[發(fā)明專利]一種硅片檢測系統(tǒng)

在審

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• 申請日: 2019-11-20
• 公開（公告）號: CN110736754A
• 公開（公告）日: 2020-01-31
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 賈永前;樊歡歡;董慧
• 申請（專利權(quán)）人: 晶海洋半導(dǎo)體材料(東海)有限公司
• 主分類號: G01N21/94
• 分類號: G01N21/94
• 代理公司: 31300 上海華誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 徐穎聰

1.一種硅片檢測系統(tǒng)，其特征在于，包括：

第一皮帶輪(10)和第二皮帶輪(20)，所述第一皮帶輪(10)和所述第二皮帶輪(20)間隔開設(shè)置形成間隔空間，所述第一皮帶輪(10)上套設(shè)有第一皮帶(11)，所述第二皮帶輪(20)上套設(shè)有第二皮帶(21)，所述第一皮帶(11)能夠傳送硅片至所述第二皮帶(21)上；

多個光源(30)，在所述第一皮帶(11)和所述第二皮帶(21)的下方分別設(shè)置至少一個所述光源(30)；

反光罩(40)，所述反光罩(40)設(shè)在所述光源(30)的下方且所述間隔空間位于所述反光罩(40)的上方，所述反光罩(40)上形成有反光縫(41)；

相機(jī)(50)，所述相機(jī)(50)設(shè)在所述反光罩(40)的下方且所述相機(jī)(50)的鏡頭朝向所述反光縫(41)以拍攝經(jīng)過所述間隔空間的硅片的表面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述第一皮帶輪(10)和所述第二皮帶輪(20)分別包括兩組，每組所述第一皮帶輪(10)包括兩個所述第一皮帶輪(10)，每組中的兩個所述第一皮帶輪(10)沿傳輸方向間隔開設(shè)置，兩組所述第一皮帶輪(10)沿垂直于所述傳輸方向的方向間隔開設(shè)置；

每組所述第二皮帶輪(20)包括兩個所述第二皮帶輪(20)，每組中的兩個所述第二皮帶輪(20)沿傳輸方向間隔開設(shè)置，兩組所述第二皮帶輪(20)沿垂直于所述傳輸方向的方向間隔開設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述第一皮帶(11)和所述第二皮帶(21)的下方分別設(shè)置一個所述光源(30)，所述第一皮帶(11)和所述第二皮帶(21)下方的所述光源(30)關(guān)于所述間隔空間的在豎直方向的中心線對稱。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述反光罩(40)限定有一側(cè)開口的腔室且所述腔室的開口朝向所述光源(30)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述反光罩(40)的中心線與所述間隔空間的在豎直方向的中心線共線。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述反光縫(41)位于所述反光罩(40)的底部且沿垂直于傳輸方向的方向延伸。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述反光縫(41)從所述反光罩(40)的底部延伸至所述反光罩(40)的側(cè)壁。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，還包括：

支撐架(60)，所述第一皮帶輪(10)和所述第二皮帶輪(20)分別設(shè)在所述支撐架(60)上，所述光源(30)設(shè)在所述支撐架(60)上。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述相機(jī)(50)的鏡頭的中心線與所述間隔空間的中心線形成有夾角，所述夾角為0-16度。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述光源(30)為黃色光源。