[發(fā)明專利]磁性材料表面蒸發(fā)鏑的設(shè)備

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911100414.0
• 申請(qǐng)日: 2019-11-12
• 公開（公告）號(hào): CN110670028A
• 公開（公告）日: 2020-01-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 謝曲堅(jiān)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 謝曲堅(jiān)
• 主分類號(hào): C23C14/30
• 分類號(hào): C23C14/30;C23C14/50;C23C14/14
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• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明公開了磁性材料表面蒸發(fā)鏑的設(shè)備，其結(jié)構(gòu)包括機(jī)架、蒸發(fā)鍍膜設(shè)備、門蓋、電控器，蒸發(fā)鍍膜設(shè)備由機(jī)體、真空系統(tǒng)、S極電磁鐵、防濺射裝置、電子束蒸發(fā)源、工件固定架、N極電磁鐵組成，蒸發(fā)鍍膜設(shè)備通過S極電磁鐵與N極電磁鐵讓磁性工件可以漂浮在空中并且旋轉(zhuǎn)工作，提高了蒸發(fā)鍍膜效率，使得磁性工件是因?yàn)樵谛D(zhuǎn)工作下鍍膜均勻，通過刮除機(jī)構(gòu)可以將鏑金屬蒸發(fā)形成鏑液體推入到罩體底端，進(jìn)行二次利用，節(jié)約成本，第一磁鐵環(huán)通過回卷機(jī)構(gòu)可以將其送回原位置，利用工件固定架可以讓磁性工件在放置位置上不會(huì)影響電子束蒸發(fā)源工作。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及磁性材料領(lǐng)域，尤其是涉及到磁性材料表面蒸發(fā)鏑的設(shè)備。

背景技術(shù)

目前成熟的高性能磁材制作工藝是摻雜鏑元素再進(jìn)行燒結(jié)的方法來實(shí)現(xiàn)，現(xiàn)行鍍制鏑稀有金屬成本昂貴，摻雜燒結(jié)法消耗稀土金屬多，成本高，一種新的制作工藝是在燒結(jié)完成的磁材表面沉積稀土金屬膜再進(jìn)行擴(kuò)散處理。

目前磁材表面沉積稀土膜層的方法是采用涂覆的辦法來實(shí)現(xiàn)的，但是涂覆的工藝做出來的產(chǎn)品不穩(wěn)定、還存在不環(huán)保等問題。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明是通過如下的技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)：磁性材料表面蒸發(fā)鏑的設(shè)備，其結(jié)構(gòu)包括機(jī)架、蒸發(fā)鍍膜設(shè)備、門蓋、電控器，所述的機(jī)架頂端上設(shè)有蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，所述的機(jī)架和蒸發(fā)鍍膜設(shè)備機(jī)械連接，所述的蒸發(fā)鍍膜設(shè)備右側(cè)上設(shè)有電控器，所述的電控器與機(jī)架為一體化結(jié)構(gòu)，所述的蒸發(fā)鍍膜設(shè)備前端上設(shè)有門蓋，所述的蒸發(fā)鍍膜設(shè)備和門蓋采用鉸鏈連接；

所述的蒸發(fā)鍍膜設(shè)備由機(jī)體、真空系統(tǒng)、S極電磁鐵、防濺射裝置、電子束蒸發(fā)源、工件固定架、N極電磁鐵組成，所述的機(jī)體內(nèi)部左壁上設(shè)有S極電磁鐵，所述的機(jī)體和S極電磁鐵膠連接，所述的機(jī)體內(nèi)部右壁上安裝有N極電磁鐵，所述的機(jī)體內(nèi)部底端上設(shè)有防濺射裝置，所述的機(jī)體和防濺射裝置活動(dòng)連接，所述的防濺射裝置內(nèi)側(cè)底端上安裝有電子束蒸發(fā)源，所述的電子束蒸發(fā)源上方設(shè)有工件固定架，所述的工件固定架與防濺射裝置相連接，所述的機(jī)體頂端上安裝有真空系統(tǒng)。

作為本技術(shù)方案的進(jìn)一步優(yōu)化，所述的防濺射裝置由罩體、刮除機(jī)構(gòu)、透磁薄板、第一電磁鐵、回卷機(jī)構(gòu)組成，所述的罩體表面上設(shè)有透磁薄板，所述的罩體和透磁薄板固定連接，所述的罩體內(nèi)側(cè)左右兩端均設(shè)有回卷機(jī)構(gòu)，所述的罩體和回卷機(jī)構(gòu)相連接，所述的罩體頂端上設(shè)有刮除機(jī)構(gòu)，所述的罩體和刮除機(jī)構(gòu)通過回卷機(jī)構(gòu)滑動(dòng)配合，所述的罩體頂端上安裝有第一電磁鐵。

作為本技術(shù)方案的進(jìn)一步優(yōu)化，所述的刮除機(jī)構(gòu)由第一磁鐵環(huán)、定軌滑桿、U型刮槽組成，所述的第一磁鐵環(huán)左右兩端均設(shè)有定軌滑桿，所述的第一磁鐵環(huán)和定軌滑桿固定連接，所述的第一磁鐵環(huán)底端下設(shè)有U型刮槽，所述的第一磁鐵環(huán)和U型刮槽為一體化結(jié)構(gòu)。

作為本技術(shù)方案的進(jìn)一步優(yōu)化，所述的回卷機(jī)構(gòu)由收線軸、轉(zhuǎn)軸、盤簧、拉線組成，所述的收線軸左右兩端均設(shè)有轉(zhuǎn)軸，所述的收線軸和轉(zhuǎn)軸固定連接，所述的轉(zhuǎn)軸表面上安裝有盤簧，所述的拉線一端纏繞在收線軸表面上。

作為本技術(shù)方案的進(jìn)一步優(yōu)化，所述的工件固定架由固定環(huán)體、扇形夾塊、彈簧、磁條、固定柱組成，所述的固定環(huán)體內(nèi)側(cè)上設(shè)有扇形夾塊，所述的固定環(huán)體和扇形夾塊一端滑動(dòng)連接，所述的扇形夾塊另一端上設(shè)有磁條，所述的扇形夾塊和磁條膠連接，所述的扇形夾塊表面上設(shè)有固定柱，所述的扇形夾塊和固定柱固定連接，所述的固定柱與固定環(huán)體通過彈簧相連接。

作為本技術(shù)方案的進(jìn)一步優(yōu)化，所述的S極電磁鐵、N極電磁鐵、透磁薄板三者相互平常，且處于同一水平面上。

作為本技術(shù)方案的進(jìn)一步優(yōu)化，所述的第一電磁鐵與第一磁鐵環(huán)為同極磁性，且兩者之間相互平行。

作為本技術(shù)方案的進(jìn)一步優(yōu)化，所述的拉線另一端與第一磁鐵環(huán)相連接。

有益效果