[發明專利]向真空腔室內的多功能管線導入機構、成膜裝置和系統

在審

• 申請號: 201911116001.1
• 申請日: 2019-11-15
• 公開（公告）號: CN111663099A
• 公開（公告）日: 2020-09-15
• 發明（設計）人: 若林洋介;上續樂
• 申請（專利權）人: 佳能特機株式會社
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 劉楊

本發明提供向真空腔室內的多功能管線導入機構、成膜裝置和系統，即使腔室變形、支承機構變形、臂姿勢變化，也能維持臂連結部的真空密封性能。管線導入機構具備：蒸鍍源，能在內部能減壓的真空腔室內部移動；第1轉動部，能使第1臂部繞第1軸轉動地與真空腔室內壁連接；第2轉動部，能使第2臂部繞第2軸轉動地與第1臂部連接；第3轉動部，能使第2臂部繞第3軸轉動地與蒸鍍源連接，使蒸鍍源動作的多功能管線經將第1轉動部～第3轉動部內部連通并與真空腔室外相連的氣密構造的導入路導入并與蒸鍍源連接，第1轉動部能繞與第1軸交叉的軸擺動地將第1臂部連接于真空腔室的內壁，第3轉動部能繞與第3軸交叉的軸擺動地將第2臂部連接于蒸鍍源。

技術領域

本發明涉及將以電氣配線、冷卻介質的配管等為代表的多功能管線(日文：ユーティリティライン)從真空腔室外導入在真空腔室內能夠移動地被支承的蒸鍍源等的機構。進而涉及具備多功能管線導入機構的成膜裝置以及成膜系統。

背景技術

近年來，在自發光型中，視角、對比度、響應速度優異的有機EL元件被廣泛地應用于以壁掛式電視機為代表的各種顯示裝置。

通常，有機EL元件通過將基板搬入真空腔室內并在基板上形成規定圖案的有機膜的方法來制造。更詳細而言，經過向維持真空的成膜室內搬入基板的工序、使基板與掩模高精度地位置對合(對準)的工序、成膜有機材料的工序、和將成膜完畢的基板從成膜腔室搬出的工序等來制造。

在對有機材料進行成膜的工序中，使用設置在真空腔室內的蒸鍍源來蒸鍍有機材料，但需要將傳遞電力、信號的電氣配線、供給冷卻介質的配管等多功能管線從真空腔室外導入并連接于蒸鍍源。但是，這些電氣配線、配管通常真空耐壓小，因此，經由真空氣氛內與蒸鍍源連接可以說是不現實的。

另一方面，蒸鍍源需要在真空腔室內能夠移動地被支承。例如，為了在基板面均勻地成膜，有時以掃描基板面的方式使蒸鍍源移動。另外，在為了提高生產率而在真空腔室內設置多個基板載置臺的情況下，為了使蒸鍍源能夠在基板載置臺之間循回，有時能夠移動地支承蒸鍍源。

為了將多功能管線連接于能夠移動的蒸鍍源，已知有在蒸鍍源上連接可動臂，將可動臂的殼體形成為氣密構造，將其內部維持在大氣壓，將多功能管線導入真空腔室內的方法。即，將多功能管線經由維持為大氣壓的可動臂的內部空間導入真空腔室并與蒸鍍源連接。

在專利文獻1中，記載了具備通過第1連結部連結于真空腔室的底面的第1臂、通過第2連結部連結于第1臂的第2臂、以及通過第3連結部連結于第2臂的蒸鍍源的裝置。第1連結部、第2連結部以及第3連結部分別將連結的對方的第1臂、第2臂以及蒸鍍源支承為能夠在水平面內旋轉。而且，使第1臂、第2臂、第1連結部、第2連結部、第3連結部以氣密構造連通而將內部空間維持為大氣壓，經由該內部空間而將多功能管線與蒸鍍源連接。

另外，在專利文獻2中，記載了具備連接第1連接臂和第2連接臂的旋轉連結部，將它們形成為氣密構造而使內部成為大氣壓的裝置。在該裝置中，通過使旋轉連結部能夠相對地進行球面運動，能夠防止在第1連接臂與第2連接臂之間施加有伴隨偏角的徑向載荷時連結部的磁性流體密封件破損而導致真空密封性能降低。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2009-299176號公報

專利文獻2：日本特開2015-121265號公報

近年來，隨著處理的基板尺寸的大型化，存在成膜裝置的真空腔室大型化的傾向。若真空腔室大型化，則對腔室內進行減壓時的腔室的變形也變大。

另外，隨著基板尺寸的大型化，增加了蒸鍍材料的存積量的蒸鍍源的重量增加，并且真空腔室內的蒸鍍源的移動距離有變大的傾向。因此，在使蒸鍍源移動時，有時移動機構產生變形。