日韩在线一区二区三区,日本午夜一区二区三区,国产伦精品一区二区三区四区视频,欧美日韩在线观看视频一区二区三区 ,一区二区视频在线,国产精品18久久久久久首页狼,日本天堂在线观看视频,综合av一区

[發明專利]字線制作方法有效

專利信息
申請號: 201911095517.2 申請日: 2019-11-11
公開(公告)號: CN110828466B 公開(公告)日: 2022-03-29
發明(設計)人: 姚邵康;巨曉華;黃冠群 申請(專利權)人: 上海華力微電子有限公司
主分類號: H01L27/11524 分類號: H01L27/11524;H01L27/11529;H01L27/11536;H01L27/1156;H01L27/1157;H01L27/11573;H01L27/11575
代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 代理人: 曹廷廷
地址: 201315*** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 制作方法
【權利要求書】:

1.一種字線制作方法,其特征在于,包括:

提供半導體基底,所述半導體基底表面具有沿預定方向排列的多個字線區,所述半導體基底表面形成有字線材料層;

在所述字線材料層上形成多個第一核心結構,所述多個第一核心結構沿所述預定方向均勻排列在各個所述字線區內部和所述字線區之間;

在各個所述第一核心結構兩側形成側墻,并去除所述第一核心結構而保留所述側墻;

在所述側墻上形成第二掩模層,所述第二掩模層露出所述字線區且填充位于所述字線區之間的所述側墻的間隙;

以所述側墻和所述第二掩模層為保護層,刻蝕所述字線材料層,在所述字線區形成多條沿所述預定方向排列的字線,并在所述字線區之間形成選擇柵材料層;

在所述字線和所述選擇柵材料層上形成第三掩模層,所述第三掩模層露出所述選擇柵材料層的部分中間區域;以及

以所述第三掩模層為保護層,刻蝕所述選擇柵材料層,從而在所述字線區之間形成選擇柵。

2.如權利要求1所述的字線制作方法,其特征在于,所述多個第一核心結構的形成方法包括:

在所述字線材料層上形成核心層;

在所述核心層上形成第一掩模層,所述第一掩模層包括在所述字線區內和所述字線區之間沿所述預定方向均勻間隔排列的多個掩模結構;

利用所述多個掩模結構為保護層,刻蝕所述核心層,從而在所述字線區內和所述字線區之間形成沿所述預定方向均勻間隔排列的初始核心結構;以及

采用微縮工藝縮小每個所述初始核心結構在高度和所述預定方向上的尺寸,得到所述多個第一核心結構。

3.如權利要求2所述的字線制作方法,其特征在于,沿所述預定方向,各個所述掩模結構的尺寸相等且任意兩個相鄰的所述掩模結構的間距相等。

4.如權利要求3所述的字線制作方法,其特征在于,所述微縮工藝為濕法刻蝕,所述微縮工藝的微縮率為40~60%。

5.如權利要求4所述的字線制作方法,其特征在于,所述微縮工藝的微縮率為50%,所述掩模結構的寬度為相鄰兩根所述字線之間的間距的兩倍,相鄰兩個所述掩模結構之間的間距為所述字線的寬度的兩倍。

6.如權利要求2所述的字線制作方法,其特征在于,所述核心層和所述側墻的材料分別為氧化硅、氮化硅和多晶硅中的兩種。

7.如權利要求2所述的字線制作方法,其特征在于,在所述字線材料層形成所述核心層利用LPCVD工藝或PECVD工藝。

8.如權利要求2所述的字線制作方法,其特征在于,所述第一掩模層、第二掩模層及第三掩模層的材料為光刻膠。

9.如權利要求1至8任一項所述的字線制作方法,其特征在于,在各個所述第一核心結構兩側形成所述側墻的方法包括:

利用LPCVD工藝或ALD工藝在各個所述第一核心結構之間沉積側墻材料;以及對側墻材料進行垂向干法刻蝕,以形成所述側墻。

10.如權利要求1至8任一項所述的字線制作方法,其特征在于,去除所述第一核心結構而保留所述側墻的方法為濕法刻蝕。

下載完整專利技術內容需要扣除積分,VIP會員可以免費下載。

該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于上海華力微電子有限公司,未經上海華力微電子有限公司許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服

本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201911095517.2/1.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。

×

專利文獻下載

說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

3、專利數據每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

5、已全新升級為極速版,下載速度顯著提升!歡迎使用!

請您登陸后,進行下載,點擊【登陸】 【注冊】

關于我們 尋求報道 投稿須知 廣告合作 版權聲明 網站地圖 友情鏈接 企業標識 聯系我們

鉆瓜專利網在線咨詢

周一至周五 9:00-18:00

咨詢在線客服咨詢在線客服
tel code back_top
主站蜘蛛池模板: 欧美日韩一级二级三级| 一区二区在线视频免费观看| 久久免费精品国产| 国产资源一区二区三区| 国产高清在线一区| 国产精品久久91| 欧美一区二区三区免费在线观看| 中文天堂在线一区| 久久一区二区视频| 精品一区中文字幕| 国产精品入口麻豆九色| 中文字幕一级二级三级| 色乱码一区二区三区网站| 亚洲精品无吗| 91精品www| 亚洲免费精品一区二区| 中文字幕久久精品一区| 免费在线观看国产精品| 日韩一区二区福利视频| 久久久精品观看| 国产午夜精品一区二区三区四区| 91精品久久久久久综合五月天| 午夜av影视| 久久亚洲精品国产一区最新章节| 国产精品欧美日韩在线| 一级久久久| 狠狠色成色综合网| 欧美精品国产一区| 欧美精品久久一区二区| 强制中出し~大桥未久在线播放| 欧美日韩亚洲另类| 国产97在线看| 欧美一区二区三区在线免费观看| 国产在线观看免费麻豆| 久久免费福利视频| 亚洲精品www久久久| 91久久国产视频| 少妇高潮ⅴideosex| 国产99视频精品免视看芒果| 精品一区二区三区中文字幕| 欧美精品一区久久| 性生交片免费看片| 日韩av电影手机在线观看| 99re热精品视频国产免费| 亚洲国产精品美女| 国产一级精品在线观看| 国产亚洲精品久久久久动| 国产视频一区二区在线| 亚洲一区欧美| 麻豆精品国产入口| 丰满岳乱妇bd在线观看k8| 人人澡超碰碰97碰碰碰| 亚洲va国产2019| 中文字幕在线一区二区三区| 精品少妇的一区二区三区四区| 精品少妇一区二区三区免费观看焕| 国产精品一区二区在线观看| 欧美xxxxxhd| 久久一二区| 亚洲乱亚洲乱妇50p| 伊人精品一区二区三区| 国产一区二区三区色噜噜小说| 久久精品男人的天堂| 精品国产鲁一鲁一区二区作者| 精品亚洲午夜久久久久91| 久久久精品免费看| 欧美日韩精品影院| 国产一区二区在线观看免费| 日本亚洲国产精品| 91久久香蕉| 色婷婷精品久久二区二区蜜臂av| 中文字幕一级二级三级| 97久久超碰国产精品| 国产一区二区国产| 午夜影院5分钟| 91黄在线看 | bbbbb女女女女女bbbbb国产| 国产一区第一页| 中文av一区| 精品国产二区三区| 亚洲麻豆一区| 国产真实一区二区三区| 91精品久| 亚洲国产精品91| 欧美日韩国产一区二区三区在线观看| 国产在线卡一卡二| 午夜精品一二三区| 久久精品麻豆| 高清国产一区二区三区| 精品国产二区三区| 午夜特片网| 日本xxxx护士高潮hd| 99re热精品视频国产免费| 色噜噜狠狠色综合久| 91精品视频免费在线观看| 日韩精品少妇一区二区在线看| 麻豆国产一区二区三区| 最新国产精品久久精品| 国产伦精品一区二区三区免费下载 | 国产精品久久久久久久岛一牛影视| freexxxx性| 欧美一区二区综合| 国产一区二区电影在线观看| 国产精品高潮呻吟久| 久久精品—区二区三区| 亚洲一区中文字幕| 久久精品99国产国产| 娇妻被又大又粗又长又硬好爽| 精品videossexfreeohdbbw| 91麻豆精品国产91久久久久推荐资源| 久久96国产精品久久99软件| 少妇厨房与子伦在线观看| 鲁丝一区二区三区免费观看| 日韩一区免费在线观看| 日韩一级片免费视频| 免费a级毛片18以上观看精品| 久精品国产| 日韩国产精品久久| 伊人久久婷婷色综合98网| 国产视频精品久久| 热久久国产| 精品国产一区二区三| 欧美日韩一区二区高清| 亚洲国产偷| 国产一区日韩在线| 国产一区在线视频观看| 欧美精品国产一区| 人人澡超碰碰97碰碰碰| 日韩精品福利片午夜免费观看| 在线国产91| 福利电影一区二区三区| 午夜伦理在线观看| 曰韩av在线| 国产一区欧美一区| 国产午夜精品一区二区理论影院| 中文乱码字幕永久永久电影| 欧美在线视频精品| 国产精品一级在线| 国产在线精品二区| 国产天堂一区二区三区| 中文丰满岳乱妇在线观看| 国产一区=区| 少妇自拍一区| 久久久精品99久久精品36亚| 午夜影院毛片| 欧美日韩精品在线播放| 天干天干天啪啪夜爽爽99 | 国产一区二区在线观| 日韩精品免费一区二区在线观看| 欧美髙清性xxxxhdvid| 欧美日韩亚洲国产一区| 狠狠综合久久av一区二区老牛| 欧美一区二三区| 久爱视频精品| 久久精品男人的天堂| 99精品少妇| **毛片免费| 国产精品伦一区二区三区级视频频| 国产一级片网站| 99精品久久久久久久婷婷| 久久99亚洲精品久久99果| 久久精品99国产精品亚洲最刺激 | 欧美一区二区三区四区五区六区| 日本精品视频一区二区三区| 午夜av网址| 狠狠插狠狠爱| 国产欧美精品va在线观看| 国产欧美日韩综合精品一| 91一区在线| 久久精视频| 日本亚洲国产精品| 国产在线欧美在线| 欧美日韩中文字幕一区| 国产精品一二三区视频出来一| 日本午夜一区二区| 国产精品久久久久久久久久嫩草| 波多野结衣女教师电影| 久久久久亚洲精品视频| 国产日韩欧美另类| 久99久视频| 一区二区三区四区国产| 欧美精品在线视频观看| 激情欧美日韩| xxxxhdvideosex| 亚洲乱强伦| 国产亚洲精品久久久久久久久动漫| 精品国产一区二区三区四区vr| 亚洲国产欧美一区二区三区丁香婷 | 国产精品久久久久久久四虎电影| 97国产精品久久久| 国产一级片子| 中文字幕制服狠久久日韩二区| 91精品福利观看| 久久夜色精品国产亚洲| 免费看欧美中韩毛片影院| 国产一区二区中文字幕| 李采潭无删减版大尺度| 国产精品9区| 国产一区二区精华| 欧美日本三级少妇三级久久| 亚洲国产精品国自产拍av| 日本高清一二三区| 在线国产精品一区二区| 一区二区免费播放| 免费视频拗女稀缺一区二区| 国产精品高潮呻吟视频| 中文字幕一区二区在线播放| 99国产精品久久久久| 久久久人成影片免费观看| 国产精品第157页| 日本一二区视频| 亚洲国产精品麻豆| 精品免费久久久久久久苍| 国产亚洲欧美日韩电影网| 福利视频亚洲一区| 欧美福利一区二区| 欧美亚洲精品一区二区三区| 国产亚洲精品久久午夜玫瑰园| 91精品一区二区在线观看| 鲁一鲁一鲁一鲁一鲁一av| 香蕉久久国产| 亚洲精品丝袜| 亚洲精品无吗| 中文字幕一区二区三区不卡| 国产高清无套内谢免费| 国产欧美一区二区三区在线看| 亚洲精品久久久久中文第一暮| 欧美日韩中文字幕一区| 日韩欧美国产高清91| 国产日韩欧美精品一区| 亚洲四区在线| 国产精品色在线网站| 久久艹国产精品| 国产不卡三区| 欧美一区二区三区在线免费观看| 69精品久久| 狠狠色狠狠色合久久伊人| 亚洲精品久久久久www| 午夜激情免费电影| 国产理论一区| 亚洲精品久久久久中文字幕欢迎你 | 精品免费久久久久久久苍| 久久激情网站| 日韩欧美国产高清91| 欧美xxxxhdvideos| 中文乱码在线视频|