[發明專利]氣體激光裝置及激光振蕩方法

在審

• 申請號: 201911087506.X
• 申請日: 2019-11-08
• 公開（公告）號: CN111326942A
• 公開（公告）日: 2020-06-23
• 發明（設計）人: 河村讓一;田中研太;萬雅史;岡田康弘
• 申請（專利權）人: 住友重機械工業株式會社
• 主分類號: H01S3/041
• 分類號: H01S3/041;H01S3/00;H01S3/03
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫

本發明提供一種能夠提高光束點的位置精度并且能夠抑制效率的下降的氣體激光裝置。所述氣體激光裝置在激光氣體進行循環的循環流路的一部分(即，放電區域)產生放電從而輸出激光束。熱交換器對在循環流路中循環的激光氣體進行冷卻。溫度傳感器測定從熱交換器流向放電區域的激光氣體的溫度。控制裝置根據溫度傳感器的溫度測定值控制熱交換器的冷卻能力，以使溫度傳感器的測定值成為30℃以下的目標溫度。

本申請主張基于2018年12月17日申請的日本專利申請第2018-235276號的優先權。該日本申請的全部內容通過參考援用于本說明書中。

技術領域

本發明涉及一種氣體激光裝置及激光振蕩方法。

背景技術

已知有一種將激光氣體的溫度控制為恒定的氣體激光裝置(例如，下述專利文獻1)。在專利文獻1中記載的氣體激光裝置中，利用熱交換器對基于放電而溫度上升的激光氣體進行冷卻。而且，測定激光氣體的溫度，并對在熱交換器中流動的冷卻水的溫度進行控制，以使激光氣體的溫度變得恒定。通過將激光氣體的溫度控制為恒定，能夠提高激光輸出功率的穩定度。

專利文獻1：日本特開昭61-154188號公報

本申請人發現，在高精度地控制激光束的光束點的位置并進行激光加工時，以往的方法難以確保足夠的位置精度。并且發現，在以往的方法中，激光振蕩器的效率有時會下降。

發明內容

本發明的目的在于，提供一種能夠提高光束點的位置精度并且能夠抑制效率下降的氣體激光裝置及激光振蕩方法。

根據本發明的一觀點，提供一種氣體激光裝置，其在激光氣體進行循環的循環流路的一部分即放電區域產生放電從而輸出激光束，

所述氣體激光裝置具有：

熱交換器，對在所述循環流路中循環的所述激光氣體進行冷卻；

溫度傳感器，測定從所述熱交換器流向所述放電區域的所述激光氣體的溫度；及

控制裝置，根據所述溫度傳感器的溫度測定值控制所述熱交換器的冷卻能力，以使所述溫度傳感器的測定值成為30℃以下的目標溫度。

根據本發明的另一觀點，提供一種激光振蕩方法，其調整所述激光氣體的溫度，從而在一邊使激光氣體通過放電區域而進行循環一邊在所述放電區域產生放電而進行激光振蕩的期間，使流入所述放電區域的所述激光氣體的溫度成為30℃以下。

通過將激光氣體的溫度控制在30℃以下的范圍內，能夠抑制效率的下降，并且能夠減小光束點的位置的偏差。

附圖說明

圖1是基于實施例的氣體激光裝置的包含光軸的剖視圖。

圖2是基于本實施例的氣體激光裝置的與光軸垂直的剖視圖。

圖3是表示激光氣體的放電前溫度、放電電流、效率之間的關系的測定結果的曲線圖。

圖4是表示激光氣體的放電前溫度與光束點位置的偏差之間的關系的曲線圖。

圖5是表示激光氣體的放電前溫度與光束點平均位置的位移量之間的關系的曲線圖。

圖6是表示基于另一實施例的激光加工裝置的概略框圖。

圖7是表示使實施例的激光加工裝置進行動作而進行激光加工的順序的流程圖。