[發(fā)明專利]一種硅片檢測系統(tǒng)

在審

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• 申請日: 2019-11-20
• 公開（公告）號: CN110736754A
• 公開（公告）日: 2020-01-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 賈永前;樊歡歡;董慧
• 申請（專利權(quán)）人: 晶海洋半導(dǎo)體材料(東海)有限公司
• 主分類號: G01N21/94
• 分類號: G01N21/94
• 代理公司: 31300 上海華誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 徐穎聰

本發(fā)明提供一種硅片檢測系統(tǒng)，包括：第一皮帶輪和第二皮帶輪，第一皮帶輪和第二皮帶輪間隔開設(shè)置形成間隔空間，第一皮帶輪上套設(shè)有第一皮帶，第二皮帶輪上套設(shè)有第二皮帶，第一皮帶能夠傳送硅片至第二皮帶上；在第一皮帶和第二皮帶的下方分別設(shè)置至少一個光源；具有反光縫反光罩，反光罩設(shè)在光源的下方且間隔空間位于反光罩的上方；相機(jī)設(shè)在反光罩的下方且相機(jī)的鏡頭朝向反光縫以拍攝經(jīng)過間隔空間的硅片的表面。將光源設(shè)在皮帶的下方，避免產(chǎn)生皮帶陰影，光源發(fā)出的光線經(jīng)過反光罩的反射后投射向硅片的下表面，能產(chǎn)生均勻亮度，當(dāng)有硅片的下表面有油污時，便于精確地檢測，提高硅片表面油污檢測的精確度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及硅片領(lǐng)域，具體涉及一種硅片檢測系統(tǒng)。

背景技術(shù)

金剛線切割的硅片表面呈現(xiàn)金屬光澤，對基于光學(xué)檢測原理的分選機(jī)形成較大挑戰(zhàn)。金剛線硅片分選機(jī)在硅片檢測領(lǐng)域市場占有率達(dá)90％以上，是目前光伏領(lǐng)域主流的硅片檢測手段，但是，金剛線硅片分選機(jī)油污檢測模組仍存在一系列問題導(dǎo)致無法正常使用。在檢測過程中，LED(Light-Emitting Diode，發(fā)光二極管)光源的光線經(jīng)過反光罩反射后投射在硅片的表面，由于皮帶遮擋了光源的部分光線，位于皮帶下方的光線的亮度弱于其他位置，當(dāng)光源的光線經(jīng)過反光罩反射后投射在硅片的表面上時，在硅片表面產(chǎn)生兩道暗紋，暗紋經(jīng)常被誤認(rèn)為是油污，通過調(diào)整油污模組參數(shù)的對比度無法優(yōu)化，由于皮帶投影和硅片色差、線痕的影響，導(dǎo)致油污檢測模組誤判率較高，基本無法正常使用。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明提供一種硅片檢測系統(tǒng)，用以解決由于皮帶投影和硅片色差、線痕的影響，導(dǎo)致硅片的表面油污檢測誤判率較高的問題。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的硅片檢測系統(tǒng)，包括：

第一皮帶輪和第二皮帶輪，所述第一皮帶輪和所述第二皮帶輪間隔開設(shè)置形成間隔空間，所述第一皮帶輪上套設(shè)有第一皮帶，所述第二皮帶輪上套設(shè)有第二皮帶，所述第一皮帶能夠傳送硅片至所述第二皮帶上；

多個光源，在所述第一皮帶和所述第二皮帶的下方分別設(shè)置至少一個所述光源；

反光罩，所述反光罩設(shè)在所述光源的下方且所述間隔空間位于所述反光罩的上方，所述反光罩上形成有反光縫；

相機(jī)，所述相機(jī)設(shè)在所述反光罩的下方且所述相機(jī)的鏡頭朝向所述反光縫以拍攝經(jīng)過所述間隔空間的硅片的表面。

其中，所述第一皮帶輪和所述第二皮帶輪分別包括兩組，每組所述第一皮帶輪包括兩個所述第一皮帶輪，每組中的兩個所述第一皮帶輪沿傳輸方向間隔開設(shè)置，兩組所述第一皮帶輪沿垂直于所述傳輸方向的方向間隔開設(shè)置；

每組所述第二皮帶輪包括兩個所述第二皮帶輪，每組中的兩個所述第二皮帶輪沿傳輸方向間隔開設(shè)置，兩組所述第二皮帶輪沿垂直于所述傳輸方向的方向間隔開設(shè)置。

其中，所述第一皮帶和所述第二皮帶的下方分別設(shè)置一個所述光源，所述第一皮帶和所述第二皮帶下方的所述光源關(guān)于所述間隔空間的在豎直方向的中心線對稱。

其中，所述反光罩限定有一側(cè)開口的腔室且所述腔室的開口朝向所述光源。

其中，所述反光罩的中心線與所述間隔空間的在豎直方向的中心線共線。

其中，所述反光縫位于所述反光罩的底部且沿垂直于傳輸方向的方向延伸。

其中，所述反光縫從所述反光罩的底部延伸至所述反光罩的側(cè)壁。

其中，所述檢測系統(tǒng)還包括：

支撐架，所述第一皮帶輪和所述第二皮帶輪分別設(shè)在所述支撐架上，所述光源設(shè)在所述支撐架上。

其中，所述相機(jī)的鏡頭的中心線與所述間隔空間的中心線形成有夾角，所述夾角為0-16度。