[發(fā)明專利]電子顯微鏡和圖像處理方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911065476.2
• 申請日: 2019-11-04
• 公開（公告）號: CN111146062B
• 公開（公告）日: 2022-09-02
• 發(fā)明（設計）人: 片桐慎一
• 申請（專利權）人: 日本電子株式會社
• 主分類號: H01J37/26
• 分類號: H01J37/26;H01J37/244;H01J37/28;G01N23/044;G01N23/2252;G01N23/2276
• 代理公司: 北京市隆安律師事務所 11323
• 代理人: 徐謙;劉寧軍

提供能夠生成能容易地把握元素的三維分布的圖像的電子顯微鏡。掃描電子顯微鏡(100)包含：電子檢測器(40)，其對由于電子束照射到試料(S)而從試料(S)發(fā)射的電子進行檢測；X射線檢測器(50)，其對由于電子束照射到試料(S)而從試料(S)發(fā)射的X射線進行檢測；及處理部(60)，其基于電子檢測器(40)的輸出信號和X射線檢測器(50)的輸出信號生成三維元素圖，處理部(60)進行：基于電子檢測器(40)的輸出信號生成掃描電子顯微鏡像的處理；基于掃描電子顯微鏡像生成試料(S)的三維圖像的處理；基于X射線檢測器(50)的輸出信號生成二維元素圖的處理；及將二維元素圖投影到三維圖像來生成三維元素圖的處理。

技術領域

本發(fā)明涉及電子顯微鏡和圖像處理方法。

背景技術

通過掃描電子顯微鏡，能夠得到掃描電子顯微鏡像(以下，也稱為“SEM像”)。SEM像是二維的像。

在掃描電子顯微鏡中，已知取得試料的三維圖像的手法。例如，在專利文獻1中，公開了一種使用在試料的傾斜角相互不同的狀態(tài)下拍攝的多個SEM像來生成試料的三維圖像的手法。

另外，在透射電子顯微鏡中，作為取得試料的三維圖像的手法，已知層析成像(Tomography)法。在層析成像法中，根據在透射電子顯微鏡中使試料連續(xù)地傾斜而拍攝到的多個傾斜像，重新構建三維圖像。

現(xiàn)有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：特開2013-69693號公報

發(fā)明內容

發(fā)明要解決的問題

然而，在通過掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡等電子顯微鏡取得的如上述那樣的三維圖像中，得不到元素的信息。例如，當在三維圖像中突起等特征性部位可見的情況下，希望能從視覺上得到該部位的元素的信息。

用于解決問題的方案

本發(fā)明的電子顯微鏡的一方面，包含：

電子源，其發(fā)射電子束；

光學系統(tǒng)，其將上述電子束照射到試料；

第1檢測器，其對由于上述電子束照射到上述試料而從上述試料發(fā)射的電子或者透射過上述試料的電子進行檢測；

第2檢測器，其對由于上述電子束照射到上述試料而從上述試料發(fā)射的信號進行檢測；以及

處理部，其基于上述第1檢測器的輸出信號和上述第2檢測器的輸出信號，生成表示上述試料的三維的元素的分布的三維元素圖，

上述處理部進行：

基于上述第1檢測器的輸出信號生成電子顯微鏡像的處理；

基于上述電子顯微鏡像生成上述試料的三維圖像的處理；

基于上述第2檢測器的輸出信號生成表示上述試料的二維的元素的分布的二維元素圖的處理；以及

將上述二維元素圖投影到上述三維圖像來生成上述三維元素圖的處理。

通過這樣的電子顯微鏡，能夠生成表示元素的三維分布的三維元素圖。所以，通過這樣的電子顯微鏡，能夠容易地把握元素的三維的分布。

本發(fā)明的圖像處理方法的一方面是電子顯微鏡中的圖像處理方法，上述電子顯微鏡包含：第1檢測器，其對由于電子束照射到試料而從上述試料發(fā)射的電子或者透射過上述試料的電子進行檢測；以及第2檢測器，其對由于上述電子束照射到上述試料而從上述試料發(fā)射的信號進行檢測，

上述圖像處理方法包含：