[發(fā)明專利]一種便于清理的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911104183.0
• 申請日: 2019-11-13
• 公開（公告）號: CN110735113B
• 公開（公告）日: 2020-12-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李文豪
• 申請（專利權(quán)）人: 泗縣智來機(jī)械科技有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26;C23C14/50
• 代理公司: 合肥東邦滋原專利代理事務(wù)所(普通合伙) 34155
• 代理人: 李蕾

1.一種便于清理的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備，包括外殼（1）、蓋板（4）、第一伸縮桿（14）和加熱框（21），其特征在于：所述外殼（1）的一側(cè)固定有電機(jī)（2），其中，

所述外殼（1）的頂部一端設(shè)置有第一轉(zhuǎn)軸（3），所述蓋板（4）和外殼（1）之間通過第一轉(zhuǎn)軸（3）相連接，所述外殼（1）內(nèi)固定有第一擋塊（5），所述外殼（1）內(nèi)固定有第二擋塊（6），所述第一擋塊（5）的上側(cè)放置有頂部回收板（7），所述第二擋塊（6）上連接有連接塊（8）；

所述電機(jī)（2）上連接有轉(zhuǎn)桿（9），遠(yuǎn)離電機(jī)（2）的所述轉(zhuǎn)桿（9）的一端固定有第一齒輪（10），所述連接塊（8）上連接有連接固定桿（11），遠(yuǎn)離連接塊（8）的所述連接固定桿（11）的一端設(shè)置有連接轉(zhuǎn)軸（12），所述連接轉(zhuǎn)軸（12）上設(shè)置有緊固螺栓組（13），所述第一伸縮桿（14）和連接固定桿（11）之間通過連接轉(zhuǎn)軸（12）相連接，遠(yuǎn)離連接轉(zhuǎn)軸（12）的所述第一伸縮桿（14）的一側(cè)連接有緊固旋鈕（15），所述第一伸縮桿（14）上連接有第二伸縮桿（16），所述第二伸縮桿（16）的一端固定有連接接頭（17），所述連接接頭（17）上連接有吸盤連接塊（18），所述吸盤連接塊（18）上設(shè)置有第一螺紋（19）；

所述外殼（1）的底部固定有支撐桿（20），所述加熱框（21）和外殼（1）之間通過支撐桿（20）相連接，所述加熱框（21）內(nèi)設(shè)置有加熱管（22），所述加熱管（22）上放置有加熱坩堝（23）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于清理的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備，其特征在于：所述連接固定桿（11）包括第一固定桿（1101）、旋轉(zhuǎn)連接輪（1102）、第二固定桿（1103）、第二齒輪（1104）和底部固定桿（1105），所述連接塊（8）上連接有第一固定桿（1101），所述第一固定桿（1101）的一端固定有旋轉(zhuǎn)連接輪（1102），所述第二固定桿（1103）和第一固定桿（1101）之間通過旋轉(zhuǎn)連接輪（1102）相連接，遠(yuǎn)離旋轉(zhuǎn)連接輪（1102）的所述第二固定桿（1103）的一端固定有第二齒輪（1104），所述第二齒輪（1104）的一側(cè)固定有底部固定桿（1105）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種便于清理的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備，其特征在于：所述第一齒輪（10）垂直于第二齒輪（1104），且轉(zhuǎn)桿（9）和底部固定桿（1105）之間通過第一齒輪（10）和于第二齒輪（1104）構(gòu)成齒輪轉(zhuǎn)動連接，并且第一固定桿（1101）和第二固定桿（1103）之間通過旋轉(zhuǎn)連接輪（1102）構(gòu)成轉(zhuǎn)動連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于清理的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備，其特征在于：所述連接固定桿（11）和第一伸縮桿（14）之間通過連接轉(zhuǎn)軸（12）構(gòu)成旋轉(zhuǎn)連接，且第一伸縮桿（14）和第二伸縮桿（16）之間通過緊固旋鈕（15）構(gòu)成伸縮固定結(jié)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于清理的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備，其特征在于：所述連接接頭（17）和吸盤連接塊（18）之間通過第一螺紋（19）構(gòu)成螺紋連接，且吸盤連接塊（18）位于加熱坩堝（23）的上方。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于清理的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備，其特征在于：所述加熱框（21）包括外框（2101）、底部隔熱板（2102）、頂部隔熱板（2103）、滑槽（2104）、滑動隔熱板（2105）和滑條（2106），所述外框（2101）的內(nèi)部底端固定有底部隔熱板（2102）所述外框（2101）的內(nèi)部頂端固定有頂部隔熱板（2103），所述外框（2101）上開設(shè)有滑槽（2104），所述外框（2101）上連接有滑動隔熱板（2105），所述滑動隔熱板（2105）的一側(cè)固定有滑條（2106）。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種便于清理的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備，其特征在于：所述滑動隔熱板（2105）共設(shè)置有2塊，且滑動隔熱板（2105）和外框（2101）之間通過滑槽（2104）和滑條（2106）構(gòu)成滑動連接。