[發明專利]雙面拋光機用襯底片夾具及其拋光方法

在審

• 申請號: 201911067435.7
• 申請日: 2019-11-04
• 公開（公告）號: CN110695844A
• 公開（公告）日: 2020-01-17
• 發明（設計）人: 苗澤民
• 申請（專利權）人: 蘇州愛彼光電材料有限公司
• 主分類號: B24B37/27
• 分類號: B24B37/27
• 代理公司: 32269 蘇州集律知識產權代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 安紀平

1.雙面拋光機用襯底片夾具，其特征在于：包括圓形的襯底板，所述襯底板的兩個表面對稱設置有直徑與襯底板一致的放料板，所述放料板上關于中心對稱設置有若干個圓形的定位槽，所述定位槽沿襯底板向下兩個表面方向一一對應，所述定位槽內同軸放置有用與產品接觸的柔性墊片，所述柔性墊片中心同軸貼附有與襯底板相觸的墊高貼片，當所述定位槽內放入襯底片后，襯底片的表面高度高于放料板的高度。

2.根據權利要求1所述的雙面拋光機用襯底片夾具，其特征在于：所述襯底板為陶瓷板，厚度為2～4mm。

3.根據權利要求1所述的雙面拋光機用襯底片夾具，其特征在于：所述放料板為樹脂板，厚度為為2～3.5mm。

4.根據權利要求1所述的雙面拋光機用襯底片夾具，其特征在于：所述柔性墊片為聚氨酯拋光皮，所述墊高貼片貼于聚氨酯拋光皮的背面。

5.根據權利要求4所述的雙面拋光機用襯底片夾具，其特征在于：所述柔性墊片直徑與產品一致。

6.根據權利要求1所述的雙面拋光機用襯底片夾具，其特征在于：所述墊高貼片直徑與柔性墊片的比值為1：10。

7.一種襯底片拋光方法，其特征在于：襯底片放置于權利要求1-6任一項所述的雙面拋光機用襯底片夾具內，拋光方法主要包括以下步驟：

（1）墊厚：根據襯底片彎曲度BOW值要求，在柔性墊片背面的中心粘貼所需厚度的墊高貼片，然后將柔性墊片放入定位槽內；

（2）浸濕：將雙面拋光機用襯底片夾具進行表面水洗，除去表面粉塵、臟污，然后在純水中浸泡，取出后確保正反面濕潤；

（3）裝片：將待拋光的襯底片依次放入定位槽內，按壓擠出多余的水，使襯底片吸附在定位槽內；

（4）拋光：將雙面拋光機用襯底片夾具放入行星輪內，然后依次放入雙面拋光機內，雙面研磨機合盤后利用墊高貼片使襯底墊片凸起，啟動雙面拋光機進行研磨減薄，使彎曲度BOW值達到要求。