[發明專利]一種液浮噴盤的設計方法

在審

• 申請號: 201911137577.6
• 申請日: 2019-11-19
• 公開（公告）號: CN110670070A
• 公開（公告）日: 2020-01-10
• 發明（設計）人: 黃春生;楊潔;孫彬;沈洪;李曉華
• 申請（專利權）人: 江蘇上達電子有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08;C23F1/02
• 代理公司: 11589 北京勁創知識產權代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 張鐵蘭

1.一種液浮噴盤的設計方法，包括蝕刻槽，所述蝕刻槽包括蝕刻槽框體(1)、上噴盤(2)、液浮噴盤(4)、蝕刻液噴管(7)與供液管(45)，其特征在于，所述液浮噴盤(4)的邊端位置處固定設置有邊緣區塊(42)，所述邊緣區塊(42)的上端表面傾斜開設有流通斜孔(46)，所述液浮噴盤(4)的上端表面位置處等距間隔開設有噴流微孔(41)，所述供液管(45)間隔固定設置在液浮噴盤(4)的底端，所述液浮噴盤(4)的內部位于供液管(45)的正上方位置處固定設置有緩沖擋板(44)，所述液浮噴盤(4)的內部位于緩沖擋板(44)的正上方固定設置有固定隔板(43)。

2.根據權利要求1所述的一種液浮噴盤的設計方法，其特征在于，所述流通斜孔(46)與液浮噴盤(4)的內部相連通，所述固定隔板(43)的表面位置處等距間隔開設有隔板通液微孔(431)。

3.根據權利要求1所述的一種液浮噴盤的設計方法，其特征在于，所述液浮噴盤(4)設置在蝕刻槽框體(1)的內部底側，所述蝕刻槽框體(1)的兩端側面位置處均開設有活動通口。

4.根據權利要求1所述的一種液浮噴盤的設計方法，其特征在于，所述上噴盤(2)固定設置在蝕刻槽框體(1)的內部上端，所述上噴盤(2)的底端位置處等距間隔固定設置有蝕刻液噴管(7)。

5.根據權利要求1所述的一種液浮噴盤的設計方法，其特征在于，所述蝕刻液噴管(7)的底端位置處等距間隔固定設置有噴嘴(3)，所述噴嘴(3)與蝕刻液噴管(7)相連通。

6.根據權利要求1所述的一種液浮噴盤的設計方法，其特征在于，所述邊緣區塊(42)的表面位置處豎直開設有流通豎直孔(47)，所述邊緣區塊(42)的內側位置處水平開設有流通水平孔(48)，所述流通豎直孔(47)與流通水平孔(48)相連通，所述流通水平孔(48)連通于液浮噴盤(4)的內部。

7.根據權利要求1-6任一項所述的一種液浮噴盤的設計方法，其特征在于，包括以下使用步驟：

Sp1：首先將需要蝕刻處理的COF產品(40)通過配用滾輪搬送到達蝕刻槽框體(1)內部；

Sp2：當COF產品(40)通過蝕刻槽時，噴盤整體作搖擺動作，噴嘴(3)將蝕刻液噴淋到COF產品(40)的表面蝕刻銅箔，形成線路圖案；

Sp3：在COF產品(40)的背面使用液浮噴盤(4)進行搬送，將蝕刻液通過供液管(45)供給到液浮噴盤(4)中，緩沖擋板(44)能夠緩沖蝕刻液的壓力；

Sp4：固定隔板(43)上的隔板通液微孔(431)能夠進一步的緩沖蝕刻液的壓力，最后蝕刻液再從液浮噴盤(4)上的噴流微孔(41)處噴流出來，產生浮力用來搬送產品，保證了COF產品(40)的非接觸式的生產；

Sp5：液浮噴盤(4)的邊緣區域也會有液體通過流通斜孔(46)噴流，使得整體壓力的均勻性得到保證，使其不會形成壓力不均的現象。