[發明專利]用于樣品的缺陷檢查系統和用于樣品的缺陷檢查方法

在審

• 申請號: 201911099437.4
• 申請日: 2019-11-12
• 公開（公告）號: CN111175312A
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發明（設計）人: 河成根
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G01N21/01
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 劉美華;張軍

提供了用于樣品的缺陷檢查系統和用于樣品的缺陷檢查方法。用于樣品的所述缺陷檢查系統包括圖像傳感器和缺陷檢查裝置。圖像傳感器被配置為捕獲樣品的目標圖像，其中，樣品包括平坦部分和從平坦部分沿第一方向延伸并且具有曲率的彎曲部分。目標圖像包括與樣品的平坦部分對應的第一區域以及與樣品的彎曲部分對應的第二區域。缺陷檢查裝置被配置為基于目標圖像確定樣品的缺陷。缺陷檢查裝置包括被配置為沿第一方向按照調整大小比率放大第二區域的寬度的圖像編輯器。

本申請要求于2018年11月13日提交的第10-2018-0138795號韓國專利申請的優先權和權益，該韓國專利申請的內容通過引用全部合并于此。

技術領域

本公開涉及用于樣品的缺陷檢查系統和檢查樣品的缺陷的方法。

背景技術

顯示裝置可被用作用于移動裝置(諸如，智能電話、數碼相機、攝像機、移動終端、膝上型計算機和平板個人計算機)的顯示器，或者可被應用于電氣與電子產品(諸如，電視機)。通過考慮對用戶便利性(諸如用戶的握持和易于便攜)的影響，顯示裝置可在其邊緣區域(或外圍)中具有恒定的曲率，并且也可提供改善的美觀性。因此，顯示裝置的蓋玻璃的邊緣區域(或外圍區域)也具有恒定的曲率。

蓋玻璃容易被使用顯示裝置的用戶識別。蓋玻璃中的缺陷是在顯示裝置中的缺陷中的最容易被用戶發現的一個缺陷。

通過自動的缺陷檢查系統來檢測蓋玻璃中的缺陷，并且存在使用通過拍攝蓋玻璃獲得的圖像來分析缺陷的方法。

本說明書的背景部分包括意在為示例實施例提供上下文的信息，并且此背景部分中的信息不必構成現有技術。

發明內容

本公開的實施例提供了能夠檢測樣品(諸如，蓋玻璃)中的缺陷的缺陷檢查系統和缺陷檢查方法。

本公開提供了能夠通過一個拍攝操作(或圖像捕獲操作)容易地檢測樣品的彎曲部分中的缺陷的缺陷檢查系統和缺陷檢查方法。

本公開的實施例提供一種用于樣品的缺陷檢查系統，缺陷檢查系統包括圖像傳感器和缺陷檢查裝置。圖像傳感器被配置為捕獲樣品的目標圖像。樣品包括平坦部分和從平坦部分沿第一方向延伸并且具有曲率的彎曲部分。目標圖像包括與樣品的平坦部分對應的第一區域以及與樣品的彎曲部分對應的第二區域。缺陷檢查裝置被配置為基于目標圖像確定樣品的缺陷。缺陷檢查裝置包括被配置為沿第一方向按照調整大小比率放大第二區域的寬度的圖像編輯器。

圖像編輯器可被配置為將第一區域與第二區域分離，通過放大第二區域的寬度產生調整大小的區域，并且將第一區域與調整大小的區域組合以產生檢查圖像。

缺陷檢查裝置還可包括被配置為從檢查圖像檢測缺陷區域的缺陷檢測器和被配置為將缺陷區域的大小與參考范圍進行比較以確定樣品是否正常的缺陷鑒別器。

缺陷檢測器可被配置為基于檢查圖像中彼此相鄰的像素之間的信息的差異將檢查圖像劃分成多個區域，并且從所述多個區域選擇缺陷區域。

缺陷鑒別器可被配置為當缺陷區域的大小大于參考范圍時確定樣品是異常的。

調整大小比率可基于基本正交于平坦部分的第三方向與基本正交于彎曲部分的切平面的第四方向之間的角度被確定。調整大小比率可以是該角度的正割值。

調整大小比率可包括第一比率和第二比率，第一比率基于基本正交于平坦部分的第三方向與基本正交于在彎曲部分的第一點處的第一切平面的第四方向之間的第一角度被確定，第二比率基于第三方向與基本正交于在彎曲部分的第二點處的第二切平面的第五方向之間的第二角度被確定。圖像編輯器可按照第一比率放大第二區域的寬度以產生第一檢查圖像，并且按照第二比率放大第二區域的寬度以產生第二檢查圖像。