[發(fā)明專利]電子顯微鏡和圖像處理方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911065476.2
• 申請(qǐng)日: 2019-11-04
• 公開（公告）號(hào): CN111146062B
• 公開（公告）日: 2022-09-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 片桐慎一
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 日本電子株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01J37/26
• 分類號(hào): H01J37/26;H01J37/244;H01J37/28;G01N23/044;G01N23/2252;G01N23/2276
• 代理公司: 北京市隆安律師事務(wù)所 11323
• 代理人: 徐謙;劉寧軍

1.一種電子顯微鏡，其特征在于，包含：

電子源，其發(fā)射電子束；

試料載臺(tái)，其用于使試料移動(dòng)；

光學(xué)系統(tǒng)，其將上述電子束照射到上述試料；

第1檢測(cè)器，其對(duì)由于上述電子束照射到上述試料而從上述試料發(fā)射的電子或者透射過上述試料的電子進(jìn)行檢測(cè)；

第2檢測(cè)器，其對(duì)由于上述電子束照射到上述試料而從上述試料發(fā)射的信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)；以及

處理部，其基于上述第1檢測(cè)器的輸出信號(hào)和上述第2檢測(cè)器的輸出信號(hào)，生成表示上述試料的三維的元素的分布的三維元素圖，

上述處理部進(jìn)行：

基于上述第1檢測(cè)器的輸出信號(hào)生成電子顯微鏡像的處理；

基于上述電子顯微鏡像生成上述試料的三維圖像的處理；

基于上述第2檢測(cè)器的輸出信號(hào)生成表示上述試料的二維的元素的分布的二維元素圖的處理；以及

將上述二維元素圖投影到上述三維圖像來生成上述三維元素圖的處理，

上述處理部，

對(duì)上述試料載臺(tái)停止了移動(dòng)進(jìn)行探測(cè)，從探測(cè)到上述試料載臺(tái)停止了移動(dòng)的時(shí)點(diǎn)起，開始進(jìn)行上述二維元素圖的生成，將所生成的上述二維元素圖投影到上述三維圖像來生成上述三維元素圖，

在上述試料載臺(tái)的移動(dòng)中，將收集到的上述第2檢測(cè)器的輸出信號(hào)的數(shù)據(jù)廢棄，

從上述試料載臺(tái)停止了移動(dòng)的時(shí)點(diǎn)起，利用所收集的上述數(shù)據(jù)，開始上述二維元素圖的生成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡，

在生成上述二維元素圖的處理中，生成多個(gè)上述二維元素圖，

在生成上述三維元素圖的處理中，將多個(gè)上述二維元素圖投影到上述三維圖像。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電子顯微鏡，

在生成上述二維元素圖的處理中，使構(gòu)成上述二維元素圖的像素的色調(diào)與上述元素的種類對(duì)應(yīng)，使構(gòu)成上述二維元素圖的像素的輝度與上述元素的信號(hào)強(qiáng)度對(duì)應(yīng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任意一項(xiàng)所述的電子顯微鏡，

上述處理部

當(dāng)在上述三維元素圖中指定了任意的截面的情況下，進(jìn)行生成坐標(biāo)圖的處理，該坐標(biāo)圖包含上述截面中的上述元素的信號(hào)強(qiáng)度的輪廓、以及上述截面中的上述試料的高度的輪廓。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任意一項(xiàng)所述的電子顯微鏡，

上述信號(hào)是特征X射線。

6.一種圖像處理方法，是電子顯微鏡中的圖像處理方法，上述電子顯微鏡包含：第1檢測(cè)器，其對(duì)由于電子束照射到試料而從上述試料發(fā)射的電子或者透射過上述試料的電子進(jìn)行檢測(cè)；第2檢測(cè)器，其對(duì)由于上述電子束照射到上述試料而從上述試料發(fā)射的信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)；以及試料載臺(tái)，其用于使試料移動(dòng)，上述圖像處理方法的特征在于，包含：

基于上述第1檢測(cè)器的輸出信號(hào)生成電子顯微鏡像的工序；

基于上述電子顯微鏡像生成上述試料的三維圖像的工序；

基于上述第2檢測(cè)器的輸出信號(hào)生成表示上述試料的二維的元素的分布的二維元素圖的工序；以及

將上述二維元素圖投影到上述三維圖像來生成表示上述試料的三維的元素的分布的三維元素圖的工序，

對(duì)上述試料載臺(tái)停止了移動(dòng)進(jìn)行探測(cè)，從探測(cè)到上述試料載臺(tái)停止了移動(dòng)的時(shí)點(diǎn)起，開始進(jìn)行上述二維元素圖的生成，將所生成的上述二維元素圖投影到上述三維圖像來生成上述三維元素圖，

在上述試料載臺(tái)的移動(dòng)中，將收集到的上述第2檢測(cè)器的輸出信號(hào)的數(shù)據(jù)廢棄，

從上述試料載臺(tái)停止了移動(dòng)的時(shí)點(diǎn)起，利用所收集的上述數(shù)據(jù)，開始上述二維元素圖的生成。