[發明專利]一種降低PERC太陽能電池電致衰減的擴散工藝

在審

• 申請號: 201911098222.0
• 申請日: 2019-11-12
• 公開（公告）號: CN110931597A
• 公開（公告）日: 2020-03-27
• 發明（設計）人: 王利彥;林綱正;陳剛
• 申請（專利權）人: 浙江愛旭太陽能科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 浙江杭州金通專利事務所有限公司 33100
• 代理人: 金麗英

本發明公開一種降低PERC太陽能電池電致衰減的擴散工藝，包括進舟、升溫通前氧、沉積、推進、降溫通后氧、低溫修復等步驟，在原有的擴散工藝后增加一個低溫過程，可以修復高溫產生的空位、間隙原子、位錯、層錯等缺陷，增加太陽能電池效率，降低太陽能電池電致衰減，該工藝方法簡單無需改造設備，可產業化實施。

技術領域

本發明涉及太陽能電池技術領域，尤其是一種降低PERC太陽能電池電致衰減的擴散工藝。

背景技術

目前PERC電池衰減問題是業內討論趨于白熱化的一個話題，電致衰減（CurrentInjection Degradation, CID）這一新的理論被越來越多人的所研究，但是該衰減機制至今仍未達成一致。學術界的幾種主流理論無論是新南威爾士的氫鈍化理論還是FraunhoferISE金屬溶解理論或B-O缺陷理論，均可認為電致衰減與電池體內缺陷有關，所以在PERC電池片制作工藝中，擴散、退火、燒結與LIR等工序是影響PERC電池電致衰減的重要工序。

擴散工藝是太陽能電池片的一道核心工序，在生成P-N結的同時擴散過程中的高溫會形成空位、間隙原子、位錯、層錯等缺陷。

2012年公開了《太陽能電池擴散退火工藝》（申請公布號CN102810598A），其公開了在擴散工藝后恒溫750-800℃恒溫退火修復晶格缺陷，但該工藝由于溫度高，修復太陽能電池缺陷效果不明顯。

發明內容

本發明要解決的技術問題是：傳統擴散工藝擴散過程中的高溫會形成空位、間隙原子、位錯、層錯等缺陷問題。

本發明解決該技術問題采用的技術方案是：

一種降低PERC太陽能電池電致衰減的擴散工藝，其特征在于：包括以下步驟；

步驟一，進舟，將制絨后的P-PERC太陽能電池片放入石英舟，通過自動裝舟設備移入擴散管內；

步驟二，升溫通前氧，將擴散管內溫度升溫至730～790攝氏度，通入流量為3000～5000標準毫升每分鐘的氮氣、流量為500～700 標準毫升每分鐘的氧氣，工藝時間為730～800秒；

步驟三，沉積，保持溫度在730～790攝氏度，通入流量為300～400標準毫升每分鐘的氮氣、流量為450～550標準毫升每分鐘的氧氣、流量為150～250標準毫升每分鐘的三氯氧磷，工藝時間為450～510 秒；

步驟四，推進，繼續升溫至820～880攝氏度，通入流量為1900～2100標準毫升每分鐘的氮氣、流量為900～1000標準毫升每分鐘的氧氣，工藝時間為500～700秒；

步驟五，降溫通后氧，將溫度降溫至730～790攝氏度，流量為2900～3100標準毫升每分鐘的氮氣、流量為900～1000標準毫升每分鐘的氧氣，工藝時間為700～800秒；

步驟六，低溫修復。將溫度控制在650～710攝氏度，通入流量為3000～4000標準毫升每分鐘的氮氣，工藝時間為500～700秒。

本發明的有益效果是：在原有的擴散工藝后增加一個低溫過程，可以修復高溫產生的空位、間隙原子、位錯、層錯等缺陷，增加太陽能電池效率，降低太陽能電池電致衰減，該工藝方法簡單無需改造設備，可產業化實施。

附圖說明

圖1是本發明工藝流程圖

具體實施方式

下面結合附圖和實施例，對本發明的具體實施方式作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本發明，但不用來限制本發明的范圍。