[發明專利]顯示面板的制備方法有效
| 申請號: | 201911138907.3 | 申請日: | 2019-11-20 |
| 公開(公告)號: | CN110854304B | 公開(公告)日: | 2021-03-26 |
| 發明(設計)人: | 王守坤;秦韶陽 | 申請(專利權)人: | 云谷(固安)科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L51/56 | 分類號: | H01L51/56;H01L51/52;H01L27/32 |
| 代理公司: | 北京曼威知識產權代理有限公司 11709 | 代理人: | 方志煒 |
| 地址: | 065500 河*** | 國省代碼: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 顯示 面板 制備 方法 | ||
本發明涉及一種顯示面板的制備方法。該顯示面板包括顯示區、開孔區與隔離區,隔離區位于顯示區與開孔區之間;所述方法包括:在襯底上形成支撐層,支撐層位于開孔區與隔離區;支撐層包括第一支撐子層與第二支撐子層;第一支撐子層在襯底上的投影位于開孔區,第二支撐子層在襯底上的投影位于隔離區;在支撐層上形成第一阻擋層;第一阻擋層包括第一阻擋子層與第二阻擋子層,第一阻擋子層位于第一支撐子層上,第二阻擋子層位于第二支撐子層上且位于第二支撐子層上的開槽區;刻蝕第二阻擋子層;對開槽區進行刻蝕得到凹槽與隔離柱,凹槽的底面的面積大于開口的面積。根據本發明的實施例,可使得有機發光材料層在凹槽的槽壁處發生自然分離,降低成本。
技術領域
本發明涉及OLED顯示設備技術領域,尤其涉及一種顯示面板的制備方法。
背景技術
隨著顯示裝置的快速發展,用戶對屏幕占比的要求越來越高。由于屏幕頂部需要安裝攝像頭、傳感器、聽筒等元件,因此,相關技術中屏幕頂部通常會預留開孔區域用于安裝上述元件,以實現高的屏占比。
發明內容
本發明提供一種顯示面板的制備方法,以解決相關技術中的不足。
根據本發明實施例的第一方面,提供一種顯示面板的制備方法,所述顯示面板包括:顯示區、開孔區與隔離區,所述隔離區位于所述顯示區與所述開孔區之間,且至少部分圍繞所述開孔區;所述方法包括:
在襯底上形成支撐層,所述支撐層位于所述開孔區與所述隔離區;所述支撐層包括第一支撐子層與第二支撐子層;所述第一支撐子層在所述襯底上的投影位于所述開孔區,所述第二支撐子層在所述襯底上的投影位于所述隔離區;
在所述支撐層上形成第一阻擋層;所述第一阻擋層包括第一阻擋子層、第二阻擋子層與第三阻擋子層,所述第一阻擋子層位于所述第一支撐子層上,所述第二阻擋子層與所述第三阻擋子層位于所述第二支撐子層上,且所述第二阻擋子層位于所述第二支撐子層上的開槽區;
刻蝕所述第二阻擋子層,以暴露所述開槽區;
對所述開槽區進行刻蝕,得到凹槽與隔離柱,所述凹槽的底面的面積大于開口的面積;所述隔離柱與所述凹槽相間分布;所述隔離柱遠離所述襯底的表面的面積大于所述隔離柱靠近所述襯底的底面的面積。
在一個實施例中,所述的顯示面板的制備方法,還包括:在所述襯底上形成緩沖層,所述緩沖層位于所述顯示區,所述支撐層與所述緩沖層在同一工序中形成。
由于支撐層與緩沖層在同一工序中形成,這樣可以節約工序,降低成本。
在一個實施例中,所述的顯示面板的制備方法,還包括:
在所述襯底上形成緩沖層,所述緩沖層位于所述顯示區;
在所述緩沖層上形成隔離層,所述隔離層位于所述顯示區,所述支撐層與所述隔離層在同一工序中形成。
由于支撐層與隔離層在同一工序中形成,這樣可以節約工序,降低成本。
在一個實施例中,所述的顯示面板的制備方法,還包括:
在所述襯底上形成驅動電路層,所述驅動電路層位于所述顯示區,所述驅動電路層遠離所述襯底的表面與所述支撐層遠離所述襯底的表面齊平;
在所述驅動電路層上形成第二阻擋層;所述第二阻擋層遠離所述襯底的表面與所述第一阻擋層遠離所述襯底的表面齊平。
由于在驅動電路層上形成了第二阻擋層,因此,可以在刻蝕第二阻擋子層時和在對開槽區進行刻蝕時可以對驅動電路層進行保護,避免損壞驅動電路層。
在一個實施例中,所述第二阻擋層與所述第一阻擋層在同一工序中形成。
由于第二阻擋層與第一阻擋層在同一工序中形成,這樣可以節約工序,降低成本。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L51-00 使用有機材料作有源部分或使用有機材料與其他材料的組合作有源部分的固態器件;專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設備
H01L51-05 .專門適用于整流、放大、振蕩或切換且并具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的;具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的電容器或電阻器
H01L51-42 .專門適用于感應紅外線輻射、光、較短波長的電磁輻射或微粒輻射;專門適用于將這些輻射能轉換為電能,或者適用于通過這樣的輻射進行電能的控制
H01L51-50 .專門適用于光發射的,如有機發光二極管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料選擇





