[發明專利]磁性材料表面蒸發鏑的設備

在審

• 申請號: 201911100414.0
• 申請日: 2019-11-12
• 公開（公告）號: CN110670028A
• 公開（公告）日: 2020-01-10
• 發明（設計）人: 謝曲堅
• 申請（專利權）人: 謝曲堅
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30;C23C14/50;C23C14/14
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.磁性材料表面蒸發鏑的設備，其結構包括機架(1)、蒸發鍍膜設備(2)、門蓋(3)、電控器(4)，所述的機架(1)頂端上設有蒸發鍍膜設備(2)，所述的機架(1)和蒸發鍍膜設備(2)機械連接，所述的蒸發鍍膜設備(2)右側上設有電控器(4)，所述的電控器(4)與機架(1)為一體化結構，所述的蒸發鍍膜設備(2)前端上設有門蓋(3)，所述的蒸發鍍膜設備(2)和門蓋(3)采用鉸鏈連接，其特征在于：

所述的蒸發鍍膜設備(2)由機體(2a)、真空系統(2b)、S極電磁鐵(2c)、防濺射裝置(2d)、電子束蒸發源(2e)、工件固定架(2f)、N極電磁鐵(2g)組成，所述的機體(2a)內部左壁上設有S極電磁鐵(2c)，所述的機體(2a)和S極電磁鐵(2c)膠連接，所述的機體(2a)內部右壁上安裝有N極電磁鐵(2g)，所述的機體(2a)內部底端上設有防濺射裝置(2d)，所述的機體(2a)和防濺射裝置(2d)活動連接，所述的防濺射裝置(2d)內側底端上安裝有電子束蒸發源(2e)，所述的電子束蒸發源(2e)上方設有工件固定架(2f)，所述的工件固定架(2f)與防濺射裝置(2d)相連接，所述的機體(2a)頂端上安裝有真空系統(2b)。

2.根據權利要求1所述的磁性材料表面蒸發鏑的設備，其特征在于：所述的防濺射裝置(2d)由罩體(2d1)、刮除機構(2d2)、透磁薄板(2d3)、第一電磁鐵(2d4)、回卷機構(2d5)組成，所述的罩體(2d1)表面上設有透磁薄板(2d3)，所述的罩體(2d1)和透磁薄板(2d3)固定連接，所述的罩體(2d1)內側左右兩端均設有回卷機構(2d5)，所述的罩體(2d1)和回卷機構(2d5)相連接，所述的罩體(2d1)頂端上設有刮除機構(2d2)，所述的罩體(2d1)和刮除機構(2d2)通過回卷機構(2d5)滑動配合，所述的罩體(2d1)頂端上安裝有第一電磁鐵(2d4)。

3.根據權利要求2所述的磁性材料表面蒸發鏑的設備，其特征在于：所述的刮除機構(2d2)由第一磁鐵環(2d21)、定軌滑桿(2d22)、U型刮槽(2d23)組成，所述的第一磁鐵環(2d21)左右兩端均設有定軌滑桿(2d22)，所述的第一磁鐵環(2d21)和定軌滑桿(2d22)固定連接，所述的第一磁鐵環(2d21)底端下設有U型刮槽(2d23)，所述的第一磁鐵環(2d21)和U型刮槽(2d23)為一體化結構。

4.根據權利要求2所述的磁性材料表面蒸發鏑的設備，其特征在于：所述的回卷機構(2d5)由收線軸(2d51)、轉軸(2d52)、盤簧(2d53)、拉線(2d54)組成，所述的收線軸(2d51)左右兩端均設有轉軸(2d52)，所述的收線軸(2d51)和轉軸(2d52)固定連接，所述的轉軸(2d52)表面上安裝有盤簧(2d53)，所述的拉線(2d54)一端纏繞在收線軸(2d51)表面上。

5.根據權利要求1所述的磁性材料表面蒸發鏑的設備，其特征在于：所述的工件固定架(2f)由固定環體(2f1)、扇形夾塊(2f2)、彈簧(2f3)、磁條(2f4)、固定柱(2f5)組成，所述的固定環體(2f1)內側上設有扇形夾塊(2f2)，所述的固定環體(2f1)和扇形夾塊(2f2)一端滑動連接，所述的扇形夾塊(2f2)另一端上設有磁條(2f4)，所述的扇形夾塊(2f2)和磁條(2f4)膠連接，所述的扇形夾塊(2f2)表面上設有固定柱(2f5)，所述的扇形夾塊(2f2)和固定柱(2f5)固定連接，所述的固定柱(2f5)與固定環體(2f1)通過彈簧(2f3)相連接。