[發(fā)明專利]一種降低PERC太陽能電池電致衰減的擴(kuò)散工藝在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201911098222.0 | 申請日： | 2019-11-12 |
| 公開（公告）號： | CN110931597A | 公開（公告）日： | 2020-03-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王利彥;林綱正;陳剛 | 申請（專利權(quán)）人： | 浙江愛旭太陽能科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/18 | 分類號： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通專利事務(wù)所有限公司 33100 | 代理人： | 金麗英 |
| 地址： | 322000 浙江省*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 降低 perc 太陽能電池 衰減 擴(kuò)散 工藝 | ||
1.一種降低PERC太陽能電池電致衰減的擴(kuò)散工藝，其特征在于：包括以下步驟；
步驟一，進(jìn)舟，將制絨后的P-PERC太陽能電池片放入石英舟，通過自動(dòng)裝舟設(shè)備移入擴(kuò)散管內(nèi)；
步驟二，升溫通前氧，將擴(kuò)散管內(nèi)溫度升溫至730～790攝氏度，通入流量為3000～5000標(biāo)準(zhǔn)毫升每分鐘的氮?dú)狻⒘髁繛?00～700 標(biāo)準(zhǔn)毫升每分鐘的氧氣，工藝時(shí)間為730～800秒；
步驟三，沉積，保持溫度在730～790攝氏度，通入流量為300～400標(biāo)準(zhǔn)毫升每分鐘的氮?dú)狻⒘髁繛?50～550標(biāo)準(zhǔn)毫升每分鐘的氧氣、流量為150～250標(biāo)準(zhǔn)毫升每分鐘的三氯氧磷，工藝時(shí)間為450～510 秒；
步驟四，推進(jìn)，繼續(xù)升溫至820～880攝氏度，通入流量為1900～2100標(biāo)準(zhǔn)毫升每分鐘的氮?dú)狻⒘髁繛?00～1000標(biāo)準(zhǔn)毫升每分鐘的氧氣，工藝時(shí)間為500～700秒；
步驟五，降溫通后氧，將溫度降溫至730～790攝氏度，流量為2900～3100標(biāo)準(zhǔn)毫升每分鐘的氮?dú)狻⒘髁繛?00～1000標(biāo)準(zhǔn)毫升每分鐘的氧氣，工藝時(shí)間為700～800秒；
步驟六，低溫修復(fù)，將溫度控制在650～710攝氏度，通入流量為3000～4000標(biāo)準(zhǔn)毫升每分鐘的氮?dú)猓に嚂r(shí)間為500～700秒。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件；專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的，一個(gè)或多個(gè)電光源，如場致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的，并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的
