[發明專利]向真空腔室內的多功能管線導入機構、成膜裝置和系統

在審

• 申請號: 201911116001.1
• 申請日: 2019-11-15
• 公開（公告）號: CN111663099A
• 公開（公告）日: 2020-09-15
• 發明（設計）人: 若林洋介;上續樂
• 申請（專利權）人: 佳能特機株式會社
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 劉楊

1.一種向真空腔室內的多功能管線導入機構，其特征在于，

具備：

真空腔室，內部能夠減壓；

蒸鍍源，能夠在所述真空腔室的內部移動；

第1轉動部，以能夠使第1臂部繞第1軸轉動的方式與所述真空腔室的內壁連接，并具有磁性流體密封件；

第2轉動部，以能夠使第2臂部繞第2軸轉動的方式與所述第1臂部連接，并具有磁性流體密封件；以及

第3轉動部，以能夠使所述第2臂部繞第3軸轉動的方式與所述蒸鍍源連接，并具有磁性流體密封件，

用于使所述蒸鍍源動作的多功能管線經由將所述第1轉動部、所述第1臂部、所述第2轉動部、所述第2臂部、所述第3轉動部的內部連通并與所述真空腔室之外的大氣壓空間相連的氣密構造的導入路，從所述真空腔室之外導入并與所述蒸鍍源連接，

所述第1轉動部以能夠繞與所述第1軸交叉的軸擺動的方式將所述第1臂部連接于所述真空腔室的內壁，

所述第3轉動部以能夠繞與所述第3軸交叉的軸擺動的方式將所述第2臂部連接于所述蒸鍍源。

2.根據權利要求1所述的向真空腔室內的多功能管線導入機構，其特征在于，

所述第1轉動部具有以與所述第1軸交叉的軸為擺動軸的萬向架機構或能夠進行球面運動的旋轉連結部。

3.根據權利要求1或2所述的向真空腔室內的多功能管線導入機構，其特征在于，

所述第3轉動部具有以與所述第3軸交叉的軸為擺動軸的萬向架機構或能夠進行球面運動的旋轉連結部。

4.根據權利要求1或2所述的向真空腔室內的多功能管線導入機構，其特征在于，

當沿著所述第2軸的軸向觀察時，所述第2臂部隔著所述第2轉動部配置在比所述第1臂部靠所述第1轉動部的一側的位置。

5.一種成膜裝置，其特征在于，

具有權利要求1～4中任一項所述的向真空腔室內的多功能管線導入機構。

6.根據權利要求5所述的成膜裝置，其特征在于，

所述蒸鍍源是形成有機EL元件的有機膜的蒸鍍源。

7.一種成膜系統，其特征在于，

具備多個權利要求6所述的成膜裝置。