[發(fā)明專利]一種測試正性光刻膠感度的方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201911086054.3
• 申請日: 2019-11-08
• 公開（公告）號: CN112378907A
• 公開（公告）日: 2021-02-19
• 發(fā)明（設計）人: 馬陽陽;張月;張東宏
• 申請（專利權）人: 陜西彩虹新材料有限公司
• 主分類號: G01N21/84
• 分類號: G01N21/84;G01N1/28
• 代理公司: 北京卓特專利代理事務所(普通合伙) 11572
• 代理人: 段宇

1.一種測試正性光刻膠感度的方法，特征在于，將正性光刻膠樣品和標準品進行涂膜、曝光及顯影后讀取硅片上的開點數(shù)，并計算可得到正性光刻膠的Eth值。至少包括以下步驟：

S1)、在涂膜顯影機中設置不同轉(zhuǎn)速，對光刻的膠樣品以及標準品進行涂膜，并控制樣品與標準品的膜厚差在范圍之內(nèi)；

S2)、將光刻的膠樣品和標準品在曝光機上同時進行曝光；

S3)、曝光完成后在涂膜顯影機上顯影；

S4)、讀取硅片上的開點數(shù)，計算樣品感度。

2.如權利要求書1的一種測試正性光刻膠感度的方法，特征在于，所述步驟需在潔凈度達到百級潔凈間內(nèi)進行。

3.如權利要求書1的一種測試正性光刻膠感度的方法，特征在于，所述的正性光刻膠樣品為3.2cP光刻膠，所述標準品為4.0cP的光刻膠。

4.如權利要求書1的一種測試正性光刻膠感度的方法，特征在于，所述的標準品是指帶有特定補正系數(shù)的光刻膠。

5.如權利要求書1的一種測試正性光刻膠感度的方法，特征在于，所述的正性光刻膠樣品樣品和所述標準品的溫度應在保持在23℃，環(huán)境溫度應控制在23±1℃以內(nèi)。

6.如權利要求書1的一種測試正性光刻膠感度的方法，特征在于，膜厚應該測量硅片上至少8個點的膜厚，并取平均值。

7.如權利要求書1的一種測試正性光刻膠感度的方法，特征在于，所述曝光機所設置的曝光能量應為40毫秒時對應的積分能量。

8.如權利要求書1的一種測試正性光刻膠感度的方法，特征在于，顯影液為1.98％的四甲基氫氧化銨溶液，進行三次顯影，顯影時間共計50秒。

9.如權利要求書1的一種測試正性光刻膠感度的方法，特征在于，所述顯影以后的樣品以及標準品的開點數(shù)應在顯微鏡下進行數(shù)據(jù)讀取與統(tǒng)計。