[發(fā)明專利]一種單晶制絨的提拉方法及裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911132267.5
• 申請日: 2019-11-19
• 公開（公告）號: CN110752263B
• 公開（公告）日: 2021-08-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 賈永前;樊歡歡;董慧
• 申請（專利權(quán)）人: 晶海洋半導(dǎo)體材料（東海）有限公司
• 主分類號: H01L31/0236
• 分類號: H01L31/0236;H01L31/18;C30B33/10;C30B29/06
• 代理公司: 上海華誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31300
• 代理人: 徐穎聰

1.一種單晶制絨的慢提拉方法，用于硅片的預(yù)脫水中，所述硅片裝在花籃的插槽中，其特征在于，包括：

在所述硅片離開水的表面之前，將盛裝所述硅片的花籃傾斜第一角度；

在所述硅片離開水的表面之后，將盛裝所述硅片的花籃傾斜第二角度，所述第一角度小于第二角度，當(dāng)所述硅片的厚度在165-180μm時，所述第二角度為20-40°。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一角度范圍在0°到10°之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，還包括：

通過控制程序控制所述花籃傾斜的第一角度和第二角度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在所述硅片離開水的表面之前，硅片在水中提拉的時間為10-60s，在所述硅片離開水的表面之后，硅片的提拉的時間為10-60s。

5.一種單晶制絨的慢提拉裝置，其特征在于，包括：

提拉架；

花籃，所述花籃固定在所述提拉架上，所述花籃內(nèi)部設(shè)有多個用于盛裝硅片的插槽；

驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置與所述提拉架連接，用于驅(qū)動所述提拉架翻轉(zhuǎn)以調(diào)節(jié)所述花籃傾斜的角度；

所述驅(qū)動裝置在所述硅片離開水的表面之前，驅(qū)動盛裝所述硅片的花籃傾斜第一角度，以使所述硅片向所述插槽的側(cè)壁傾斜，并在所述硅片離開水的表面之后，驅(qū)動盛裝所述硅片的花籃傾斜第二角度，以增大所述硅片向所述插槽的側(cè)壁傾斜的角度，所述第一角度小于第二角度，當(dāng)所述硅片的厚度在165-180μm時，所述第二角度為20-40°。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，還包括：

控制器，所述控制器與所述驅(qū)動裝置連接，并控制所述驅(qū)動裝置在所述硅片離開水的表面之前，驅(qū)動盛裝所述硅片的花籃傾斜第一角度，并在所述硅片離開水的表面之后，驅(qū)動盛裝所述硅片的花籃傾斜第二角度。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，所述第一角度范圍在0°到10°之間。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，還包括：

液位傳感器，所述液位傳感器與所述控制器連接，所述液位傳感器用于監(jiān)測硅片是否離開水的表面。