次將上述物料加入攪拌反應(yīng)釜中，并攪拌均勻；

S2、將S1中攪拌均勻的混合物加熱到70-90℃，之后向攪拌反應(yīng)釜中加入引發(fā)劑開始進(jìn)行反應(yīng)，反應(yīng)保持回流0.5h；

S3、回流反應(yīng)完畢之后，在2h內(nèi)將丙烯酸丁醋單體、溶劑和引發(fā)劑的混合液加入到攪拌反應(yīng)釜中，保持溫度恒定，同時(shí)保持回流；

S4、將引發(fā)劑和溶劑的混合溶液加入到反應(yīng)器中，保持回流，保溫反應(yīng)2.5h；

S5、保持溫度反應(yīng)6h，使反應(yīng)轉(zhuǎn)化完全后降溫出料，制備成成膜樹脂；

S6、將制備的成膜樹脂加入攪拌反應(yīng)釜中，之后向其中加入雙丙酮丙烯酞胺作為改性劑，進(jìn)行聚合反應(yīng)，制備成雙胺改性成膜樹脂；

S7、稱取雙胺改性成膜樹脂、光引發(fā)劑和交聯(lián)單體及其它添加劑，放入攪拌反應(yīng)釜中，在25℃下攪拌均勻，使各組分充分溶解，然后經(jīng)過(guò)三次過(guò)濾后制備成雙丙酮丙烯酞胺改性甲基丙烯酸類光刻膠；

S8、將制備的雙丙酮丙烯酞胺改性甲基丙烯酸類光刻膠在基片表面涂覆一層光刻膠膜，使膠膜厚度適當(dāng)，厚薄均勻，粘附良好；

S9、在80℃的恒溫干燥箱中烘烤10-15分鐘，使膠膜的干燥從里到外。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提升晶圓邊緣器件良率的方法，其特征在于：所述S1中丁酮、甲基丙烯酸、甲基丙烯酸甲醋和丙烯酸丁醋混合單體質(zhì)量比為5.8：3.2:3.4:1.24。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提升晶圓邊緣器件良率的方法，其特征在于：所述S7中光引發(fā)劑制備包括以下步驟：

A1、在反應(yīng)器中加入丁酮和甲基丙烯酸、甲基丙烯酸甲酷及丙烯酸丁醋混合單體，

A2、將攪拌均勻的混合物加熱到80-85℃，反應(yīng)保持回流0.5h；

A3、反應(yīng)完畢之后，在3h內(nèi)將剩余混合單體的混合液加入到反應(yīng)器中，保持溫度恒定，同時(shí)保持回流；

A4、保持回流，保溫反應(yīng)3h，使反應(yīng)轉(zhuǎn)化完全后降溫出料，制備得到光引發(fā)劑。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提升晶圓邊緣器件良率的方法，其特征在于：所述S4中的引發(fā)劑采用。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提升晶圓邊緣器件良率的方法，其特征在于：所述S4中的溶劑采用丙酮。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提升晶圓邊緣器件良率的方法，其特征在于：所述S8中光刻膠的膠膜厚度約為可分辨線寬的3倍左右。