[發(fā)明專利]密封門裝置及光刻設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911063171.8
• 申請(qǐng)日: 2019-10-31
• 公開（公告）號(hào): CN112750694A
• 公開（公告）日: 2021-05-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉凱;王剛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/268
• 分類號(hào): H01L21/268;H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種密封門裝置，包括密封板(10)和密封門(20)，所述密封板(10)上開設(shè)有物料傳輸口(11)，所述密封門(20)具有遮擋所述物料傳輸口(11)的關(guān)閉狀態(tài)和離開所述物料傳輸口(11)的開啟狀態(tài)，其特征在于，還包括：氣缸滑臺(tái)(30)、導(dǎo)軌(40)和平行度誤差消除組件(50)，所述氣缸滑臺(tái)(30)和所述導(dǎo)軌(40)設(shè)置在所述物料傳輸口(11)兩側(cè)，所述密封門(20)一端與所述氣缸滑臺(tái)(30)連接，另一端與所述導(dǎo)軌(40)的滑塊(41)連接，所述平行度誤差消除組件(50)設(shè)置在所述密封門(20)與所述氣缸滑臺(tái)(30)和/或所述密封門(20)與所述滑塊(41)之間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的密封門裝置，其特征在于，所述平行度誤差消除組件(50)包括：密封門連接件(51)、滑塊連接件(52)、第一滾輪(53)和第二滾輪(54)，所述密封門連接件(51)與所述密封門(20)連接，所述滑塊連接件(52)與所述滑塊(41)連接，所述第一滾輪(53)和所述第二滾輪(54)沿所述密封門(20)的運(yùn)動(dòng)方向設(shè)置在所述滑塊連接件(52)的兩側(cè)，所述第一滾輪(53)和所述第二滾輪(54)均一端與密封門連接件(51)連接，另一端與滑塊連接件(52)抵接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的密封門裝置，其特征在于，所述第一滾輪(53)和所述第二滾輪(54)均通過緊固件與所述密封門連接件(51)連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的密封門裝置，其特征在于，所述滑塊連接件(52)包括移動(dòng)板(521)和擋板(522)，所述移動(dòng)板(521)設(shè)置在所述第一滾輪(53)和所述第二滾輪(54)之間，且所述移動(dòng)板(521)與所述滑塊(41)連接，所述擋板(522)設(shè)置在所述移動(dòng)板(521)上，且所述擋板(522)位于所述第一滾輪(53)和所述第二滾輪(54)外側(cè)。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的密封門裝置，其特征在于，所述平行度誤差消除組件(50)還包括浮動(dòng)接頭(55)，所述浮動(dòng)接頭(55)的接頭體(551)與所述密封門(20)連接，所述浮動(dòng)接頭(55)的浮動(dòng)頭(552)與所述密封門連接件(51)連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的密封門裝置，其特征在于，所述密封門裝置還包括止動(dòng)氣缸(70)，所述止動(dòng)氣缸(70)被配置為在所述密封門(20)處于開啟狀態(tài)時(shí)對(duì)所述氣缸滑臺(tái)(30)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)限位。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的密封門裝置，其特征在于，所述氣缸滑臺(tái)(30)的兩端和所述導(dǎo)軌(40)的兩端均設(shè)置有緩沖器。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的密封門裝置，其特征在于，所述密封門裝置還包括關(guān)閉到位傳感器(80)和開啟到位傳感器(90)，所述關(guān)閉到位傳感器(80)設(shè)置在所述氣缸滑臺(tái)(30)上或所述導(dǎo)軌(40)上，所述關(guān)閉到位傳感器(80)用于檢測(cè)所述密封門(20)是否處于所述關(guān)閉狀態(tài)；所述開啟到位傳感器(90)設(shè)置在所述氣缸滑臺(tái)(30)上或所述導(dǎo)軌(40)上，所述開啟到位傳感器(90)用于檢測(cè)所述密封門(20)是否處于所述開啟狀態(tài)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的密封門裝置，其特征在于，所述密封門裝置還包括機(jī)械手片叉安全傳感器(100)，所述機(jī)械手片叉安全傳感器(100)設(shè)置在所述密封板(10)上，且所述機(jī)械手片叉安全傳感器(100)與所述物料傳輸口(11)相鄰設(shè)置。

10.一種光刻設(shè)備，其特征在于，包括權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的密封門裝置。