[發(fā)明專利]用于樣品的缺陷檢查系統(tǒng)和用于樣品的缺陷檢查方法

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• 申請日: 2019-11-12
• 公開（公告）號: CN111175312A
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 河成根
• 申請（專利權(quán)）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G01N21/01
• 代理公司: 北京銘碩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11286
• 代理人: 劉美華;張軍

1.一種用于樣品的缺陷檢查系統(tǒng)，所述缺陷檢查系統(tǒng)包括：

圖像傳感器，被配置為捕獲所述樣品的目標(biāo)圖像，所述樣品包括平坦部分和從所述平坦部分沿第一方向延伸并且具有曲率的彎曲部分，所述目標(biāo)圖像包括與所述樣品的所述平坦部分對應(yīng)的第一區(qū)域以及與所述樣品的所述彎曲部分對應(yīng)的第二區(qū)域；以及

缺陷檢查裝置，被配置為基于所述目標(biāo)圖像確定所述樣品的缺陷，所述缺陷檢查裝置包括圖像編輯器，所述圖像編輯器被配置為沿所述第一方向按照調(diào)整大小比率放大所述第二區(qū)域的寬度。

2.如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其中，所述圖像編輯器被配置為將所述第一區(qū)域與所述第二區(qū)域分離，通過放大所述第二區(qū)域的寬度產(chǎn)生調(diào)整大小的區(qū)域，并且將所述第一區(qū)域與所述調(diào)整大小的區(qū)域組合以產(chǎn)生檢查圖像。

3.如權(quán)利要求2所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其中，所述缺陷檢查裝置還包括：

缺陷檢測器，被配置為從所述檢查圖像檢測缺陷區(qū)域；以及

缺陷鑒別器，被配置為將所述缺陷區(qū)域的大小與參考范圍進(jìn)行比較以確定所述樣品是否正常。

4.如權(quán)利要求3所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其中，所述缺陷檢測器被配置為基于所述檢查圖像中的彼此相鄰的像素之間的信息的差異將所述檢查圖像劃分成多個區(qū)域，并且從所述多個區(qū)域選擇所述缺陷區(qū)域。

5.如權(quán)利要求3所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其中，所述缺陷鑒別器被配置為當(dāng)所述缺陷區(qū)域的大小大于所述參考范圍時確定所述樣品是異常的。

6.如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其中，所述調(diào)整大小比率基于正交于所述平坦部分的第三方向與正交于所述彎曲部分的切平面的第四方向之間的角度被確定。

7.如權(quán)利要求6所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其中，所述調(diào)整大小比率是所述角度的正割值。

8.如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其中，所述調(diào)整大小比率包括：

第一比率，基于正交于所述平坦部分的第三方向與正交于在所述彎曲部分的第一點處的第一切平面的第四方向之間的第一角度被確定；以及

第二比率，基于所述第三方向與正交于在所述彎曲部分的第二點處的第二切平面的第五方向之間的第二角度被確定，并且

其中，所述圖像編輯器被配置為按照所述第一比率放大所述第二區(qū)域的寬度以產(chǎn)生第一檢查圖像，并且按照所述第二比率放大所述第二區(qū)域的寬度以產(chǎn)生第二檢查圖像。

9.如權(quán)利要求8所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其中，所述缺陷檢查裝置還包括：

缺陷檢測器，被配置為從所述第一檢查圖像檢測第一缺陷區(qū)域并且從所述第二檢查圖像檢測第二缺陷區(qū)域；以及

缺陷鑒別器，被配置為當(dāng)所述第一缺陷區(qū)域的大小大于參考范圍時或者當(dāng)所述第二缺陷區(qū)域的大小大于所述參考范圍時確定所述樣品是異常的。

10.一種用于樣品的缺陷檢查方法，所述缺陷檢查方法包括：

捕獲所述樣品的目標(biāo)圖像，所述樣品包括平坦部分和彎曲部分，所述彎曲部分從所述平坦部分沿第一方向延伸并且相對于與所述第一方向交叉的第二方向具有曲率；

從所述目標(biāo)圖像提取與所述平坦部分對應(yīng)的第一區(qū)域以及與所述彎曲部分對應(yīng)的第二區(qū)域；

放大所述第二區(qū)域的與所述第一方向?qū)?yīng)的寬度以產(chǎn)生檢查圖像；并且

基于所述檢查圖像確定所述樣品是否正常。