[發(fā)明專利]氣體激光裝置及激光振蕩方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201911087506.X | 申請(qǐng)日： | 2019-11-08 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN111326942A | 公開（公告）日： | 2020-06-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 河村讓一;田中研太;萬雅史;岡田康弘 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 住友重機(jī)械工業(yè)株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào)： | H01S3/041 | 分類號(hào)： | H01S3/041;H01S3/00;H01S3/03 |
| 代理公司： | 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝傳鑫 |
| 地址： | 日本*** | 國(guó)省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 氣體 激光 裝置 振蕩 方法 | ||
1.一種氣體激光裝置，其在激光氣體進(jìn)行循環(huán)的循環(huán)流路的一部分即放電區(qū)域產(chǎn)生放電從而輸出激光束，
所述氣體激光裝置的特征在于，具有：
熱交換器，對(duì)在所述循環(huán)流路中循環(huán)的所述激光氣體進(jìn)行冷卻；
溫度傳感器，測(cè)定從所述熱交換器流向所述放電區(qū)域的所述激光氣體的溫度；及
控制裝置，根據(jù)所述溫度傳感器的溫度測(cè)定值控制所述熱交換器的冷卻能力，以使所述溫度傳感器的測(cè)定值成為30℃以下的目標(biāo)溫度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體激光裝置，其特征在于，
所述目標(biāo)溫度為14℃以上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的氣體激光裝置，其特征在于，
所述控制裝置控制所述熱交換器的冷卻能力，以使所述溫度傳感器的測(cè)定值落入以所述目標(biāo)溫度為中心±1℃的范圍內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的氣體激光裝置，其特征在于，
還具有輸入裝置，輸入所述目標(biāo)溫度的值，
所述控制裝置根據(jù)輸入到所述輸入裝置的所述目標(biāo)溫度的值控制所述熱交換器的冷卻能力。
5.一種激光振蕩方法，其特征在于，
調(diào)整所述激光氣體的溫度，從而在一邊使激光氣體通過放電區(qū)域而進(jìn)行循環(huán)一邊在所述放電區(qū)域產(chǎn)生放電而進(jìn)行激光振蕩的期間，使流入所述放電區(qū)域的所述激光氣體的溫度成為30℃以下。
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